特開 2015-103533 移載装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2015-103533(P2015-103533A)

(43)【公開日】2015年6月4日

(54)【発明の名称】移載装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20150508BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2013-240535(P2013-240535)

(22)【出願日】2013年11月21日

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(72)【発明者】

【氏名】大田 健策

(72)【発明者】

【氏名】安田 隆了

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA03

5F131AA32

5F131CA19

5F131CA22

5F131DA02

5F131DA32

5F131DA37

5F131DA42

5F131DB02

5F131DB32

5F131DB34

5F131DB42

5F131DB44

5F131DB62

5F131DB72

5F131GA03

5F131GA65

(57)【要約】

【課題】アームの振動の発生を抑制しつつワイヤカセットに基板を移載できる移載装置の提供。
【解決手段】ワイヤカセット２００に対して基板３００を出し入れする移載装置１００であって、水平方向に延びて配置される長尺状のアーム１０１と、アーム１０１の長手方向に一列に並んで配置され、基板３００を支持する支持位置と基板３００が載置されるワイヤ２０１の下方に位置する回避位置との間で出没する複数の支持手段１０３と、複数の支持手段１０３の一部である第一支持手段群１３１を出没させる第一駆動手段１４１と、複数の支持手段１０３の他の一部である第二支持手段群１３２を出没させる第二駆動手段１４２と、第一駆動手段１４１、および、第二駆動手段１４２を制御する制御部とを備える。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

水平方向に所定の間隔で張り渡された複数本のワイヤを備え、前記ワイヤに載置された状態で基板を保持するワイヤカセットに対して、前記ワイヤの張り渡し方向と交差する方向である移載方向に前記基板を出し入れする移載装置であって、
水平方向に延びて配置される長尺状のアームと、
前記アームの長手方向に一列に並んで配置され、前記基板を支持する支持位置と前記基板が載置される前記ワイヤの下方に位置する回避位置との間で出没する複数の支持手段と、
複数の前記支持手段の一部である第一支持手段群を出没させる第一駆動手段と、
複数の前記支持手段の他の一部である第二支持手段群を出没させる第二駆動手段と、
前記第一駆動手段、および、前記第二駆動手段を制御する制御部と
を備える移載装置。

【請求項2】

前記第一駆動手段は、
第一駆動源と、
前記支持手段の並びに沿って配置され、前記第一駆動源の駆動力を第一支持手段群に伝達する長尺棒状の第一伝達部材を備え、
前記第二駆動手段は、
第二駆動源と、
前記支持手段の並びに沿って配置され、前記第二駆動源の駆動力を第二支持手段群に伝達する長尺棒状の第二伝達部材を備える
請求項１に記載の移載装置。

【請求項3】

前記第一駆動源は、第一モータを備え、
前記第一駆動手段はさらに、
前記第一モータの回転駆動力を、前記第一伝達部材の延在方向に前記第一伝達部材が直動するように伝達する第一継手を備え、
前記第二駆動源は、第二モータを備え、
前記第二駆動手段はさらに、
前記第二モータの回転駆動力を、前記第二伝達部材の延在方向に前記第二伝達部材が直動するように伝達する第二継手を備える
請求項２に記載の移載装置。

【請求項4】

前記第一駆動手段はさらに、
前記第一伝達部材の延在方向の直動を前記第一支持手段群に属するそれぞれの前記支持手段の出没動作に変換する複数の第一変換手段を備え、
前記第二駆動手段はさらに、
前記第二伝達部材の延在方向の直動を前記第二支持手段群に属するそれぞれの前記支持手段の出没動作に変換する複数の第二変換手段を備える
請求項３に記載の移載装置。

【請求項5】

前記支持手段は、
前記基板を支持する際に前記基板と当接する位置に弾性部材を備える
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の移載装置。

【請求項6】

当該移載装置は、
固有振動数が異なる複数本の前記アームを備える
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の移載装置。

【請求項7】

複数の前記アームは、前記アームの重量、および、前記アームの形状の少なくとも一方を異ならせることにより前記アームの固有振動数を異ならせる
請求項６に記載の移載装置。

【請求項8】

前記制御部は、
前記第一支持手段群を出没動作させた際に発生する前記アームの振動を打ち消すように、さらに前記第一支持手段群を動作させる制御を行う
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の移載装置。

【請求項9】

前記制御部は、
前記第一支持手段群を出没動作させた際に発生する前記アームの振動を打ち消すように、前記第二支持手段群を動作させる制御を行う
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の移載装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、ワイヤカセットから、または、ワイヤカセットへガラス基板等の基板を移載する装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶ディスプレイなどの表示装置を製造するための基板となるガラス基板を保管する場合、できる限り接触面積を小さくするため、立設された複数のピンによりガラス基板を支持していた。しかし最近のガラス基板の大型化に伴い、ピンによる支持ではガラス基板に撓みが発生していた。また従前の保管方法では、ガラス基板を上下方向に隙間を空けた状態で重ねて保管する場合にガラス基板の間の空間を広くとる必要があるため収納効率を改善することは困難であった。そのため昨今では、ワイヤカセットを用いてガラス基板を保管することが行われる場合がある。

【0003】

前記ワイヤカセットとは、水平面内に所定の間隔で張り渡された複数本のワイヤからなるワイヤ群と、前記ワイヤ群を上下方向に所定の間隔で複数段保持する枠体とを備える棚である。当該ワイヤカセットの水平に配置されたワイヤの上にガラス基板を載置することで、できる限り接触面積を少なくしつつ、ガラス基板の撓みを抑制することが可能となる。また、上下方向に離れて積み重なるガラス基板の間にはワイヤのみが存在するため、収納効率よくガラス基板を積み上げることが可能となる。

【0004】

以上のようなワイヤカセットにガラス基板を移載する場合、ワイヤが張り渡される方向と交差する方向にガラス基板を出し入れする。従って、ガラス基板を下から支持する場合は、ワイヤを回避しながらガラス基板を水平方向に移動させる必要がある。

【0005】

そこで、特許文献１には、基板を点状態で支持し出没可能な複数の支持部材であって、アームの長手方向に並べて配置された支持部材の列を１本のアームの幅方向に２列設けたフォークを備えた移載装置が開示されている。この移載装置は、支持部材の列をアームに対して交互に出没させながらアームをワイヤが張り渡される方向と交差する方向に移動させ、進出状態の支持部材の列によりガラス基板をワイヤから持ち上げて水平方向に移動させるとともに、没入状態の支持部材の列はワイヤを下方でくぐらせるという動作を交互に繰り返すことで、ガラス基板をワイヤカセットに移載することができるものとなっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１２−１５６２３６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ところが昨今では、ディスプレイの大型化に伴いガラス基板の大きさが増大する傾向にあり、これに対応すべく移載装置のアームの長さを長くし、アームに取り付けられる支持部材の数も増加させる傾向にある。このような移載装置では、長尺のアームの幅方向に配置される２列の支持部材を交互に出没させることにより、アームがねじられる方向に振動する可能性が高くなるため、アームの機械的強度を高める必要が生じる。アームの機械的強度を向上させるためには、アームの厚みを厚くすることで対応可能であるが、上下方向に積み上げられた基板の間にアームを挿入する必要があるため、アームの厚みには制限がある。

【0008】

本願発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、支持部材の出没によるアームの振動を抑制し、大型の基板をワイヤカセットに移載することのできる移載装置の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成するために、本願発明にかかる移載装置は、水平方向に所定の間隔で張り渡された複数本のワイヤを備え、前記ワイヤに載置された状態で基板を保持するワイヤカセットに対して、前記ワイヤの張り渡し方向と交差する方向である移載方向に前記基板を出し入れする移載装置であって、水平方向に延びて配置される長尺状のアームと、前記アームの長手方向に一列に並んで配置され、前記基板を支持する支持位置と前記基板が載置される前記ワイヤの下方に位置する回避位置との間で出没する複数の支持手段と、複数の前記支持手段の一部である第一支持手段群を出没させる第一駆動手段と、複数の前記支持手段の他の一部である第二支持手段群を出没させる第二駆動手段と、前記第一駆動手段、および、前記第二駆動手段を制御する制御部とを備えることを特徴とする。

【0010】

これによれば、アームに対して出没する支持部材がアームの長手方向に沿って一列に配置されているため、アームがねじれる方向の振動を抑制することが可能となる。

【0011】

また、前記第一駆動手段は、第一駆動源と、前記支持手段の並びに沿って配置され、前記第一駆動源の駆動力を第一支持手段群に伝達する長尺棒状の第一伝達部材を備え、前記第二駆動手段は、第二駆動源と、前記支持手段の並びに沿って配置され、前記第二駆動源の駆動力を第二支持手段群に伝達する長尺棒状の第二伝達部材を備えるものでもよい。

【0012】

これによれば、アームの長手方向に沿って配置される伝達部材により、アームの機械強度を補強することができる。また、伝達部材をアームの長手方向に直動させることで伝達部材の動作がアームの振動に与える影響を抑制することが可能となる。

【0013】

また、前記第一駆動源は、第一モータを備え、前記第一駆動手段はさらに、前記第一モータの回転駆動力を、前記第一伝達部材の延在方向に前記第一伝達部材が直動するように伝達する第一継手を備え、前記第二駆動源は、第二モータを備え、前記第二駆動手段はさらに、前記第二モータの回転駆動力を、前記第二伝達部材の延在方向に前記第二伝達部材が直動するように伝達する第二継手を備えるものでもよい。

【0014】

これによれば、モータを制御することにより容易に伝達部材の動作を制御することができ、支持部材を滑らかに出没させるなどの制御を簡単に行うことが可能となる。

【0015】

前記第一駆動手段はさらに、前記第一伝達部材の延在方向の直動を前記第一支持手段群に属するそれぞれの前記支持手段の出没動作に変換する複数の第一変換手段を備え、前記第二駆動手段はさらに、前記第二伝達部材の延在方向の直動を前記第二支持手段群に属するそれぞれの前記支持手段の出没動作に変換する複数の第二変換手段を備えてもよい。

【0016】

これによれば、伝達部材の直動をリンク機構やカム機構などの変換手段により支持部材の出没動作に変換するため、支持部材毎にアクチュエーターを設ける必要がなく、駆動手段の軽量化を図ることが可能となる。

【0017】

また、前記支持手段は、前記基板を支持する際に前記基板と当接する位置に弾性部材を備えてもよい。

【0018】

これによれば、基板を支持する際の支持部材から基板に与える衝撃を緩和することが可能となる。

【0019】

また、当該移載装置は、固有振動数が異なる複数本の前記アームを備えてもよい。また、複数の前記アームは、前記アームの重量、および、前記アームの形状の少なくとも一方を異ならせることにより前記アームの固有振動数を異ならせてもよい。

【0020】

これによれば、移載装置が複数のアームを備える場合、アーム相互間での共振を抑制し、アームに大きな振動が発生することを抑制できる。

【0021】

また前記制御部は、前記第一支持手段群を出没動作させた際に発生する前記アームの振動を打ち消すように、さらに前記第一支持手段群を動作させる制御を行ってもよい。また前記制御部は、前記第一支持手段群を出没動作させた際に発生する前記アームの振動を打ち消すように、前記第二支持手段群を動作させる制御を行ってもよい。

【0022】

これによれば、支持部材の動作を制御することでアームに発生する振動を抑制することが可能となる。

【発明の効果】

【0023】

本願発明によれば、アームに発生する振動、特にアームがねじれる方向の振動を抑制することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】図１は、移載装置とワイヤカセットの全体を模式的に示す斜視図である。

【図2】図２は、ワイヤカセットの一部のワイヤを省略して模式的に示す斜視図である。

【図3】図３は、移載装置を模式的に示す斜視図である。

【図4】図４は、アームおよびアームに取り付けられた支持部材を示す斜視図である。

【図5】図５は、アームの先端部分を示す斜視図である。

【図6】図６は、先端から見たアームおよびアームに取り付けられた支持部材を示す平面図である。

【図7】図７は、別態様のアームと支持部材とを先端から示す平面図である。

【図8】図８は、別態様のアームと支持部材とを先端から示す平面図である。

【図9】図９は、別態様のアームと支持部材とを先端から示す平面図である。

【図10】図１０は、別態様のベースプレートを含むアームと支持部材とを先端から示す平面図である。

【図11】図１１は、支持部材と駆動手段の一部を示す側面図である。

【図12】図１２は、別態様の支持部材を示す側面図である。

【図13】図１３は、駆動手段の駆動源近傍を模式的に示す平面図である。

【図14】図１４は、支持部材の変位とアームの振動とを模式的に示すグラフである。

【図15】図１５は、支持部材の変位とアームの振動とを模式的に示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0025】

次に、本願発明に係る移載装置の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施の形態は、本願発明に係る移載装置の一例を示したものに過ぎない。従って本願発明は、以下の実施の形態を参考に請求の範囲の文言によって範囲が画定されるものであり、以下の実施の形態のみに限定されるものではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、本発明の課題を達成するのに必ずしも必要ではないが、より好ましい形態を構成するものとして説明される。

【0026】

図１は、移載装置とワイヤカセットの全体を模式的に示す斜視図である。

【0027】

同図に示すように、移載装置１００は、ワイヤカセット２００に対し、基板（同図中において省略）を搬出入することができる装置である。

【0028】

図２は、ワイヤカセットの一部のワイヤを省略して模式的に示す斜視図である。

【0029】

同図に示すように、ワイヤカセット２００は、水平方向に所定のピッチで図中のＸ軸に沿って張り渡された複数本のワイヤ２０１を備え、複数本のワイヤ２０１に架橋状に基板３００を載置して保持することができる棚である。また、ワイヤカセット２００は、ワイヤ２０１を保持する枠体２０２を備え、水平面の一面に配置された複数のワイヤ２０１であるワイヤ群を上下方向に所定の間隔で複数段保持するものとなっている。

【0030】

これにより、基板３００を上下方向に所定の間隔で積み重ねた状態で保管することができ、基板３００を撓ませることなく、高い空間効率で保管することが可能となる。

【0031】

図３は、移載装置を模式的に示す斜視図である。

【0032】

移載装置１００は、ワイヤ２０１の張り渡し方向（図中Ｘ軸方向）と交差する方向である移載方向（本実施の形態の場合、図中Ｙ軸方向）に基板３００を出し入れし、ワイヤカセット２００から基板３００を搬出入することができるアーム１０１を備えた装置である。本実施の形態の場合、移載装置１００は、アーム保持手段１９１と、アーム昇降手段１９２と、アーム移動手段１９３と、軌条１９４とを備えている。

【0033】

アーム１０１は、ワイヤカセット２００の上下方向に隣接するワイヤ群の間に挿入され、また、抜き出されることができる部材であり、支持部材１０３が取り付けられている。なお、アーム１０１、および、支持部材１０３についての詳細は後述する。

【0034】

アーム保持手段１９１は、アーム１０１の長手方向の端部を保持し、アーム１０１を片持ち状態で水平面に沿うように配置するための装置である。本実施の形態の場合、アーム保持手段１９１は、アーム１０１を同一平面内に複数本（本実施の形態では４本）保持することができるものとなっている。なお、アーム保持手段１９１がアーム１０１を保持する保持構造は特に限定されるものではないが、例えば、アーム１０１を構成する材質が機械加工が困難なものや、溶接などが困難な場合は、アーム１０１を上下方向から剛性の高いプレートなどで挟み込んで挟持してもかまわない。

【0035】

アーム昇降手段１９２は、アーム１０１を上下方向（図中Ｚ軸方向）に移動させるための装置である。アーム１０１を上下方向に移動させることにより、ワイヤカセット２００の所望の段にアーム１０１を挿入することができ、アーム１０１をワイヤカセット２００に挿入後、僅かにアーム１０１を上昇させることで、ワイヤ２０１に載置された基板３００をワイヤ２０１から持ち上げることが可能となる。また、逆の動作により、アーム１０１に保持された基板３００をワイヤカセット２００のワイヤ２０１に基板３００を載置することもできる。

【0036】

アーム移動手段１９３は、アーム１０１をアーム１０１の延設方向に（図中Ｙ軸方向に）進出し、また、後退させることができる装置である。さらに本実施の形態の場合、アーム移動手段１９３は、軌条１９４に沿って、アーム１０１をアーム１０１の延設方向と交差する方向（図中Ｘ軸方向）に移動させることができるものとなっている。これにより、アーム１０１に保持される基板３００を移送することができる。

【0037】

なお本実施の形態の場合、アーム移動手段１９３は、アーム１０１をアーム保持手段１９１、および、アーム昇降手段１９２と共にアーム移動手段１９３に対し相対的に進退させることができるものとなっているが、アーム移動手段１９３とアーム１０１とが直接的、または、間接的に固定され、アーム移動手段１９３がアーム１０１の延設方向に移動することで、アーム１０１をワイヤカセット２００などに対して進退させるものでもかまわない。また、アーム移動手段１９３は、軌条１９４に沿って移動するものばかりでなく、車輪などにより床面を自在に走行する舵を備えた装置であってもかまわない。

【0038】

図４は、アームおよびアームに取り付けられた支持部材を示す斜視図である。

【0039】

図５は、アームの先端部分を示す斜視図である。

【0040】

図６は、先端から見たアームおよびアームに取り付けられた支持部材を示す平面図である。

【0041】

これらの図に示すように、アーム１０１は、ベースプレート１１０と、第一補強部材１１１と、第一トッププレート１２１とを備えている。本実施の形態の場合、アーム１０１はさらに、第二補強部材１１２と、第二トッププレート１２２とを備えている。

【0042】

なお、これらの図において、支持部材１０３などは省略して示される場合がある。

【0043】

ベースプレート１１０は、水平方向に延びて配置される長尺板状の構造部材である。ベースプレート１１０は、軽量で片持ち状態でも撓みにくい材質からなるものが好ましい。具体的には、炭素繊維強化プラスチック（carbon-fiber-reinforced plastic,CFRP）からなるベースプレート１１０を例示することができる。また、ベースプレート１１０は、マグネシウム合金や、アルミニウム合金などからなるものでも良い。

【0044】

なお図７に示すように、ベースプレート１１０は、ベースプレート１１０の長手方向（図中Ｙ軸方向）に沿って延び、上下方向に沿って突出するベースリブ１１３を備えてもかまわない。ベースリブ１１３により、軽量で撓みにくい構造のベースプレート１１０を形成することができる。

【0045】

また、ベースプレート１１０は、図１０に示すように、第一ベースプレート１１８と、第一ベースプレート１１８の長手方向における線膨張率よりも線膨張率が高く、第一ベースプレート１１８の下面に張り合わされる第二ベースプレート１１９とを備えてもよい。さらに、ベースプレート１１０を加熱する加熱源１１７を備えてもかまわない。本実施の形態の場合、加熱源１１７は、シート状のヒーターであり、第一ベースプレート１１８と第二ベースプレート１１９との間に挟まった状態で配置されている。

【0046】

第一補強部材１１１、および、第二補強部材１１２（これらを「補強部材」と総称する場合がある）は、ベースプレート１１０の長手方向（図中Ｙ軸方向）に沿って延び、ベースプレート１１０の幅よりも狭い幅を有し、ベースプレート１１０の幅方向（図中Ｘ軸方向）の端部においてベースプレート１１０の上面部に接合される中空の部材である。

【0047】

本実施の形態の場合、補強部材は、金属製、例えばアルミニウム合金やステンレスの中空の角パイプであり、補強部材の中空部１１４は、補強部材の長手方向に連続的に延びた状態で配置されている。このように補強部材として角パイプを採用することで、ベースプレート１１０やトッププレートとの接触面積を広くすることができ、接着剤で補強部材とベースプレート１１０やトッププレート接合した場合の接合強度を向上させることが可能となる。

【0048】

また、第一補強部材１１１は、ベースプレート１１０の幅方向に所定の間隔で配置される複数本（本実施の形態では２本）のパイプを備えている。これにより、第一補強部材１１１と接合される第一トッププレート１２１の幅を広くすることができ、軽量化を図りながらアーム１０１の機械的強度の向上を図ることが可能となる。第二補強部材１１２についても同様である。

【0049】

なお、補強部材は上記に限定されるものではない。例えば、補強部材の中空部１１４は、補強部材の長手方向（図中Ｙ軸方向）に交差する方向に伸びた状態で複数箇所に配置されるものでもよい。具体的には、補強部材は、上下方向（図中Ｚ軸方向）に延びて配置される六角柱形状の中空部１１４を多数備えるハニカム構造体であってもよい。また、補強部材は、気泡状の中空部１１４を多数備える発泡樹脂からなる部材であってもかまわない。

【0050】

また、補強部材は、角パイプに限定されるものではなく、円筒でもかまわない。さらに、図９に示すように、Ｈ型やその他の形状の部材でもかまわない。Ｈ型などの場合、補強部材に囲まれている部分は一部が開放状態であっても中空部１１４である。

【0051】

また、補強部材は、適宜肉抜き部を設け、軽量化を図ってもかまわない。

【0052】

また本実施の形態の場合、第一補強部材１１１と第二補強部材１１２とは、ベースプレート１１０の幅方向（図中Ｘ軸方向）の両端部のそれぞれに均等に配置されているが、これに限定されるものではない。例えば、図８に示すように、第一補強部材１１１のみを備えたものでもかまわない。

【0053】

第一トッププレート１２１、および、第二トッププレート１２２（これらを「トッププレート」と総称する場合がある）は、ベースプレート１１０の長手方向（図中Ｙ軸方向）に沿って延び、ベースプレート１１０の幅よりも狭い幅を有し、補強部材の上面部に接合される長尺板状の構造部材である。トッププレートは、軽量で片持ち状態でも撓みにくい材質からなるものが好ましい。具体的には、炭素繊維強化プラスチック（carbon-fiber-reinforced plastic,CFRP）からなるトッププレートを例示することができる。また、トッププレートは、マグネシウム合金や、アルミニウム合金などからなるものでも良い。

【0054】

なお図７に示すように、トッププレートは、トッププレートの長手方向（図中Ｙ軸方向）に沿って延び、上下方向に沿って突出するトップリブ１１５を備えてもかまわない。トップリブ１１５により、軽量で撓みにくい構造のトッププレートを形成することができる。

【0055】

なお、ベースプレート１１０の長手方向（図中Ｙ軸方向）における線膨張率は、トッププレートの長手方向における線膨張率よりも高くしてもかまわない。これにより、アーム１０１の先端部か垂れ下がる方向の撓みを抑制することが可能となる。

【0056】

また本実施の形態の場合、第一トッププレート１２１と第二トッププレート１２２とは、ベースプレート１１０の幅方向（図中Ｘ軸方向）の両端部のそれぞれに均等に配置されているが、これに限定されるものではない。例えば、図８に示すように、第一トッププレート１２１のみを備えたものでもかまわない。

【0057】

支持部材１０３は、ベースプレート１１０の上方であって第一補強部材１１１の側方に配置され、基板３００を支持する支持位置と基板３００が載置されるワイヤカセット２００のワイヤ２０１の下方に位置する回避位置との間で出没する部材である。

【0058】

支持部材１０３は、アーム１０１の長手方向（図中Ｙ軸方向）に一列に並んで配置され、図１１に示すように、基板３００を支持する支持位置Ｔと基板３００が載置されるワイヤ２０１の下方に位置する回避位置Ｂとの間で出没する部材である。なお、本実施の形態の場合、複数の支持部材１０３の内のいくつかを第一支持部材群１３１とグループ化し、他のいくつかを第二支持部材群１３２とグループ化している。具体的には、アーム１０１の最先端部に配置される支持部材１０３を含み、当該支持部材１０３から一つ飛ばしで配置される支持部材１０３を第一支持部材群１３１としてグループ化し、アーム１０１の最先端部に配置される支持部材１０３に隣接する支持部材１０３から一つ飛ばしで配置される支持部材１０３を第二支持部材群１３２としてグループ化している。

【0059】

本実施の形態の場合、支持部材１０３は、板状の部材であり、基板３００と接触する部分はアールが設けられている。

【0060】

なお、支持部材１０３は、基板３００を支持する際に基板３００と当接する位置に弾性部材１３３を備えてもかまわない。これにより、支持部材１０３が基板３００に当接する際の衝撃を緩和することが可能となる。さらに、弾性部材１３３は、支持部材１０３の本体に対して回動するように取り付けられていても良い。これにより、支持部材１０３が回動により出没する場合に、基板３００と支持部材１０３との間に発生する擦れを弾性部材１３３の回動により緩和することが可能となる。この場合、支持部材１０３の回動軸と支持部材１０３に対する弾性部材１３３の回動軸とが平行に配置されることが好ましい。

【0061】

また、支持部材１０３は基板３００を支持する際に基板３００に対向する位置に、圧縮空気を吹き出すことにより基板３００を非接触で保持する非接触保持部材を備えていても構わない。この場合、支持部材１０３はその対向する位置において幅方向（図中Ｘ方向）に厚みを持つ形状とし、非接触保持部材として圧縮空気源からの圧縮空気の供給を必要としない、例えば株式会社村田製作所製のマイクロブロアや高砂電気工業株式会社製のピエゾマイクロポンプを、その吹き出し口を上向きになるように指示部材１０３に取り付ける。これにより、支持部材１０３と基板３００の直接の接触が制限され、磨耗粉の発生や振動の発生を緩和することが可能になる。

【0062】

本実施の形態の場合、移載装置１００は、第一支持部材群１３１を出没させる第一駆動手段１４１と、第二支持部材群１３２を出没させる第二駆動手段１４２と、第一駆動手段１４１、および、第二駆動手段１４２（これらを「駆動手段」と総称する場合がある）を制御する制御部（図示せず）とを備えている。

【0063】

駆動手段は、支持部材１０３をアーム１０１に対して出没されることができるものであれば、特に限定されるものではない。例えば駆動手段としては、エアーアクチュエーターや、支持部材１０３を直動させるソレノイドなどでもかまわない。

【0064】

本実施の形態の場合、第一駆動手段１４１は、図５に示すように、第一駆動源（図示せず）と、第一駆動源の駆動力を第一支持部材群１３１に伝達する第一伝達部材１４３と、第一伝達部材１４３の動作を第一支持部材群１３１に属する支持部材１０３の出没動作に変換する第一変換手段１４４とを備えている。第二駆動手段１４２は同様に、第二駆動源（図示せず）と、第二駆動源の駆動力を第二支持部材群１３２に伝達する第二伝達部材１４５と、第二伝達部材１４５の動作を第二支持部材群１３２に属する支持部材１０３の出没動作に変換する第二変換手段１４６とを備えている。

【0065】

図１３は、駆動手段の駆動源近傍を模式的に示す平面図である。

【0066】

第一駆動源１５１は、第一支持部材群１３１に属する支持部材１０３をアーム１０１に対して出没させる駆動力を発生させる装置である。本実施の形態の場合、第一駆動源１５１は、アーム保持手段１９１に取り付けられた第一モータ（図示せず）を備えている。なお、同図中において第一駆動源１５１の回転駆動軌跡を一点鎖線の円で示している。

【0067】

第二駆動源１５２は、第二支持部材群１３２に属する支持部材１０３をアーム１０１に対して出没させる駆動力を発生させる装置である。本実施の形態の場合、第二駆動源１５２は、アーム保持手段１９１に取り付けられた第二モータ（図示せず）を備えている。なお、同図中において第二駆動源１５２の回転駆動軌跡を一点鎖線の円で示している。

【0068】

第一駆動手段１４１はさらに、第一モータの回転駆動力を、第一伝達部材１４３の延在方向（図中Ｙ軸方向）に第一伝達部材１４３が直動するように伝達する第一継手１５３と、第一伝達部材１４３の直動をガイドする第一ガイド１５５とを備えている。

【0069】

第二駆動手段１４２はさらに、第二モータの回転駆動力を、第二伝達部材１４５の延在方向（図中Ｙ軸方向）に第二伝達部材１４５が直動するように伝達する第二継手１５４と、第二伝達部材１４５の直動をガイドする第二ガイド１５６とを備えている。

【0070】

なお、これら第一駆動源１５１、第二駆動源１５２、第一継手１５３、第二継手１５４、第一ガイド１５５、第二ガイド１５６は、アーム１０１の基端部（アーム保持手段１９１で保持されている部分）近傍に配置されている。

【0071】

第一伝達部材１４３、および、第二伝達部材１４５（これらを「伝達部材」と総称する場合がある）は、支持部材１０３の並びに沿って配置される長尺棒状の部材である。本実施の形態の場合、伝達部材は、アーム１０１の基端部から先端部にわたって延在する中空の金属製のパイプであり、第一伝達部材１４３は、支持部材１０３の一方の側方に配置され、第二伝達部材１４５は支持部材１０３の他方の側方に配置されている。当該伝達部材は、間接的にアーム１０１と接続されており、アーム１０１の機械的強度の向上に寄与している。

【0072】

第一変換手段１４４、および、第二変換手段１４６（これらを「変換手段」と総称する場合がある）は、伝達部材の延在方向（図中Ｙ軸方向）の直動を第一支持部材群１３１に属するそれぞれの支持部材１０３の出没動作（図中Ｚ軸方向）に変換する機構である。

【0073】

本実施の形態の場合、図１１に示すように、変換手段はリンク機構である。具体的には、支持部材１０３の基端部は、アーム１０１の幅方向（図中Ｘ軸方向）に延びる回動軸体１６１で回転揺動するようにアーム１０１に軸支されている。変換手段は、リンク１４７を備え、リンク１４７の一端は、支持部材１０３の中間部と関節で接続されている。一方、リンク１４７の他端は、伝達部材の中間部と関節で接続されている。

【0074】

また、複数の第一変換手段１４４は、第一支持部材群１３１に属する複数の支持部材１０３と第一伝達部材１４３との間をそれぞれ接続し、複数の第二変換手段１４６は、第二支持部材群１３２に属する複数の支持部材１０３と第二伝達部材１４５との間をそれぞれ接続している。

【0075】

以上により、第一変換手段１４４は、伝達部材の直動を支持部材１０３の回転揺動に変換し、第一支持部材群１３１に属する支持部材１０３をアーム１０１に対して一度に出没させることができるものとなっている。第二変換手段１４６も同様である。

【0076】

なお、変換手段はリンク機構に限定されるわけではなく、カム機構を備えていてもかまわない。

【0077】

以上のように、本実施の形態の場合、支持部材１０３は、アーム１０１の長手方向に沿って一列に並んでいる。また、支持部材１０３は、アーム１０１の幅方向の中央に配置されている。さらに、支持部材１０３は、アーム１０１の幅方向の中央を通過しアーム１０１の長手方向に沿って垂直に広がる垂直面に沿って回転揺動することにより出没するものとなっているため、第一支持部材群１３１と第二支持部材群１３２とを交互に出没させる場合でも、アーム１０１がねじれるような振動を抑制することが可能となる。

【0078】

さらに、支持部材１０３は、アーム１０１の重心を通る水平面、またはその近傍の水平面を通過するように出没するため、支持部材１０３を出没させることによって発生するアーム１０１の上下方向の振動を抑制することが可能となる。

【0079】

また、アーム１０１の長手方向に延在する伝達部材の前記長手方向の直動に基づき支持部材１０３を出没させるため、アーム１０１の振動の発生を抑制することが可能となる。

【0080】

なお本実施の形態の場合、支持部材１０３は、ベースプレート１１０に直接軸支されているのではなく、ベースプレート１１０に貼り付けられた補助プレート１１６を介してベースプレート１１０に取り付けられている。これは、ベースプレート１１０がＣＦＲＰからなるものであり、ＣＦＲＰの加工性が悪いため、加工性の高い金属製の補助プレート１１６に支持部材１０３や、駆動手段などを取り付け、当該補助プレート１１６を接着剤によりベースプレート１１０に取り付けることで生産性を向上させている。従って、補助プレート１１６を介さず支持部材１０３や、駆動手段などを直接ベースプレート１１０に取り付けてもかまわない。

【0081】

制御部は、第一駆動手段１４１、および、第二駆動手段１４２を制御する装置である。本実施の形態の場合のように駆動源がサーボモータを備えている場合、制御部は、サーボモータの回転を制御することにより駆動手段を制御する。これにより、支持部材１０３の出没を精密に制御することが可能となる。例えば、支持部材１０３の上下方向（図中Ｚ軸方向）の単位時間当たりの変位、特に、基板３００に当接する際の支持部材１０３の単位時間当たりの変位が、回転運動を単に直線運動に機械的に変換した場合のサインカーブよりも緩やかになるように制御して、支持部材１０３が基板に当接する際の衝撃を可及的に弱めることが可能となる。

【0082】

また、制御部は、第一支持部材群１３１を出没動作させた際に発生するアーム１０１の振動を打ち消すように、さらに第一支持部材群１３１を動作させる制御を行ってもよい。具体的には図１４に示すように、第一支持部材群１３１を支持位置Ｔに進出させると（同図中実線）、アーム１０１は定常位置（振動していない静止位置）から下がる方向に撓む（同図中破線）。その後アーム１０１は復元力により定常位置から上昇する方向に撓もうとする。このタイミングに合わせて第一支持部材群１３１を回避位置Ｂに没入させる制御を制御部が行うことにより、アーム１０１が定常位置から上昇する方向に撓もうとする力を相殺することが可能となる。以上によりアーム１０１の振動を制御部の制御により抑制することが可能となる。

【0083】

また制御部は、第一支持部材群１３１を出没動作させた際に発生するアーム１０１の振動を打ち消すように、第二支持部材群１３２を動作させる制御を行ってもよい。具体的には図１５に示すように、第一支持部材群１３１を支持位置Ｔに進出させると、アーム１０１は定常位置（振動していない静止位置）から下がる方向に撓む。このアーム１０１の撓みの発生タイミングに合わせて既に支持位置Ｔに進出していた第二支持部材群１３２を回避位置Ｂに没入させる制御を制御部が行うことにより、アーム１０１が定常位置から下降する方向に撓もうとする力を相殺することが可能となる。以上によりアーム１０１の振動を制御部の制御により抑制することが可能となる。

【0084】

なお、制御部は、アーム１０１に取り付けられているセンサ（例えば変位センサや加速度センサなど）によりアーム１０１の振動状態を検出し、当該検出結果に基づいて駆動手段を制御しても良い。また、制御部は、事前にアーム１０１の振動の傾向を取得し、これに対応したデータに基づき駆動手段を制御してもかまわない。

【0085】

なお、本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、本明細書において記載した構成要素を任意に組み合わせて、また、構成要素のいくつかを除外して実現される別の実施の形態を本願発明の実施の形態としてもよい。また、上記実施の形態に対して本願発明の主旨、すなわち、請求の範囲に記載される文言が示す意味を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例も本願発明に含まれる。

【0086】

例えば、移載装置１００は、固有振動数が異なる複数本のアーム１０１を備えてもかまわない。具体的には、アーム１０１の重量、および、アーム１０１の形状の少なくとも一方を異ならせることによりアームの固有振動数を異ならせることができる。

【0087】

これにより、複数のアーム１０１が共振して大きな振動が発生することを抑制できる。

【0088】

また、伝達部材を支持部材１０３の両側方にそれぞれ配置したが、伝達部材を支持部材１０３の回動する面内に上下に配置してもかまわない。

【産業上の利用可能性】

【0089】

本願発明は、ワイヤカセットに対して基板を出し入れする移載装置に利用可能である。

【符号の説明】

【0090】

１００ 移載装置
１０１ アーム
１０３ 支持部材
１１０ ベースプレート
１１１ 第一補強部材
１１２ 第二補強部材
１１３ ベースリブ
１１４ 中空部
１１５ トップリブ
１１６ 補助プレート
１１７ 加熱源
１１８ 第一ベースプレート
１１９ 第二ベースプレート
１２１ 第一トッププレート
１２２ 第二トッププレート
１３１ 第一支持部材群
１３２ 第二支持部材群
１３３ 弾性部材
１４１ 第一駆動手段
１４２ 第二駆動手段
１４３ 第一伝達部材
１４４ 第一変換手段
１４５ 第二伝達部材
１４６ 第二変換手段
１４７ リンク
１５１ 第一駆動源
１５２ 第二駆動源
１５３ 第一継手
１５４ 第二継手
１５５ 第一ガイド
１５６ 第二ガイド
１６１ 回動軸体
１９１ アーム保持手段
１９２ アーム昇降手段
１９３ アーム移動手段
１９４ 軌条
２００ ワイヤカセット
２０１ ワイヤ
２０２ 枠体
３００ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】