特許7932326IP Force 特許公報全文掲載

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光導波路型の測定用チップ、測定装置、および測定方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

以下に詳述するように、光導波路型の従来の測定用チップには、測定の安定性に関してさらなる性能向上が求められている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

目的を達成するための本発明は、例えば以下に示す態様を含む。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によると、測定の再現性や測定の信頼性をさらに向上させた光導波路型の測定用チップ、測定装置、および測定方法を提供することができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 第１の測定用チップの模式的な構造を示す図である。
【図2】 第１の測定用チップによる測定原理を説明するための模式的な図である。
【図3】 第１の測定装置の模式的な構成を示す図である。
【図4】 第１の測定方法を説明するためのフローチャートである。
【図5】 第２の測定用チップおよびこれを用いる測定装置の模式的な構造を示す図である。
【図6】 第３の測定用チップおよびこれを用いる測定装置の模式的な構造を示す図である。
【図7】 第４の測定用チップおよびこれを用いる測定装置の模式的な構造を示す図である。
【図8】 第５の測定装置の模式的な構造を示す図である。
【図9】 測定用チップの導入部に設けられる回折格子のバリエーションを示す平面図である。
【図10】 実施例１において、導入部に入射する光の入射角度θの許容範囲を測定したグラフである。
【図11】 実施例１において、光の入射角度θのピーク角度のずれを説明するための測定用チップの模式的な構造を示す図である。
【図12】 光導波路型の従来の測定用チップの模式的な構造を示す図である。
【図13】 光導波路型の従来の測定用チップを用いて複数の測定対象物を並列して測定する場合の測定装置の模式的な構成を示す図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１ 測定用チップ ２ 伝搬層 ３ 導入部 ４（４Ａ，４Ｂ，４Ｃ） 導出部 ６ リガンド層 ７ 基材 １０ 測定装置 １１ 光源 １２ 受光部 １３ 制御部 １４ 測定部 １５ コリメートレンズ １７ ミラー １８ 入射光 １９ 出射光 ３１ 格子パターン ４１ 格子パターン ７２ リガンド ７５ アナライト ８１ 光源 ８２ 受光部 ８５ コリメートレンズ ８６ ビームスプリッタ ８７ ミラー ８８ 入射光 ８９ 出射光 ９１ 測定用チップ ９２ 伝搬層 ９３ 導入部 ９４ 導出部 ９６ リガンド層 ９７ 基材 １００ 測定装置

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