特開2015-115467基板保持装置、半導体製造装置及び基板吸着判別方法

発明の名称　基板保持装置、半導体製造装置及び基板吸着判別方法

出願人　日新イオン機器株式会社　（識別番号 302054866）

　　　　特許公開件数ランキング 964 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1057 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-115467

公報発行日　2015年6月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-115467

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2015-115467「基板保持装置、半導体製造装置及び基板吸着判別方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録