特許6030867プラズマ処理装置

発明の名称　プラズマ処理装置

出願人　国立大学法人佐賀大学　（識別番号 504209655）

　　　　特許公開件数ランキング 2546 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1541 位（15件）（共同出願を含む）

出願人　神港精機株式会社　（識別番号 192567）

　　　　特許公開件数ランキング 7168 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5723 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6030867

公報発行日　2016年11月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6030867

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