スケール部材を読み取るための位置エンコーダリードヘッドであって、
上に落ちる一次スケール信号を検出するための一次センサー要素の実質的に連続したアレイを含む一次センサーであって、前記アレイは、測定する寸法に沿って延び、前記一次センサーは、前記測定する寸法に沿った前記リードヘッドとスケールとの相対位置に依存する信号を出力するように構成される、一次センサーと、
上に落ちる二次スケール信号を検出するために、前記一次センサー の両端の間のロケーションにおいて前記測定する寸法に沿って置かれた少なくとも第１の二次センサー要素を含む二次センサーと
を備え、
ｉ）前記一次センサーによって出力される前記位置信号における前記一次センサー要素の影響は、両端に向かってテーパリングする多峰分布に従って、前記測定する寸法に沿って変わり、
ｉｉ）前記測定する寸法に平行に延び、前記少なくも第１の二次センサー要素を通り、前記少なくとも第１の二次センサー要素のどちらの側でも、少なくとも１つの一次センサー要素を通る第１の概念的な線が識別されることが可能である
ように構成されたことを特徴とする位置エンコーダリードヘッド。 前記測定する寸法に垂直に測定される前記少なくとも第１の二次センサー要素の長さの少なくとも１５％、例えば少なくとも２５％、オプションとして少なくとも５０％、好ましくは少なくとも７５％に対して、前記測定する寸法に平行に延び、前記少なくとも第１の二次センサー要素を通り、前記少なくとも第１の二次センサー要素のどちらの側でも、少なくとも１つの一次センサー要素を通る前記第１の概念的な線が識別されることが可能であるように構成されることを特徴とする請求項１に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記第１の概念的な線は、前記少なくとも第１の二次センサー要素を通り、前記少なくとも第１の二次センサー要素のどちらの側でも、少なくともＸ個の一次センサー要素のグループを通り、ただし、Ｘは、前記一次センサーのセンシング要素のアレイにおけるセンシング要素の総数の少なくとも５％であることを特徴とする請求項１または２に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記多峰分布は、ピークの領域と波の谷の領域との間においてテーパリングすることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記少なくとも第１の二次センサー要素は、前記測定する寸法に沿って前記一次センサーに関して実質的に中央に置かれることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記少なくとも第１の二次センサー要素は、前記測定する寸法に平行に延びる前記一次センサーの概念的な中心線の第１の側に少なくとも優位に、前記一次センサーの横に配列されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記二次センサーは、前記一次センサーの両端の間のロケーションにおいて前記測定する寸法に沿って置かれ、前記測定する寸法に平行に延びる前記一次センサーの前記概念的な中心線の第２の側において前記一次センサーの側に配列された少なくとも第２の二次センサー要素を含み、前記一次センサーは、
ｉ）前記測定する寸法に平行に延び、前記第２の二次センサー要素を通り、前記少なくとも第２の二次センサー要素のどちらの側でも、少なくとも１つの一次センシング要素を通る第２の概念的な線が識別されることが可能である
ように構成されることを特徴とする請求項６に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記測定する寸法に垂直に測定される前記少なくとも第２の二次センサー要素の長さの少なくとも５０％、オプションとして少なくとも７５％、好ましくは少なくとも９５％に対して、前記測定する寸法に平行に延び、前記少なくとも第２の二次センサー要素を通り、前記少なくとも第２の二次センサー要素のどちらの側でも、少なくとも１つの一次センシング要素を通る前記第２の概念的な線が識別されることが可能であるように構成されることを特徴とする請求項７に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記少なくとも第２の二次センサー要素は、前記一次センサーの中央に位置したトラフ形状に分けられた区域内に少なくとも部分的にあるように、前記測定する寸法に沿って前記一次センサーに関して実質的に中央に置かれることを特徴とする請求項７または８に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記一次センサーは、出力される前記位置信号における前記一次センサー要素の影響が、両端に向かってテーパリングする二峰分布に従って、前記測定する寸法に沿って変わるように構成されることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか一項に記載の位置エンコーダリードヘッド。 出力される前記位置信号における前記一次センサーの影響の変動は、前記測定する寸法に垂直に延びる前記一次センサーの概念的な中心線について、実質的に対称であることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記一次センサー全体のセンシングエリアは、前記測定する寸法に垂直な方向に測定されるような、前記一次センサー要素の有効なセンシングの長さが、両端に向かってテーパリングする多峰分布に従って、前記測定する寸法に沿って変わるように形成されることを特徴とする請求項１に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記一次センサーは、インクリメンタルポジションセンサーを含み、前記一次センサー要素の連続したアレイは、インクリメンタルポジションセンサー要素の連続したアレイを含み、前記一次スケール信号は、インクリメンタルポジションスケール信号を含むことを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか一項に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記二次センサーは、リファレンスマークセンサーを含み、前記少なくとも第１の二次センサー要素は、少なくとも第１の二次リファレンスマークセンサー要素を含むことを特徴とする請求項１ないし１３のいずれか一項に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記一次および二次センサー要素は、フォトセンシティブな要素を含むことを特徴とする請求項１ないし１４のいずれか一項に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記一次スケール信号は、フリンジフィールド、オプションとして干渉縞を含むことを特徴とする請求項１ないし１５のいずれか一項に記載の位置エンコーダリードヘッド。 前記リードヘッドは、前記干渉縞を生成するための１つまたは複数の回折格子を含むことを特徴とする請求項１６に記載の位置エンコーダリードヘッド。 請求項１ないし１７のいずれか一項に係るリードヘッドと、
前記一次スケール信号が生成される少なくとも１つの一連の位置特徴を含むスケールと
を備えたことを特徴とするポジションエンコーダ装置。 位置エンコーダ装置のためのスケールであって、
周期的に配列されたインクリメンタルなスケール特徴の一連を含むインクリメンタルスケールトラックであって、前記一連は、測定する寸法に沿って延びる、インクリメンタルスケールトラックと、
前記インクリメンタルスケールトラック内に少なくとも部分的に埋め込まれる１つまたは複数の二次位置特徴であって、前記１つまたは複数の二次位置特徴は、間の空間に提供された、中断されない周期的に配列されたインクリメンタルなスケール特徴を有して少なくとも２つの部分に、前記測定する寸法に垂直な寸法において割られる、二次位置特徴と
を備えたことを特徴とするスケール。 二次位置特徴の一連を含み、二次位置特徴の前記一連は、一連の周期的に配列されるインクリメンタルなスケール特徴と同じ測定する寸法に沿って延び、二次位置特徴の前記一連における前記特徴は、少なくとも２つの部分に、前記測定する寸法に垂直な寸法において割られて、前記スケールが、インクリメンタルなスケール特徴と二次位置特徴との両方を含む２列のスケール特徴と、前記２列のスケール特徴の間に位置した中断されない周期的に配置されたインクリメンタルなスケール特徴を含む１列とを含むことを特徴とする請求項１９に記載のスケール。 前記１つまたは複数の二次位置特徴がリファレンスマークを定義することを特徴とする請求項１９または２０に記載の位置エンコーダ装置。 前記１つまたは複数の二次位置特徴は、前記測定する寸法に沿った一連の一意的な絶対位置を定義することを特徴とする請求項１９または２０に記載の位置エンコーダ装置。 前記１つまたは複数の二次位置特徴は、前記測定する寸法に沿って延びる少なくとも２つの列に含まれ、前述の少なくとも２つの列は、前記測定する寸法に垂直な寸法において横方向に分離されることを特徴とする請求項１９ないし２２のいずれか一項に記載のスケール。 請求項１９ないし２３のいずれかに記載のスケールと、
インクリメンタルなスケール特徴をセンスするための少なくとも１つのインクリメンタルセンサー、および、前記測定する寸法に垂直な前記寸法において前記少なくとも１つのインクリメンタルセンサーの反対側に位置した少なくとも第１および第２の二次位置センサー、を含むリードヘッドと
を備えたことを特徴とするポジションエンコーダ装置。 位置エンコーダ装置のためのスケールであって、
周期的に配列されたインクリメンタルなスケール特徴の一連を含むインクリメンタルスケールトラックであって、前記一連は、測定する寸法に沿って延びる、インクリメンタルスケールトラックと、
前記インクリメンタルスケールトラック内に少なくとも部分的に埋め込まれる１つまたは複数の二次位置特徴であって、前記１つまたは複数の二次位置特徴は、間の空間に提供された、中断されない周期的に配列されたインクリメンタルなスケール特徴を有して少なくとも２つの部分に、前記測定する寸法に垂直な前記寸法において割られる、１つまたは複数の二次位置特徴と
を備えたことを特徴とするスケール。 二次位置特徴の一連を含み、二次位置特徴の前記一連は、周期的に配列されるインクリメンタルなスケール特徴の前記一連と同じ測定する寸法に沿って延び、二次位置特徴の前記一連における特徴は、少なくとも２つの部分に、前記測定する寸法に垂直な前記寸法において割られて、前記スケールが、前記インクリメンタルなスケール特徴と前記二次位置特徴との両方を含む２つの列のスケール特徴と、前記２つの列のスケール特徴の間に位置した中断されない周期的に配置されたインクリメンタルなスケール特徴を含む１つの列とを含むことを特徴とする請求項１に記載のスケール。 前記１つまたは複数の二次位置特徴は、リファレンスマークを定義することを特徴とする請求項１または２に記載のスケール。 前記１つまたは複数の二次位置特徴は、前記測定する寸法に沿った一連の一意的な絶対位置を定義することを特徴とする請求項１または２に記載のスケール。 前記１つまたは複数の二次位置特徴は、前記測定する寸法に沿って延びる少なくとも２つの列に含まれ、前記少なくとも２つの列は、前記測定する寸法に垂直な寸法において横方向に分離されることを特徴とする請求項１または２に記載のスケール。 前記１つまたは複数の二次位置特徴は、前記インクリメンタルスケールトラック内に完全に埋め込まれることを特徴とする請求項１または２に記載のスケール。 請求項１または２に記載のスケールと、
前記インクリメンタルなスケール特徴をセンスするための少なくとも１つのインクリメンタルセンサー、および、前記測定する寸法に垂直な前記寸法において前記少なくとも１つのインクリメンタルセンサーの反対側に位置した少なくとも第１および第２の二次位置センサー、を含むリードヘッドと
を備えたことを特徴とするポジションエンコーダ装置。