特開2015-115369ペルヒドロポリシラザン、およびそれを含む組成物、ならびにそれを用いたシリカ質膜の形成方法

発明の名称　ペルヒドロポリシラザン、およびそれを含む組成物、ならびにそれを用いたシリカ質膜の形成方法

出願人　ＡＺエレクトロニックマテリアルズマニュファクチャリング株式会社　（識別番号 312001199）

　　　　特許公開件数ランキング 14556 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12424 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-115369

公報発行日　2015年6月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-115369

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