特開 2015-103639 電子部品検査装置及び電子部品実装装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2015-103639(P2015-103639A)

(43)【公開日】2015年6月4日

(54)【発明の名称】電子部品検査装置及び電子部品実装装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/00 20060101AFI20150508BHJP

   H05K 13/08 20060101ALI20150508BHJP

   H05K 13/04 20060101ALI20150508BHJP

   G01R 31/26 20140101ALI20150508BHJP

【ＦＩ】

   H05K13/00 Z

   H05K13/08 Q

   H05K13/08 B

   H05K13/04 B

   H05K13/04 C

   G01R31/26 C

   G01R31/26 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2013-242538(P2013-242538)

(22)【出願日】2013年11月25日

(71)【出願人】

【識別番号】000003399

【氏名又は名称】ＪＵＫＩ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100090033

【弁理士】

【氏名又は名称】荒船 博司

(74)【代理人】

【識別番号】100093045

【弁理士】

【氏名又は名称】荒船 良男

(72)【発明者】

【氏名】小林 仁

(72)【発明者】

【氏名】池部 仁

(72)【発明者】

【氏名】畠山 祥和

【テーマコード（参考）】

2G003

5E313

【Ｆターム（参考）】

2G003AA04

2G003AB06

2G003AB07

2G003AG11

2G003AG16

5E313AA01

5E313AA11

5E313AA15

5E313CE02

5E313DD01

5E313DD02

5E313DD03

5E313DD12

5E313EE01

5E313EE02

5E313EE03

5E313EE24

5E313FG01

(57)【要約】

【課題】電子部品のリードを保護しつつ検査を行う。
【解決手段】第一と第二の正極プローブ３１，３３と第一と第二の負極プローブ３２，３４とを備え、第一の正極プローブと第一の負極プローブとは、上面３１１，３２１と一側面３１２，３２２とがそれぞれ同一平面上に並んだ状態で隣接保持され、第一の正極プローブと第二の正極プローブとは、互いの一側面３１２，３３２が接離するように移動可能であり、第一の負極プローブと第二の負極プローブとは、互いの一側面３２２，３４２が接離移動可能であり、これらの接離移動を行う正極プローブの移動駆動源３６と負極プローブの移動駆動源３６とを備えることを特徴とする。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも上面部及び一側面部に導体面を備える第一の正極プローブ及び第一の負極プローブを備える電子部品検査装置において、
少なくとも一側面部に導体面を備える第二の正極プローブ及び第二の負極プローブを備え、
前記第一の正極プローブと前記第一の負極プローブとは、互いの前記上面同士と互いの前記一側面同士がそれぞれ同一平面上に並んだ状態で隣接保持され、
前記第一の正極プローブと前記第二の正極プローブとは、少なくともいずれか一方の正極プローブが移動することにより互いの前記一側面同士が接離可能であり、
前記第一の負極プローブと前記第二の負極プローブとは、少なくともいずれか一方の負極プローブが移動することにより互いの前記一側面同士が接離可能であり、
前記移動を行う正極プローブの移動駆動源と、前記移動を行う負極プローブの移動駆動源とを備えることを特徴とする電子部品検査装置。

【請求項2】

前記第二の正極プローブと前記第二の負極プローブとは、互いの前記一側面同士がそれぞれ同一平面上に並んだ状態で隣接保持され、
前記正極プローブの移動駆動源と前記負極プローブの移動駆動源とを一つの駆動源により共用化したことを特徴とする請求項１記載の電子部品検査装置。

【請求項3】

電子部品の実装が行われる基板を保持する基板保持部と、
実装される電子部品を供給する部品供給装置と、
前記電子部品を吸着する吸着ノズルを昇降可能として搭載するヘッドと、
前記基板保持部と前記部品供給部とを含む領域内で前記ヘッドの移動を行う移動機構と、
前記ヘッドの吸着ノズルに搭載する電子部品の順番と搭載目標位置とが含まれた実装データを記憶する記憶部と、
前記実装データに従って前記基板に対する電子部品の実装動作の動作制御を行う動作制御手段とを備える電子部品実装装置において、
前記移動機構による前記ヘッドの移動する領域内に、請求項１又は２記載の前記電子部品検査装置を設けたことを特徴とする電子部品実装装置。

【請求項4】

前記電子部品検査装置は、前記第一の正極プローブの上面と前記第一の負極プローブの上面とに前記電子部品の電極又はリードを当てて前記電子部品の検査を行う第一の検査方法と、前記電子部品検査装置の前記第一の正極プローブと前記第二の正極プローブの前記一側面同士と前記第一の負極プローブと前記第二の負極プローブの前記一側面同士との間に前記電子部品のリードを挟んで前記電子部品の検査を行う第二の検査方法とを選択可能であり、
前記実装データに、前記搭載する電子部品が前記第一と第二のいずれの検査方法で検査するかを示す情報を加え、
前記動作制御手段は、前記実装データに定められた前記検査方法の情報に従って個々の前記電子部品の検査を行わせることを特徴とする請求項３記載の電子部品実装装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子部品検査装置及び電子部品実装装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

基板に電子部品を実装する電子部品実装装置では、電子部品を吸着する吸着ノズルを搭載したヘッドにより電子部品を電子部品検査装置に搬送し、電子部品の電気的特性の検査を行い、検出された電気的特性を確認した上で基板に実装することにより、誤った電子部品の実装（誤実装）を防止している。
上記電子部品検査装置は、図８に示すように、上面の導体部が露出した正極と負極の検査プローブ１０１，１０２を近接状態で並べて保持しており、吸着ノズル１０３に吸着された電子部品Ｃの下面に形成され正極と負極の電極を上方から個々のプローブ１０１，１０２の上面に押しつけることで電気的に接続し、その電気的特性の検出を行っていた（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１−１５９９６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

基板に実装する電子部品の中には、リードを有する電子部品がある（以下、リード部品とする）。このようなリード部品について電気的特性を検査する場合には、二本のリードを下方に向けた状態で吸着ノズルに吸着され、各リードの下端部を個々のプローブの上面に押しつけることで電気的に接続し、その電気的特性の検出を行う。
しかしながら、上記特許文献１の従来技術では、剛性が低いリードＬ１，Ｌ２を備えるリード部品Ｂについて上述の方法で検査を行うと、図９に示すように、各リードＬ１，Ｌ２に撓みが生じ、変形してリードＬ１，Ｌ２の向きや間隔が変わってしまうおそれがあった。
基板に対する電子部品の実装位置は、近年高い位置精度が要求されることが多く、リード部品に上記のようなリードの変形が生じると、電子部品実装装置では基板にリード部品を実装することができなくなる場合があった。

【0005】

本発明は、良好な実装作業を行うことを可能とする電子部品検査装置及び電子部品実装装置を提供することをその目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

請求項１記載の発明は、少なくとも上面部及び一側面部に導体面を備える第一の正極プローブ及び第一の負極プローブを備える電子部品検査装置において、少なくとも一側面部に導体面を備える第二の正極プローブ及び第二の負極プローブを備え、前記第一の正極プローブと前記第一の負極プローブとは、互いの前記上面同士と互いの前記一側面同士がそれぞれ同一平面上に並んだ状態で隣接保持され、前記第一の正極プローブと前記第二の正極プローブとは、少なくともいずれか一方の正極プローブが移動することにより互いの前記一側面同士が接離可能であり、前記第一の負極プローブと前記第二の負極プローブとは、少なくともいずれか一方の負極プローブが移動することにより互いの前記一側面同士が接離可能であり、前記移動を行う正極プローブの移動駆動源と、前記移動を行う負極プローブの移動駆動源とを備えることを特徴とする。

【0007】

請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明と同様の構成を備えると共に、前記第二の正極プローブと前記第二の負極プローブとは、互いの前記一側面同士がそれぞれ同一平面上に並んだ状態で隣接保持され、前記正極プローブの移動駆動源と前記負極プローブの移動駆動源とを一つの駆動源により共用化することを特徴とする。

【0008】

請求項３記載の発明は、電子部品の実装が行われる基板を保持する基板保持部と、実装される電子部品を供給する部品供給装置と、前記電子部品を吸着する吸着ノズルを昇降可能として搭載するヘッドと、前記基板保持部と前記部品供給部とを含む領域内で前記ヘッドの移動を行う移動機構と、前記ヘッドの吸着ノズルに搭載する電子部品の順番と搭載目標位置とが含まれた実装データを記憶する記憶部と、前記実装データに従って前記基板に対する電子部品の実装動作の動作制御を行う動作制御手段とを備える電子部品実装装置において、前記移動機構による前記ヘッドの移動する領域内に、請求項１又は２記載の前記電子部品検査装置を設けたことを特徴とする。

【0009】

請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明と同様の構成を備えると共に、前記電子部品検査装置は、前記第一の正極プローブの上面と前記第一の負極プローブの上面とに前記電子部品の電極又はリードを当てて前記電子部品の検査を行う第一の検査方法と、前記電子部品検査装置の前記第一の正極プローブと前記第二の正極プローブの前記一側面同士と前記第一の負極プローブと前記第二の負極プローブの前記一側面同士との間に前記電子部品のリードを挟んで前記電子部品の検査を行う第二の検査方法とを選択可能であり、前記実装データに、前記搭載する電子部品が前記第一と第二のいずれの検査方法で検査するかを示す情報を加え、前記動作制御手段は、前記実装データに定められた前記検査方法の情報に従って個々の前記電子部品の検査を行わせることを特徴とする。

【発明の効果】

【0010】

請求項１記載の発明は、第一の正極プローブと第一の負極プローブとが、互いの上面同士が同一平面上に並んだ状態で隣接保持されているので、電子部品がいわゆるチップ部品である場合に、その二つの電極を第一の正極プローブの上面の導体面と第一の負極プローブの上面の導体面とに個々に当てた状態で検査を行うことができる。また、電子部品がいわゆるリード部品である場合に各リードの下端部を第一の正極プローブの上面の導体面と第一の負極プローブの上面の導体面とに個々に当てた状態で検査を行うことができる。
以下、これを「第一の検査方法」とする。
さらに、第一の正極プローブと第二の正極プローブとは、少なくともいずれか一方の正極プローブが移動することにより互いの一側面同士が接離可能であり、第一の負極プローブと第二の負極プローブとは、少なくともいずれか一方の負極プローブが移動することにより互いの一側面同士が接離可能である。このため、第一の正極プローブと第二の正極プローブの一側面の間と第一の負極プローブと第二の負極プローブの一側面の間とに個別にリード部品の各リードを挟んだ状態で検査を行うことができる。以下、これを「第二の検査方法」とする。
チップ部品やリードの剛性が高いリード部品については、第一の検査方法で上面当接により検査を行い、リードの剛性が低く変形しやすいリード部品については、第二の検査方法で側面にリードを挟んで検査を行う。
なお、第一の検査方法では、各プローブの移動動作を必要としないので、検査に要する時間の短縮化を図ることができる。
従って、リードの変形が生じやすい電子部品以外は、第一の検査方法により高速で検査を行い、リードの変形が生じやすい電子部品は、第二の検査方法により変形を防止して検査を行うことができる。
これにより、各種の電子部品の検査を行う場合に、リードの保護を図りつつ高速で検査を行うことが可能となる。

【0011】

請求項２記載の発明は、駆動源を共用化するので装置の製造コストの低減を図ることが可能となる。

【0012】

請求項３記載の発明は、電子部品検査装置を搭載するので、各種の電子部品の検査に要する時間を短縮化することができ、実装作業全体の時間を短縮化することが可能となる。
また、リードの剛性の低い電子部品についても検査におけるリードの変形を防ぎ、より確実に実装することが可能となる。

【0013】

請求項４記載の発明は、電子部品検査装置を搭載し、実装データにより検査方法が選択されるので、検査を含む実装作業のより適切な自動化を図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】発明の実施形態である電子部品実装装置の斜視図である。

【図2】電子部品検査装置の概略構成を示す説明図である。

【図3】電子部品検査装置のプローブの周辺を示した斜視図である。

【図4】図４（Ａ）は第一の検査方法を示す斜視図、図４（Ｂ）は拡大側面図である。

【図5】図５（Ａ）は第二の検査方法を示す斜視図、図５（Ｂ）は拡大斜視図である。

【図6】電子部品実装装置の制御系を示すブロック図である。

【図7】制御装置が行う電子部品実装の動作制御を示すフローチャートである。

【図8】従来の電子部品検査装置によるチップ部品の測定状態を示す正面図である。

【図9】従来の電子部品検査装置によるリード部品の測定状態を示す正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

［発明の実施形態］
発明の実施形態について、図１乃至図７に基づいて説明する。図１は、本実施形態たる電子部品実装装置１００の斜視図である。以下、図示のように、水平面において互いに直交する二方向をそれぞれＸ軸方向とＹ軸方向とし、これらに直交する鉛直方向をＺ軸方向というものとする。
電子部品実装装置１００は、基板Ｓに各種の電子部品Ｂ，Ｃの搭載を行うものである。電子部品Ｂは部品本体部の下端部に下方に延出された一対のリードＬ１，Ｌ２を備えたリード部品であり、電子部品Ｃは略直方体形状であってその底面の一端部と他端部とに平面的な電極を備えるチップ部品である。
電子部品実装装置１００は、図１に示すように、搭載される電子部品Ｂ，Ｃを供給する複数の部品供給装置としての電子部品フィーダ１０８を複数（図１では一つのみ図示）並べて保持する設置部としてのフィーダバンク１０２からなる部品供給部と、Ｘ軸方向に基板を搬送する基板搬送手段１０３と、当該基板搬送手段１０３による基板搬送経路の途中に設けられた基板Ｓに対する電子部品搭載作業を行うための基板保持部としての基板クランプ機構１０４と、複数の吸着ノズル１０５を昇降可能に保持して電子部品Ｂ，Ｃの保持を行うヘッド１０６と、各吸着ノズル１０５における電子部品Ｂ，Ｃの吸着姿勢を検出する撮像手段としてのカメラ１０と、ヘッド１０６を部品供給部と基板クランプ機構１０４とを含んだ作業エリア内の任意の位置に移動させる移動機構としてのＸ−Ｙガントリ１０７と、各吸着ノズル１０５に吸着された電子部品Ｂ，Ｃの電気的特性の検査をおこなう電子部品検査装置３０と、上記各構成を搭載支持するベースフレーム１１４と、上記各構成の動作制御を行う動作制御手段としての制御装置１２０（図６参照）とを備えている。

【0016】

かかる電子部品実装装置１００は、制御装置１２０が、電子部品Ｂ，Ｃの実装に関する各種の設定内容が記録された実装データを保有している。実装データには、実装すべき電子部品Ｂ，Ｃのリストと、各電子部品Ｂ，Ｃの電子部品フィーダ１０８等の設置位置に基づく部品受け取り位置１０８ａの位置データ（例えば、Ｘ−Ｙガントリ１０７のＸ−Ｙ座標系における位置座標）と、各電子部品Ｂ，Ｃの基板上の実装位置を示す位置データ（例えば、Ｘ−Ｙガントリ１０７のＸ−Ｙ座標系における位置座標）とが含まれており、制御装置１２０はこれらを読み出すと共に、Ｘ−Ｙガントリ１０７を制御してヘッド１０６を電子部品Ｃの受け取り位置１０８ａと実装位置とに移送し、各位置においてヘッド１０６を制御して吸着ノズル１０５の昇降動作及び吸着又は解放動作を行い、電子部品Ｃの実装の動作制御を実行する。

【0017】

［基板搬送手段及び基板保持部］
基板搬送手段１０３は、図示しない搬送ベルトを備えており、その搬送ベルトにより基板をＸ軸方向に沿って搬送する。
また、前述したように、基板搬送手段１０３による基板搬送経路の途中には、電子部品Ｂ，Ｃを基板へ搭載する際の作業位置で基板Ｓを固定保持するための基板クランプ機構１０４が設けられている。かかる基板クランプ機構１０４は、基板搬送方向に直交する方向における両端部で基板Ｓをクランプするようになっている。また、基板クランプ機構１０４の下方には、クランプ時に基板Ｓの下面側に当接して電子部品搭載時に基板Ｓが下方に撓まぬように支承する複数の支持棒（図示略）が設けられている。基板Ｓはこれらにより保持された状態で安定した電子部品Ｃの搭載作業が行われる。

【0018】

［Ｘ−Ｙガントリ］
Ｘ−Ｙガントリ１０７は、Ｘ軸方向にヘッド１０６の移動を案内するＸ軸ガイドレール１０７ａと、このＸ軸ガイドレール１０７ａと共にヘッド１０６をＹ軸方向に案内する二本のＹ軸ガイドレール１０７ｂと、Ｘ軸方向に沿ってヘッド１０６を移動させる駆動源であるＸ軸モータ１０９と、Ｘ軸ガイドレール１０７ａを介してヘッド１０６をＹ軸方向に移動させる駆動源であるＹ軸モータ１１０とを備えている。そして、各モータ１０９、１１０の駆動により、ヘッド１０６を二本のＹ軸ガイドレール１０７ｂの間となる領域のほぼ全体に搬送することを可能としている。
なお、各モータ１０９、１１０は、それぞれの回転量が制御装置１２０に認識され、所望の回転量となるように制御されることにより、ヘッド１０６を介して吸着ノズル１０５の位置決めを行っている。
また、電子部品実装作業の必要上、前述した二つのフィーダバンク１０２，基板クランプ機構１０４及び電子部品検査装置３０とはいずれもＸ−Ｙガントリ１０７によるヘッド１０６の搬送可能領域内に配置されている。

【0019】

［ヘッド］
ヘッド１０６は、その先端部で空気吸引により電子部品Ｂ，Ｃを保持する吸着ノズル１０５と、吸着ノズル１０５をＺ軸方向に沿って昇降させる昇降機構としてのＺ軸モータ１１１（図６参照）と、吸着ノズル１０５を回転させて保持された電子部品Ｂ，ＣをＺ軸方向回りに角度調節するためのθ軸モータ１１２（図６参照）とが設けられている。
また、上記吸着ノズル１０５は、Ｚ軸方向に沿った状態で昇降可能且つ回転可能にヘッド１０６に支持されており、昇降による電子部品Ｂ，Ｃの受け取り又は実装及び回転による電子部品Ｂ，Ｃの角度調節が可能となっている。
さらに、吸着ノズル１０５はＸ軸方向に沿って均一ピッチで複数（例えば３本）並んで保持されており、電子部品Ｂ，Ｃの実装時にそれぞれの吸着ノズル１０５に電子部品の吸着を行ってから実装を行うようになっている。
また、Ｚ軸モータ１１１、θ軸モータ１１２は、各吸着ノズル１０５ごとに個別に設けられている。
なお、吸着ノズル１０５は、少なくとも電子部品Ｃと接触するその下端部全体が10⁵[Ω]以上10⁸[Ω]以下の抵抗素材で形成されており、静電気により帯電した電子部品Ｃを吸着ノズル１０５が吸着した場合に、当該吸着ノズル１０５を通じて徐々に電荷を逃がすことができ、静電気による電子部品Ｃの破壊を防止することが可能となっている。

【0020】

また、ヘッド１０６の下部には各吸着ノズル１０５に吸着された電子部品を撮像するカメラ１０が装備されている。このカメラ１０はＣＣＤ或いはＣＭＯＳ等の撮像素子を搭載し、画像をデータ化して取得することを可能としている。
上記カメラ１０は、吸着ノズル１０５に吸着された電子部品を水平方向から撮像する。撮像の際には、吸着ノズル１０５は回転動作が付与される。制御装置１２０は、カメラ１０の撮像により画像データを生成し、電子部品の画像が占める画素数からその幅を求めることができる。また、吸着ノズル１０５の回転による電子部品の撮像画像の幅の変化から、電子部品が現在どの方向を向いているかを特定する。なお、電子部品の幅の基準寸法のデータは前述した実装データに記録されており、これと照合しつつ電子部品の向きを特定する。

【0021】

［フィーダバンク及び電子部品フィーダ］
フィーダバンク１０２は、ベースフレーム１１４のＹ軸方向一端部（図１手前側）にＸ軸方向に沿った状態で設けられている。フィーダバンク１０２は、Ｘ−Ｙ平面に沿った長尺の平坦部を備え、当該平坦部の上面に複数の電子部品フィーダ１０８等がＸ軸方向に沿って並んだ状態で装備される（図１では電子部品フィーダ１０８を一つのみ図示しているが実際には複数の電子部品フィーダ１０８等が並んで装備される）。
また、フィーダバンク１０２は、各電子部品フィーダ１０８等を保持するための図示しないラッチ機構を備えており、必要に応じて、各電子部品フィーダ１０８等をフィーダバンク１０２に対して装着又は分離することを可能としている。

【0022】

上述した電子部品フィーダ１０８は、複数の電子部品Ｂ又はＣの貯留部を備え、その先端部の上部がヘッド１０６に対する電子部品Ｃの供給位置である受け渡し部となっている。そして、各電子部品フィーダ１０８の電子部品Ｂ又はＣの受け渡し部の位置を示すＸ、Ｙ座標値が前述した実装データに記録されている。

【0023】

［電子部品検査装置］
図２は電子部品検査装置３０の概略構成を示す説明図、図３は電子部品検査装置３０の要部の斜視図である。
電子部品検査装置３０は、各吸着ノズル１０５ごとに対応して設けられた第一の正極プローブ３１、第一の負極プローブ３２、第二の正極プローブ３３及び第二の負極プローブ３４と、各プローブ３１〜３４を通じて各種の電気的特性を測定する測定部４０と、各吸着ノズル１０５ごとのプローブ３１〜３４を選択的に切り替えて測定部４０に接続する切替部５０とを備えている。

【0024】

電子部品検査装置３０は、基板搬送手段１０３に隣接してベースフレーム１１４に固定支持された装置フレーム３５を備えており、当該装置フレーム３５の上部に各プローブ３１〜３４が配置されている。

【0025】

第一の正極プローブ３１と第一の負極プローブ３２とは、Ｙ軸方向に沿って並んだ状態で隣接して配置されている。これら第一の正極プローブ３１と第一の負極プローブ３２は、その上面３１１，３２１とＸ軸方向における一端部側の一側面３１２，３２２とが導体面となっており、電子部品Ｂ，Ｃの電極との接触により導通し、通電可能となっている。
第一の正極プローブ３１と第一の負極プローブ３２とは、近接しつつ非接触状態を維持して互いの絶縁状態が保たれている。なお、第一の正極プローブ３１と第一の負極プローブ３２とは、互いの対向面を絶縁材料で被覆して密着させても良い。そして、第一の正極プローブ３１及び第一の負極プローブ３２は、Ｘ軸方向に沿って移動可能となるようにそれぞれが装置フレーム３５に対してスライドガイド３５１，３５２を介して支持されている。なお、第一の正極プローブ３１と第一の負極プローブ３２とは、互いの上面３１１，３２１及び一側面３１２，３２２がそれぞれ同一平面上に並んだ状態で連結されており、一体的にＸ軸方向に沿って移動を行う。

【0026】

第二の正極プローブ３３と第二の負極プローブ３４もまた、Ｙ軸方向に沿って並んだ状態で隣接して配置されている。これら第二の正極プローブ３３と第二の負極プローブ３４も、上面３３１，３４１及びＸ軸方向における一端部側の一側面３３２，３４２が導体面となっており、電子部品Ｂ，Ｃの電極との接触により導通し、通電可能となっている。
これら第二の正極プローブ３３と第二の負極プローブ３４も、近接しつつ非接触状態を維持して互いの絶縁状態が保たれている。また、これらも互いの対向面を絶縁材料で被覆して密着させても良い。
そして、第二の正極プローブ３３及び第二の負極プローブ３４は、Ｘ軸方向に沿って移動可能となるようにそれぞれが装置フレーム３５に対してスライドガイド３５３，３５４を介して支持されている。なお、第二の正極プローブ３３と第二の負極プローブ３４とは、互いの上面３３１，３４１及び一側面３３２，３４２がそれぞれ同一平面上に並んだ状態で連結されており、一体的にＸ軸方向に沿って移動を行う。

【0027】

さらに、装置フレーム３５において、第二の正極プローブ３３の一側面３３２は第一の正極プローブ３１の一側面３２１と対向し、第二の負極プローブ３４の一側面３４２は第一の負極プローブ３２の一側面３１２と対向するように配置されている。これにより、第一の正極プローブ３１及び第一の負極プローブ３２と、第二の正極プローブ３３及び第二の負極プローブ３４とを、互いに近接する方向に移動させることにより、第一の正極プローブ３１と第二の正極プローブ３３の互いの一側面３１２，３３２と、第一の負極プローブ３２と第二の負極プローブ３４の互いの一側面３２２，３４２とを当接させることが可能となっている。
なお、この時、第一の正極プローブ３１の一側面３１２と第二の負極プローブ３４の一側面３４２とは接触せず、且つ、第二の正極プローブ３３の一側面３３２と第一の負極プローブ３２の一側面３２２とは接触しないように、各プローブ３１〜３４は配置されている。

【0028】

また、一体的に連結された第一の正極プローブ３１及び第一の負極プローブ３２と、一体的に連結された第二の正極プローブ３３及び第二の負極プローブ３４とは、図示しないリンク機構を介して移動駆動源であるソレノイド３６（図６参照）により上記接離移動動作が付与される。
なお、上記アクチュエーターとしてはソレノイド３６に限らず、エアシリンダー、モータ等でも良い。

【0029】

電子部品検査装置３０は、チップ部品である電子部品Ｃの検査を行う場合には、図５に示すように、第一の正極プローブ３１及び第一の負極プローブ３２と第二の正極プローブ３３及び第二の負極プローブ３４とが離間した位置に移動され、第一の正極プローブ３１の上面３１１と第一の負極プローブ３２の上面３２１とに電子部品Ｃの底面の二つの電極を個別に当接させる。これにより、電子部品Ｃの各電極を第一の正極プローブ３１と第一の負極プローブ３２とに個別に接続し、検査を行うことを可能としている。これを「第一の検査方法」とする。
また、各リードＬ１，Ｌ２の剛性が高く、リードＬ１，Ｌ２を上方から各プローブ３１，３２の上面３１１，３２１に当接させても曲がりを生じないようなリード部品である電子部品Ｂも上記第一の検査方法で検査を行う。

【0030】

一方、各リードＬ１，Ｌ２の剛性が低く、リードＬ１，Ｌ２を上方から各プローブ３１，３２の上面３１１，３２１に当接させると曲がりを生じ得るようなリード部品である電子部品Ｂについて検査を行う場合には、以下のように検査を行う。
即ち、図５に示すように、各リードＬ１，Ｌ２の下端部が各第一の正極プローブ３１と第一の負極プローブ３２の上面よりも低くなるまで下降させた状態で、第一の正極プローブ３１の一側面３１２と第二の正極プローブ３３の一側面３３２とが密接し、第一の負極プローブ３２の一側面３２２と第二の負極プローブ３４の一側面３４２とが密接する方向に移動させる。
これにより、リードＬ１を第一の正極プローブ３１の一側面３１２と第二の正極プローブ３３の一側面３３２との間に挟み、リードＬ２を第一の負極プローブ３２の一側面３２２と第二の負極プローブ３４の一側面３４２との間に挟み込む。これにより、電子部品Ｂの各リードＬ１，Ｌ２を第一の正極プローブ３１と第一の負極プローブ３２とに個別に接続し、検査を行うことを可能としている。これを「第二の検査方法」とする。

【0031】

なお、プローブ３１〜３４は四つを一組として吸着ノズル１０５毎に装置フレーム３５に装備されており、プローブ３１〜３４の各組の配置は、ヘッド１０６における各吸着ノズル１０５の平面視での並び方向に一致してＸ軸方向に並んでいる。

【0032】

切替部５０は、プローブ３１〜３４の三つの組に接続された三組の配線を測定部４０の検出端子の組に切り替え接続が可能なロータリースイッチであり、切り替えを行うアクチュエーターを搭載している。そして、切替部５０は、各吸着ノズル１０５の電子部品Ｂ又はＣがそれぞれのプローブ３１〜３４により検査が行われる際に、各組に順番に切り替えが行われるように制御装置１２０により動作制御が行われる。

【0033】

測定部４０は、いわゆるマルチテスターであり、抵抗検出部４１と静電容量検出部４２とを備えると共に、各検出部４１，４２の検出範囲について複数のレンジの選択が可能となっている。つまり、測定部４０は、電子部品Ｂ，Ｃに対して電気的特性として抵抗値及び静電容量について選択的に検出を行うことが可能となっている。
そして、測定部４０は、抵抗検出部４１と静電容量検出部４２のいずれにより電子部品Ｂ，Ｃに対する検出を行うか、また、いずれのレンジで検出を行うかが制御装置１２０の制御によって決定される。

【0034】

［電子部品実装装置の制御系］
図６は電子部品実装装置１００の制御系を示すブロック図である。図示のように、Ｘ−Ｙガントリ１０７のＸ軸モータ１０９、Ｙ軸モータ１１０、ヘッド１０６において吸着ノズル１０５の昇降を行うＺ軸モータ１１１、吸着ノズル１０５の回転を行うθ軸モータ１１２は、それぞれ図示しない駆動回路を介して制御装置１２０に接続されている。なお、Ｚ軸モータ１１１及びθ軸モータ１１２は実際には三基ずつ備えているが図示は一つのみに省略する。
また、制御装置１２０には、カメラ１０、電子部品検査装置３０の三つのソレノイド３６（一つのみ図示）、切替部５０及び測定部４０が接続されている。

【0035】

そして、制御装置１２０は、後述する制御プログラムを実行するＣＰＵ１２１と、制御プログラムが格納されたシステムＲＯＭ１２２と、各種のデータを格納することで各種の処理の作業領域となるＲＡＭ１２３と、ＣＰＵ１２１と各種の機器との接続を図るＩ／Ｆ（インターフェース）１２４と、実装データ、その他の設定情報等が格納される不揮発性メモリである記憶部としての記憶装置１２７と、各種の設定や操作に要するデータの入力を行うための操作パネル１２５と、各種設定の内容や必要情報の提示さらには報知画面表示等を行う報知手段としての表示モニタ１２８とを有している。

【0036】

記憶装置１２７には、実装データが記憶され、当該実装データには、前述したように、基板Ｋに対する実装すべき電子部品Ｂ，Ｃのリスト、各電子部品Ｂ，Ｃの実装の順番、各電子部品Ｂ，Ｃの受け取り位置を示す所在位置データ、基板Ｋにおける実装位置を示す実装位置データ、各電子部品Ｂ、Ｃの寸法データ等が記憶されている。またさらに、この実装データ中には、各電子部品Ｂ、Ｃがチップ部品とリード部品のいずれであるかという情報と、第一の検査方法と第二の検査方法のいずれにより検査を行うかという情報と、各電子部品Ｂ、Ｃの電気的特性データとが含まれている。
さらに、上記電気的特性データには、部品種及びその特性値のデータが含まれている。例えば、電子部品Ｂ、Ｃの部品種としては、抵抗素子、コンデンサ、ダイオードが挙げられ、特性値としては、抵抗素子は抵抗値、コンデンサは静電容量、ダイオードは抵抗値（ダイオードは極性を有するので正しい極性の時の抵抗値）が記憶される。

【0037】

［制御装置による動作制御］
制御プログラムによってＣＰＵ１２１が行う電子部品実装の動作制御を図７のフローチャートを参照しつつ説明する。
ＣＰＵ１２１は、実装データを読み込み（ステップＳ１）、定められた順番に応じて三つの吸着ノズル１０５について順番に対象となる電子部品Ｂ又はＣの受け取り位置にヘッド１０６を移動させて各々吸着動作を実行する（ステップＳ２）。

【0038】

各吸着ノズル１０５による吸着後は、各吸着ノズル１０５を撮像位置で回転させてカメラ１０により吸着された電子部品の向き（Ｚ軸回りの向き）の検出を行う（ステップＳ３）。

【0039】

一方、全ての吸着ノズル１０５について電子部品Ｂ又はＣの向きが得られた場合には、ＣＰＵ１２１は、ヘッド１０６を電子部品検査装置３０に移動させる。このとき、実装データから吸着されている電子部品Ｂ又はＣが第一と第二のいずれの検査方法を行うべきかを判定し（ステップＳ４）、第一の検査方法が選択されている場合にはこれを実施する（ステップＳ５）。
即ち、第一の正極プローブ３１と第一の負極プローブ３２の境界位置の上方に吸着ノズル１０５を位置決めし、これらのプローブ３１，３２の上面３１１，３２１を跨る向きに電子部品Ｂ又はＣを回転し、吸着ノズル１０５を下降させて、各リードＬ１，Ｌ２又は電極を各プローブ３１，３２の上面に個別に接触させる。
そして、ステップＳ７に処理を進める。

【0040】

また、ステップＳ４において、第二の検査方法が選択されている場合には、ＣＰＵ１２１は、第二の検査方法を実施する（ステップＳ７）。
即ち、四つのプローブ３１〜３４の中心位置に電子部品Ｂを位置決めし、電子部品Ｂの部品本体の下端部が各プローブ３１〜３４の上面よりも高くなり、リードＬ１，Ｌ２の下端部が各プローブ３１〜３４の上面よりも低くなる位置まで電子部品Ｂを下降させる。また、二本のリードＬ１，Ｌ２がＹ軸方向に並ぶように電子部品Ｂを回転させる。
そして、ソレノイド３６により第一の正極プローブ３１及び第一の負極プローブ３２と第二の正極プローブ３３及び第二の負極プローブ３４とが互いに近接する方向に移動させ、リードＬ１を第一の正極プローブ３１と第二の正極プローブ３３の一側面３１２，３３２の間で挟持し、リードＬ２を第一の負極プローブ３２と第二の負極プローブ３４の一側面３２２，３４２の間で挟持する。
そして、ステップＳ７に処理を進める。

【0041】

ステップＳ７では、ＣＰＵ１２１は、電子部品Ｂ又はＣについて実装データに定められた電気的特性との整合性を判定する。
なお、上記ステップＳ４〜Ｓ７までの処理は、ノズル１０５ごとに全て繰り返し実行される。また、検査を行う吸着ノズル１０５が切り替わる際には、ＣＰＵ１２１は、切替部５０を制御して検査を行うプローブ３１〜３４の組を適宜選択する。また、実装データが示す部品種に対応する検出部４１，４２を適宜選択する。

【0042】

そして、全ての吸着ノズル１０５について、電子部品検査装置３０において得られた電気的特性が実装データの内容と一致する場合には（ステップＳ７：ＹＥＳ）、各電子部品Ｂ又はＣの基板実装位置に順番にヘッド１０６を移動させつつ各電子部品Ｂ又はＣについて実装に適した向きとなるように吸着ノズル１０５を回転させて（ステップＳ８）、各実装位置において吸着ノズル１０５を下降させて順番に実装動作を行い（ステップＳ９）、処理を終了する。

【0043】

一方、ステップＳ７において、いずれかの吸着ノズル１０５について、電気的特性の不整合が認められる場合には（ステップＳ７：ＮＯ）、表示モニタ１２８に不整合の発生を示す報知画面及びいずれの吸着ノズル１０５に不整合が生じたかを示す内容を表示させて報知処理を実行する（ステップＳ１０）。作業者は、これにより、対象となる吸着ノズル１０５について電子部品Ｃの取り違えがあるか検証を行うことができる。例えば、電子部品フィーダ１０８の取り違え、電子部品フィーダ１０８に取り付けるリールの取り違え、或いはテープの継ぎ足しを行った場合の継ぎ足しテープの取り違え、実装データの受け取り位置の入力ミス等を検証して原因の特定及び復旧作業を行うことができる。

【0044】

［実施形態の効果］
以上のように、電子部品実装装置１００の電子部品検査装置３０は、第一の正極プローブ３１の上面３１１と第一の負極プローブ３２の上面３２１とに電子部品ＢのリードＬ１，Ｌ２又は電子部品Ｃの電極を当接させて検査する第一の検査方法と、第一の正極プローブ３１の一側面３１２と第二の正極プローブ３３の一側面３３２との間に電子部品ＢのリードＬ１を挟み、第一の負極プローブ３２の一側面３２２と第二の負極プローブ３４一側面３４２との間にリードＬ２を挟んで電子部品Ｂを検査する第二の検査方法とを選択的に行うことが可能となっている。
電子部品Ｃ（チップ部品）やリードの剛性が高い電子部品Ｂ（リード部品）については、第一の検査方法で迅速な検査を行うことができ、リードの剛性が低く変形しやすい電子部品Ｂ（リード部品）については、第二の検査方法で電子部品ＢのリードＬ１，Ｌ２を保護しつつ検査を行うことができる。
これにより、電子部品検査装置３０は、各種の電子部品の検査を行う場合に、リードの保護を図りつつ高速で検査を行うことが可能となり、電子部品実装装置は１００は迅速な電子部品実装を行うことが可能となる。

【0045】

また、電子部品検査装置３０は、四つのプローブ３１〜３４の動作を一つのソレノイド３６で行うことができ、アクチュエーター数の低減により装置の製造コストの低減を図ることが可能となる。

【0046】

また、電子部品実装装置１００は、実装データにより第一と第二の検査方法が選択されるので、検査を含む実装作業のより適切な自動化を図ることが可能となる。

【0047】

［その他］
なお、上記電子部品検査装置３０において、各プローブ３１〜３４は個々にソレノイドを備え、個別に動作を行っても良い。
また、上記電子部品検査装置３０では、第一の正極プローブ３１及び第一の負極プローブ３２と第二の正極プローブ３３及び第二の負極プローブ３４とが互いに接離する方向に移動を行っているが、第一の正極プローブ３１及び第一の負極プローブ３２のみ又は第二の正極プローブ３３及び第二の負極プローブ３４のみが他方に接離移動する構成としても良い。

【0048】

また、各プローブ３１〜３４を良導体から形成し、表面全体を導体面としても良い。
或いは、第二の正極プローブ３３と第二の負極プローブ３４については一側面３３２，３４２以外は絶縁されている構成としても良い。

【符号の説明】

【0049】

１０ カメラ
３０ 電子部品検査装置
３１ 第一の正極プローブ
３１１ 上面
３１２ 一側面
３２ 第一の負極プローブ
３２１ 上面
３２２ 一側面
３３ 第二の正極プローブ
３３１ 上面
３３２ 一側面
３４ 第二の負極プローブ
３４１ 上面
３４２ 一側面
３６ ソレノイド（移動駆動源）
４０ 測定部
５０ 切替部
１００ 電子部品実装装置
１０２ フィーダバンク
１０４ 基板クランプ機構（基板保持部）
１０５ 吸着ノズル
１０６ ヘッド
１０７ Ｘ−Ｙガントリ（移動機構）
１０８ 電子部品フィーダ（部品供給装置）
１２０ 制御装置（動作制御手段）
１２７ 記憶装置（記憶部）
Ｂ 電子部品（リード部品）
Ｃ 電子部品（チップ部品）
Ｓ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】