特開2015-110214(P2015-110214A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2015-110214非蒸発型ゲッタ材、非蒸発型ゲッタモジュール、及び非蒸発型ゲッタポンプ
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