特開 2015-11816 電気コネクタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2015-11816(P2015-11816A)

(43)【公開日】2015年1月19日

(54)【発明の名称】電気コネクタ

(51)【国際特許分類】

   H01R 13/533 20060101AFI20141216BHJP

   H01R 13/46 20060101ALI20141216BHJP

   H01R 13/52 20060101ALI20141216BHJP

   H01R 13/73 20060101ALI20141216BHJP

【ＦＩ】

   H01R13/533 Z

   H01R13/46 304L

   H01R13/52 301A

   H01R13/73 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2013-135247(P2013-135247)

(22)【出願日】2013年6月27日

(71)【出願人】

【識別番号】000227995

【氏名又は名称】タイコエレクトロニクスジャパン合同会社

(74)【代理人】

【識別番号】100066980

【弁理士】

【氏名又は名称】森 哲也

(74)【代理人】

【識別番号】100103850

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 秀▲てつ▼

(74)【代理人】

【識別番号】100105854

【弁理士】

【氏名又は名称】廣瀬 一

(72)【発明者】

【氏名】寺島 桂太

【テーマコード（参考）】

5E087

【Ｆターム（参考）】

5E087EE11

5E087EE15

5E087FF04

5E087GG02

5E087LL04

5E087LL13

5E087MM08

5E087MM12

5E087RR13

5E087RR31

(57)【要約】

【課題】気密チャンバの内部に配置された内部側相手コネクタを固定する、内部側相手コネクタ固定部に形成された雌ねじ部の内部に空気溜まりが発生したり、切削油等の残留物が残留することを回避することができる、気密チャンバの内部及び外部を電気的に相互接続するために用いられる電気コネクタを提供する。
【解決手段】電気コネクタ１は、気密チャンバの内部Ａ及び外部Ｂを電気的に相互接続するために用いられる。電気コネクタ１において、内部側相手コネクタ固定部５１，５２に、雌ねじ部５１ｄ，５２ｄの雄ねじ部受容部以外の部分と外側とを連通する連通部５１ｅ，５２ｅを設けている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

気密チャンバの内部及び外部を電気的に相互接続するために用いられる電気コネクタであって、
前記気密チャンバの隔壁に取り付けられる一面及び該一面と反対側の他面を有する基板部と、該基板部に絶縁材を介して取付けられた複数のコンタクトと、前記基板部の一面側に設けられ、内部側相手コネクタを固定するための雌ねじ部を有する内部側相手コネクタ固定部と、前記基板部の他面側に設けられ、外部側相手コネクタを固定するための外部側相手コネクタ固定部とを備え、
前記内部側相手コネクタ固定部に、前記雌ねじ部の雄ねじ部受容部以外の部分と外側とを連通する連通部を設けたことを特徴とする電気コネクタ。

【請求項2】

前記連通部は、前記雌ねじ部の底部と外側とを連通するように設けられることを特徴とする請求項１記載の電気コネクタ。

【請求項3】

前記基板部の一面に前記複数のコンタクトの一端側を囲むように取り付けられた、前記内部側相手コネクタが嵌合する内部側相手コネクタ嵌合用シェルと、前記基板部の他面に前記複数のコンタクトの他端側を囲むように取り付けられた、前記外部側相手コネクタが嵌合する外部側相手コネクタ嵌合用シェルとを備えていることを特徴とする請求項１又は２記載の電気コネクタ。

【請求項4】

前記内部側相手コネクタ嵌合用シェル及び前記外部側相手コネクタ嵌合用シェルは、それぞれ、列状に配置された前記複数のコンタクトを囲むようにコンタクト配列方向に細長く延びており、前記内部側相手コネクタ固定部は、細長く延びる前記内部側相手コネクタ嵌合用シェルの長手方向の両脇に一対設けられ、前記外部側相手コネクタ固定部は、細長く延びる前記外部側相手コネクタ嵌合用シェルの長手方向の両脇に一対設けられていることを特徴とする請求項３記載の電気コネクタ。

【請求項5】

前記基板部の一面には、前記内部側相手コネクタ嵌合用シェル及び前記内部側相手コネクタ固定部を囲むように無端状に形成されたＯリング溝が形成され、前記基板部の一面が、前記Ｏリング溝に挿入されたＯリングを介して前記気密チャンバの隔壁に取り付けられることを特徴とする請求項３又は４記載の電気コネクタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、気密チャンバの内部及び外部を電気的に相互接続するために用いられる電気コネクタに関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、気密チャンバの内部及び外部を電気的に相互接続する要請がある。例えば、集積回路を搭載した半導体チップを製造する半導体製造装置においては、内部を真空に近い状態にまで減圧することが可能な真空チャンバを用い、この真空チャンバの内部及び外部を電気的に接続することが行われる。また、チャンバの内部を窒素で充満させたり、あるいはプラズマ雰囲気とする場合がある。

【0003】

このような気密チャンバの内部と外部との電気的接続に際しては、気密チャンバ内部の気密性を保持すると同時に、気密チャンバの内部と外部との確実な電気的接続性が求められる。
従来のこの種の電気接続構造として、例えば、図１１に示すものが知られている（特許文献１参照）。図１１は、従来例の、真空チャンバの内部及び外部を電気的に接続する真空チャンバ用コネクタの断面図である。

【0004】

図１１に示す真空チャンバ用コネクタ１０１は、真空チャンバ１５０の内部Ａ側（真空側）及び外部Ｂ側（大気側）を電気的に相互接続するために用いられる。真空チャンバ用コネクタ１０１には、真空チャンバ１５０の内部Ａ側で内部側相手コネクタ１６０が嵌合し、外部Ｂ側で外部側相手コネクタ（図示せず）が嵌合するようになっている。ここで、真空チャンバ１５０には、開口１５１が形成され、真空チャンバ用コネクタ１０１によって開口１５１が塞がれる。
真空チャンバ用コネクタ１０１は、セラミック基体１１０と、リードピン１２０と、セラミック基体１１０の外周部にろう付けされたスリーブ１３０とを備えている。

【0005】

セラミック基体１１０は、円柱形をなし、スリーブ１３０内を内部Ａ側と外部Ｂ側とを仕切る。リードピン１２０は、セラミック基体１１０の中心部に取り付けられ、一端側が内部Ａ側に突出し、他端側が外部Ｂ側に突出している。スリーブ１３０は、円筒形をなし、内部Ａ側の端部に内部側相手コネクタ凸部１３１を、外部Ｂ側の端部に外部側相手プラグ接続用凸部１３２を備えている。
スリーブ１３０の外周面には、フランジ１４０がろう付けされており、真空チャンバ用コネクタ１０１は、フランジ１４０を真空チャンバ１５０の開口１５１を形成する内壁に溶接することにより、真空チャンバ１５０に取り付けられる。

【0006】

そして、内部側相手コネクタ１６０には、真空チャンバ用コネクタ１０１のスリーブ１３０に形成された内部側相手コネクタ接続用凸部１３１に係合するスリット１６１が形成されている。また、外部側相手コネクタにも、真空チャンバ用コネクタ１０１のスリーブ１３０に形成された外部側相手コネクタ接続用凸部１３２に係合するスリット（図示せず）が形成されている。内部側相手コネクタ１６０を内部Ａ側でスリーブ１３０に接続すると、内部側相手コネクタ１６０に設けられたコンタクト（図示せず）がリードピン１２０に接触する。また、外部側相手コネクタを外部Ｂ側でスリーブ１３０に接続すると、外部側相手コネクタに設けられたコンタクト（図示せず）がリードピン１２０に接触する。

【0007】

なお、この真空チャンバ用コネクタ１０１においては、スリーブ１３０の内部Ａ側に、セラミック基体１１０と内部側相手コネクタ１６０との間の空間と、真空チャンバ１５０の内部Ａとを連通させる気抜孔１３３が設けられている。これにより、真空チャンバ１５０の内部Ａが真空状態になった場合には、前記空間が気抜孔１３３によって高い真空度を有することになる。このため、リードピン１２０に数百Ｖの高電圧をかけても、リードピン１２０とスリーブ１３０との間に放電が発生することを低減でき、電気信号を良好にすることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特開２００９−１３４９０８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

ところで、気密チャンバの内部及び外部を電気的に相互接続するための電気コネクタにおいては、ねじ止めによって内部側相手コネクタ及び外部側相手コネクタを電気コネクタに対して確実に固定する要請がある。
しかし、図１１に示した真空チャンバ用コネクタ１０１においては、内部側相手コネクタ１６０及び外部側相手コネクタを真空チャンバ用コネクタ１０１に対してねじ止めするものではない。

【0010】

一方、内部側相手コネクタ及び外部側相手コネクタを電気コネクタに対してねじ止めによって固定するに際し、図１２に示すような構成で、相手コネクタ２０４を電気コネクタ２０１に固定することが一般的に行なわれる。
即ち、電気コネクタ２０１側の取付け部２０２に、取付けねじ２１０の雄ねじ部２１１が螺合する雌ねじ部２０３を形成する。また、相手コネクタ２０４側の取付け部２０５に、雄ねじ部２１１が挿通する貫通孔２０６を形成する。そして、取付けねじ２１０の雄ねじ部２１１を、相手コネクタ２０４側の貫通孔２０６を挿通させて電気コネクタ２０１側の雌ねじ部２０３に螺合する。同時に、取付けねじ２１０の頭部２１２で相手コネクタ２０４側の取付け部２０５を押さえつけることで、相手コネクタ２０４を電気コネクタ２０１に固定する。

【0011】

この電気コネクタ２０１側の取付け部２０２に雌ねじ部２０３を形成する場合においては、取付けねじ２１０の雄ねじ部２１１をフルに受容できる深さを有するように雌ねじ部２０３を形成するのが一般的である。このため、雌ねじ部２０３は外部に連通していないのが一般的である。
しかし、図１２に示すように、電気コネクタ２０１側に形成された雌ねじ部２０３が外部に連通していない場合、以下の問題点が生じる。

【0012】

即ち、雌ねじ部２０３に取付けねじ２１０の雄ねじ部２１１が螺合し、その螺合が完了した状態において、雌ねじ部２０３内（雌ねじ部の底側内）に空間２０３ａが存在することになる。この空間２０３ａには空気が存在し、空気溜まりが発生する。この空間２０３ａ内に溜まった空気は、相手コネクタ２０４を取付けねじ２１０によって取り付けた後に、じわじわと外部へ漏れ出す。そして、電気コネクタ２０１側に形成された雌ねじ部２０３が気密チャンバの内部に配置される場合には、前述の空気は気密チャンバの内部へじわじわと漏れ出すことになる。この場合において、例えば、気密チャンバの内部を真空状態にしようとすると、前述の漏れ出した空気によって真空度の達成が阻害され、気密チャンバの内部を真空にするための時間が多大にかかってしまう、という問題点がある。

【0013】

また、雌ねじ部２０３を形成する際に使用した切削油が雌ねじ部２０３内に残留したり、あるいは雌ねじ部２０３を切削する際に生じた金属バリなどの残留物が雌ねじ部２０３内に残留することがある。切削油や金属バリなどの残留物は洗浄によって除去されるが、雌ねじ部２０３が外部に連通していないため、洗浄が困難で、洗浄してもそれら切削油や金属バリは雌ねじ部２０３内に残留する可能性が高い。そして、電気コネクタ２０１側に形成された雌ねじ部２０３が内部側相手コネクタ固定部に形成された雌ねじ部であって、気密チャンバの内部側に存在する場合には、前述の切削油は気密チャンバの内部へ漏れ出すことになる。また、前述の金属バリは剥げ落ち、気密チャンバの内部へ落下する。このように、切削油が気密チャンバの内部へ漏れ出したり、金属バリが気密チャンバの内部に落下すると、装置故障の確率が非常に高くなってしまう、という問題点がある。

【0014】

従って、本発明は、これら従来の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、気密チャンバの内部に配置された内部側相手コネクタを固定する、内部側相手コネクタ固定部に形成された雌ねじ部の内部に空気溜まりが発生したり、切削油等の残留物が残留することを回避することができる、気密チャンバの内部及び外部を電気的に相互接続するために用いられる電気コネクタを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0015】

上記目的を達成するために、本発明のある態様に係る気密チャンバの内部及び外部を電気的に相互接続するために用いられる電気コネクタであって、前記気密チャンバの隔壁に取り付けられる一面及び該一面と反対側の他面を有する基板部と、該基板部に絶縁材を介して取付けられた複数のコンタクトと、前記基板部の一面側に設けられ、内部側相手コネクタを固定するための雌ねじ部を有する内部側相手コネクタ固定部と、前記基板部の他面側に設けられ、外部側相手コネクタを固定するための外部側相手コネクタ固定部とを備え、前記内部側相手コネクタ固定部に、前記雌ねじ部の雄ねじ部受容部以外の部分と外側とを連通する連通部を設けたことを特徴としている。

【0016】

この電気コネクタにおいて、前記連通部は、前記雌ねじ部の底部と外側とを連通するように設けられることが好ましい。
また、この電気コネクタにおいて、前記基板部の一面に前記複数のコンタクトの一端側を囲むように取り付けられた、前記内部側相手コネクタが嵌合する内部側相手コネクタ嵌合用シェルと、前記基板部の他面に前記複数のコンタクトの他端側を囲むように取り付けられた、前記外部側相手コネクタが嵌合する外部側相手コネクタ嵌合用シェルとを備えているとよい。

【0017】

また、この電気コネクタにおいて、前記内部側相手コネクタ嵌合用シェル及び前記外部側相手コネクタ嵌合用シェルは、それぞれ、列状に配置された前記複数のコンタクトを囲むようにコンタクト配列方向に細長く延びており、前記内部側相手コネクタ固定部は、細長く延びる前記内部側相手コネクタ嵌合用シェルの長手方向の両脇に一対設けられ、前記外部側相手コネクタ固定部は、細長く延びる前記外部側相手コネクタ嵌合用シェルの長手方向の両脇に一対設けられているとよい。
また、この電気コネクタにおいて、前記基板部の一面には、前記内部側相手コネクタ嵌合用シェル及び前記内部側相手コネクタ固定部を囲むように無端状に形成されたＯリング溝が形成され、前記基板部の一面が、前記Ｏリング溝に挿入されたＯリングを介して前記気密チャンバの隔壁に取り付けられるとなおよい。

【発明の効果】

【0018】

本発明に係る電気コネクタによれば、内部側相手コネクタ固定部に、雌ねじ部の雄ねじ部受容部以外の部分と外側とを連通する連通部を設けてある。このため、前記雌ねじ部に存在する空気は連通部を通って外側に排出される。また、前記雌ねじ部は連通部によって外側に連通しているから、洗浄は容易になる。このため、雌ねじ部を形成する際に使用した切削油が雌ねじ部内に残留したり、あるいは雌ねじ部を切削する際に生じた金属バリなどの残留物が雌ねじ部内に残留することはない。
従って、気密チャンバの内部に配置された内部側相手コネクタを固定する内部側相手コネクタ固定部に形成された雌ねじ部の内部に空気溜まりが発生したり、切削油等の残留物が残留することを回避することができる。

【0019】

これにより、内部側相手コネクタを内部側相手コネクタ固定部に固定した後、気密チャンバ内を減圧する際に、雌ねじ部に存在する空気は連通部を通って既に外側に排出されているから、当該空気は真空チャンバ内には漏れ出さない。このため、雌ねじ部から漏れ出した空気によって真空度の達成が阻害されることはなく、気密チャンバの内部を真空にするための時間を少なくすることができる。
また、内部側相手コネクタ固定部に形成された雌ねじ部の内部に空気溜まりが発生したり、切削油等の残留物が残留することを回避することができるので、残留物による装置故障の確率を極力小さくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明に係る電気コネクタを気密チャンバに取り付け、外部側相手コネクタを電気コネクタに嵌合した状態の斜視図である。

【図2】本発明に係る電気コネクタを気密チャンバに取り付け、外部側相手コネクタを電気コネクタに嵌合した状態を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。

【図3】本発明に係る電気コネクタを気密チャンバに取り付け、外部側相手コネクタを電気コネクタに嵌合した状態を示し、（Ａ）は左面図、（Ｂ）は底面図である。

【図4】図３（Ｂ）における４−４線に沿う断面図である。

【図5】図３（Ｂ）における５−５線に沿う断面図である。

【図6】外部側相手コネクタ固定部に形成された雌ねじ部に取付けねじの雄ねじ部が螺合し、外部側相手コネクタが電気コネクタに固定された状態を示す断面図である。

【図7】本発明に係る電気コネクタを底面側から見た斜視図である。

【図8】本発明に係る電気コネクタを示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。

【図9】本発明に係る電気コネクタを示し、（Ａ）は左側面図、（Ｂ）は底面図である。

【図10】図９（Ｂ）における１０−１０線に沿う断面図である。

【図11】従来例の、真空チャンバの内部及び外部を電気的に相互接続するための真空チャンバ用コネクタの断面図である。

【図12】相手コネクタを電気コネクタに対してねじ止めによって固定する際の一般的な固定方法を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、本発明に係る電気コネクタの実施形態を図面を参照して説明する。
図１乃至図５には、本発明に係る電気コネクタ１を気密チャンバの隔壁７０に取り付け、外部側相手コネクタ８０を電気コネクタ１に嵌合した状態を示している。図１乃至図５においては、気密チャンバの隔壁７０は、その一部が示されている。ここで、気密チャンバは、例えば、集積回路を搭載した半導体チップを製造する半導体製造装置に用いられるものであり、内部Ａ（図４及び図５参照）を真空に近い状態にまで減圧することが可能な真空チャンバとなっている。気密チャンバは、半導体製造装置に用いられる真空チャンバに限らず、チャンバの内部を窒素で充満させたり、あるいはプラズマ雰囲気とするものであってもよい。そして、気密チャンバの隔壁７０には、図４及び図５に示すように、気密チャンバの内部Ａと外部Ｂとを連通させる開口７１が形成されている。

【0022】

電気コネクタ１は、気密チャンバの内部Ａ及び外部Ｂを電気的に相互接続するために用いられるものであり、図４及び図５に示すように、気密チャンバの隔壁７０に開口７１を塞ぐように取り付けられる基板部１０を備えている。基板部１０は、図７乃至図１０に示すように、矩形状の平板で構成され、気密チャンバの隔壁７０に取り付けられる一面１０ａ及び一面１０ａと反対側の他面１０ｂを有する。基板部１０は、金属材料で構成される。基板部１０には、図７に示すように、複数（本実施形態にあっては、４個）の取付けねじ用貫通孔１１が形成されている。電気コネクタ１は、複数の取付けねじ（図示せず）を基板部１０の取付けねじ用貫通孔１１を挿通させて、気密チャンバの隔壁７０にねじ込むことにより、図１乃至図５に示すように、隔壁７０に取り付けられる。ここで、基板部１０の一面１０ａには、図７に示すように、後述する内部側相手コネクタ嵌合用シェル３０及び内部側相手コネクタ固定部５１、５２を囲むように無端状に形成されたＯリング溝１２が形成されている。そして、基板部１０の一面１０ａは、図４及び図５に示すように、Ｏリング溝１２に挿入されたＯリング（図示せず）を介して気密チャンバ７０に取り付けられる。

【0023】

そして、基板部１０の略中央部１０ｃには、図７、図８（Ａ）、図９（Ｂ）、及び図１０に示すように、複数のコンタクト２０が取り付けられている。複数のコンタクト２０は、基板部１０の長手方向（図８（Ａ）における左右方向）に沿って２列状に配置されている。各コンタクト２０は、金属製のピン状部材であり、図５、図８（Ａ）、及び図９（Ｂ）に示すように、絶縁材２３を介して基板部１０に取り付けられる。ここで、絶縁材２３は、ガラス材であり、基板部１０の開口とコンタクト２０との間にガラス材を充填することにより各コンタクト２０を基板部１０に取り付けたガラスハーメチック構造をなしている。そして、各コンタクト２０は、図５及び図１０に示すように、一端２１側が気密チャンバの内部Ａ側に向けて基板部１０の一面１０ａから突出し、他端２２側が気密チャンバの外部Ｂ側に向けて基板部１０の他面１０ｂから突出する。

【0024】

また、基板部１０の一面１０ａには、図７及び図１０に示すように、複数のコンタクト２０の一端２１側を囲むように内部側相手コネクタ嵌合用シェル３０が取り付けられている。内部側相手コネクタ嵌合用シェル３０は、金属製であり、ロウ付け、溶接等により基板部１０の一面１０ａに取り付けられる。内部側相手コネクタ嵌合用シェル３０は、２列状に配置された複数のコンタクト２０を囲むようにコンタクト配列方向に細長く延びている。そして、内部側相手コネクタ嵌合用シェル３０には、図示しない内部側相手コネクタが嵌合し、内部側相手コネクタに設けられた相手コンタクト（図示せず）とコンタクト２０の一端２１側とが接続される。

【0025】

更に、基板１０の他面１０ｂには、図８及び図１０に示すように、複数のコンタクト２０の他端２２側を囲むように外部側相手コネクタ嵌合用シェル４０が取り付けられている。外部側相手コネクタ嵌合用シェル４０は、金属製であり、ロウ付け、溶接等により基板部１０の他面１０ｂに取り付けられる。外部側相手コネクタ嵌合用シェル４０は、２列状に配置された複数のコンタクト２０を囲むようにコンタクト配列方向に細長く延びている。そして、外部側相手コネクタ嵌合用シェル４０には、図１乃至図５に示すように、外部側相手コネクタ８０が嵌合し、外部側相手コネクタ８０に設けられた相手コンタクト８２（図５参照）とコンタクト２０の他端２２側とが接続される。

【0026】

また、基板部１０の一面１０ａ側には、図７乃至図１０に示すように、内部側相手コネクタ（図示せず）を固定するための雌ねじ部５１ｄ、５２ｄを有する内部側相手コネクタ固定部５１、５２が設けられている。内部側相手コネクタ固定部５１、５２は、細長く延びる内部側相手コネクタ嵌合用シェル３０の長手方向の両脇に一対設けられている。各内部側相手コネクタ固定部５１、５２は、内部側相手コネクタ固定部５１、５２を内部側相手コネクタ嵌合用シェル３０に設けられたフランジ部３０ａ上に接合するための接合部５１ａ、５２ａを備えている。各接合部５１ａ、５２ａには、基板部１０の溝に入り込む突起部５１ｂ、５２ｂが設けられている。各内部側相手コネクタ固定部５１、５２は、金属製であり、各接合部５１ａ、５２ａをフランジ部３０ａ上に溶接するとともに、突起部５１ｂ、５２ｂを基板部１０の溝に入り込ませることによりフランジ部３０ａ上に接合される。

【0027】

そして、各内部側相手コネクタ固定部５１、５２は、各接合部５１ａ、５２ａの内部側相手コネクタ嵌合用シェル３０寄りの部分で基板部１０から離れる方向に突出する雌ねじ形成部５１ｃ、５２ｃを備えている。各雌ねじ形成部５１ｃ、５２ｃには、各雌ねじ形成部５１ｃ、５２ｃの先端（図１０における下端）から各接合部５１ａ、５２ａに至るまで延びる前述した雌ねじ部５１ｄ、５２ｄが形成されている。各雌ねじ部５１ｄ、５２ｄには、図６に示す雌ねじ部６２ｄと同様に、内部側相手コネクタ（図示せず）を電気コネクタ１に固定するための取付けねじ（図示せず）の雄ねじ部が螺合される。そして、各内部側相手コネクタ固定部５１、５２の接合部５１ａ、５２ａには、図１０に示すように、雌ねじ部の５１ｄ、５２ｄの雄ねじ部受容部以外の部分と外側とを連通する連通部５１ｅ、５２ｅが設けられている。各連通部５１ｅ、５２ｅは、雌ねじ部５１ｄ、５２ｄの底部と外側とを連通するように接合部５１ａ、５２ａの内部側相手コネクタ嵌合用シェル３０側の端面から雌ねじ部５１ｄ、５２ｄの底部を通過した位置まで穿設されている。

【0028】

なお、各雌ねじ部５１ｄ、５２ｄの先端には、電気コネクタ１に固定するための取付けねじ（図示せず）の雄ねじ部を雌ねじ部５１ｄ、５２ｄに案内するための傾斜面５１ｆ、５２ｆが形成されている。
一方、基板部１０の他面１０ｂにも、図４及び図７乃至図１０に示すように、外部側相手コネクタ８０を固定するための雌ねじ部６１ｄ、６２ｄを有する外部側相手コネクタ固定部６１、６２が設けられている。外部側相手コネクタ固定部６１、６２は、細長く延びる外部側相手コネクタ嵌合用シェル４０の長手方向の両脇に一対設けられている。各外部側相手コネクタ固定部６１、６２は、外部側相手コネクタ固定部６１、６２を外部側相手コネクタ嵌合用シェル４０に設けられたフランジ部４０ａ上に接合するための接合部６１ａ、６２ａを備えている。各接合部６１ａ、６２ａには、基板部１０の溝に入り込む突起部６１ｂ、６２ｂが設けられている。各外部側相手コネクタ固定部６１、６２は、金属製であり、各接合部６１ａ、６２ａをフランジ部４０ａ上に溶接するとともに、突起部６１ｂ、６２ｂを基板部１０の溝に入り込ませることによりフランジ部４０ａ上に接合される。

【0029】

そして、各外部側相手コネクタ固定部６１、６２は、各接合部６１ａ、６２ａの外部側相手コネクタ嵌合用シェル４０寄りの部分で基板部１０から離れる方向（図１０における上方向）に突出する雌ねじ形成部６１ｃ、６２ｃを備えている。各雌ねじ形成部６１ｃ、６２ｃには、各雌ねじ形成部６１ｃ、６２ｃの先端（図１０おける上端）から各接合部６１ａ、６２ａに至るまで延びる前述した雌ねじ部６１ｄ、６２ｄが形成されている。各雌ねじ部６１ｄ、６２ｄには、図６に示すように（図６には雌ねじ部６２ｄのみ図示）、外部側相手コネクタ８０を電気コネクタ１に固定するための取付けねじ９０の雄ねじ部９１が螺合される。そして、各外部側相手コネクタ固定部６１、６２の接合部６１ａ、６２ａには、図４及び図１０に示すように、雌ねじ部の６１ｄ、６２ｄの雄ねじ部受容部以外の部分と外側とを連通する連通部６１ｅ、６２ｅが設けられている。各連通部６１ｅ、６２ｅは、雌ねじ部６１ｄ、６２ｄの底部と外側とを連通するように接合部６１ａ、６２ａの外部側相手コネクタ嵌合用シェル４０側の端面から雌ねじ部６１ｄ、６２ｄの底部を通過した位置まで穿設されている。
なお、各雌ねじ部６１ｄ、６２ｄの先端には、外部側相手コネクタ８０を電気コネクタ１に固定するための取付けねじ９０の雄ねじ部９１を雌ねじ部６１ｄ、６２ｄに案内するための傾斜面６１ｆ、６２ｆが形成されている。

【0030】

次に、電気コネクタ１に嵌合する内部側相手コネクタ及び外部側相手コネクタ８０について説明する。内部側相手コネクタの構成は、外部側相手コネクタ８０と同一であるため、外部側相手コネクタ８０のみの構成について説明する。
外部側相手コネクタ８０は、図１乃至図５に示すように、複数の相手コンタクト８２を取り付けたハウジング８１を備えている。また、外部側相手コネクタ８０は、図４及び図５に示すように、ハウジンング８１の外周部の上方側を覆う金属製の第１シェル８３と、ハウジング８１の下方側を覆う金属製の第２シェル８６とを備えている。複数のコンタクト８２は、電気コネクタ１に設けられたコンタクト２０に対応した２列状に配置されている。そして、ハウジンング８１の外周部の下方側を覆うシェル８６は、図４及び図５に示すように、電気コネクタ１の外部側相手コネクタ嵌合用シェル４０内に嵌合される外形を有する。

【0031】

そして、第１シェル８３及び第２シェル８６のそれぞれには、図４に示すように、第１シェル８３及び第２シェル８６の長手方向両端から突出する一対の取付け部８４が設けられている。各取付け部８４は、電気コネクタ１の外部側相手コネクタ固定部６１、６２に対して外部側相手コネクタ８０を固定するためのものである。このため、図２（Ｂ）、図４及び図６に示すように、各取付け部８４は、外部側相手コネクタ８０を電気コネクタ１に固定する際に、各外部側相手コネクタ固定部６１、６２の雌ねじ形成６１ｃ、６２ｃ上に位置する。また、各取付け部８４には、取付けねじ９０の雄ねじ部９１が挿通可能な貫通孔８５が形成されている。

【0032】

次に、このように構成された電気コネクタ１を気密チャンバの隔壁７０に取付け、内部側相手コネクタ及び外部側相手コネクタ８０を電気コネクタ１に固定する方法について図１乃至図６を参照して説明する。
先ず、図１乃至図５に示すように、電気コネクタ１の基板部１０を気密チャンバの隔壁７０に形成された開口７１を塞ぐように隔壁７０に取付ける。この際に、基板部１０の一面１０ａが隔壁７０に接するようにし、Ｏリング溝１２に挿入されたＯリング（図示せず）を介して、複数の取付けねじ（図示せず）を基板部１０の取付けねじ用貫通孔１１を挿通させて、隔壁７０にねじ込む。ここで、電気コネクタ１は、Ｏリング（図示せず）を介して隔壁７０に取り付けられるから、電気コネクタ１と隔壁７０との間の気密性は保持できる。また、各コンタクト２０が基板部１０の開口とコンタクト２０との間にガラス材を充填することにより基板部１０に取り付けられるので、基板部１０の開口とコンタクト２０との間の気密性も保持することができる。更に、電気コネクタ１の基板部１０は、複数の取付けねじによって隔壁７０に取り付けられるから、溶接等の接合によって隔壁７０に取り付けられる場合と異なり、着脱可能となっている。

【0033】

そして、電気コネクタ１を気密チャンバの隔壁７０に取り付けた後、内部側相手コネクタ及び外部側相手コネクタ８０を電気コネクタ１に固定する。
外部側相手コネクタ８０を電気コネクタ１に固定する際には、先ず、図１乃至図５に示すように、電気コネクタ１の外部側相手コネクタ嵌合用シェル４０に外部側相手コネクタ８０の第２シェル８６を嵌合させる。これにより、電気コネクタ１のコンタクト２０と外部側相手コネクタ８０の相手コンタクト８２との電気的接続をとる。このとき、外部側相手コネクタ８０の第１シェル８３及び第２シェル８６に設けられた取付け部８４が、図４に示すように、各外部側相手コネクタ固定部６１、６２の雌ねじ形成６１ｃ、６２ｃ上に位置する。そして、図６に示すように、取付けねじ９０の雄ねじ部９１を取付け部８４の貫通孔８５を介して雌ねじ形成６１ｃ、６２ｃに形成されている雌ねじ部６１ｄ、６２ｄに螺合する。これにより、取付けねじ９０の頭部９２が外部側相手コネクタ８０の取付け部８４を押さえつけ、外部側相手コネクタ８０が電気コネクタ１に固定される。

【0034】

ここで、各外部側相手コネクタ固定部６１、６２の接合部６１ａ、６２ａには、図４及び図１０に示すように、雌ねじ部の６１ｄ、６２ｄの雄ねじ部受容部以外の部分と外側とを連通する連通部６１ｅ、６２ｅが設けられている。このため、雌ねじ部の６１ｄ、６２ｄに存在する空気は連通部６１ｅ、６２ｅを通って外側に排出される。また、雌ねじ部６１ｄ、６２ｄは連通部６１ｅ、６２ｅによって外側に連通しているから、洗浄は容易となる。このため、雌ねじ部６１ｄ、６２ｄを形成する際に使用した切削油は連通部６１ｅ、６２ｅを介して容易に外側に排出され、雌ねじ部６１ｄ、６２ｄ内に残留したりしない。また、雌ねじ部６１ｄ、６２ｄを切削する際に生じた金属バリなどの残留物が雌ねじ部６１ｄ、６２ｄ内に残留することはない。また、各連通部６１ｅ、６２ｅは、雌ねじ部６１ｄ、６２ｄの底部と外側とを連通するように形成されているから、効率良く空気を排出したり、残留物を排出することができる。

【0035】

一方、内部側相手コネクタを電気コネクタ１に固定する際には、先ず、電気コネクタ１の内部側相手コネクタ嵌合用シェル３０に内部側相手コネクタの第２シェル（図示せず）を嵌合させる。これにより、電気コネクタ１のコンタクト２０と内部側相手コネクタの相手コンタクト（図示せず）との電気的接続をとる。このとき、内部側相手コネクタの第１シェル（図示せず）及び第２シェルに設けられた取付け部（図示せず）が、各内部側相手コネクタ固定部５１、５２の雌ねじ形成５１ｃ、５２ｃ上に位置する。そして、取付けねじの雄ねじ部（図示せず）を取付け部の貫通孔（図示せず）を介して雌ねじ形成５１ｃ、５２ｃに形成されている雌ねじ部５１ｄ、５２ｄに螺合する。これにより、取付けねじの頭部（図示せず）が内部側相手コネクタの取付け部を押さえつけ、内部側相手コネクタが電気コネクタ１に固定される。

【0036】

ここで、各内部側相手コネクタ固定部５１、５２の接合部５１ａ、５２ａには、図４及び図１０に示すように、雌ねじ部の５１ｄ、５２ｄの雄ねじ部受容部以外の部分と外側とを連通する連通部５１ｅ、５２ｅが設けられている。このため、雌ねじ部の５１ｄ、５２ｄに存在する空気は連通部５１ｅ、５２ｅを通って外側に排出される。また、雌ねじ部５１ｄ、５２ｄは連通部５１ｅ、５２ｅによって外側に連通しているから、洗浄は容易となる。このため、雌ねじ部５１ｄ、５２ｄを形成する際に使用した切削油が雌ねじ部５１ｄ、５２ｄ内に残留したり、あるいは雌ねじ部５１ｄ、５２ｄを切削する際に生じた金属バリなどの残留物が雌ねじ部５１ｄ、５２ｄ内に残留することはない。

【0037】

従って、本実施形態に係る電気コネクタ１によれば、気密チャンバの内部に配置された内部側相手コネクタを固定する内部側相手コネクタ固定部５１、５２に形成された雌ねじ部５１ｄ、５２ｄの内部に空気溜まりが発生したり、切削油等の残留物が残留することを回避することができる。
そして、内部側相手コネクタ及び外部側相手コネクタ８０を電気コネクタ１に固定した後、気密チャンバ内を減圧し、真空状態にする。ここで、雌ねじ部の５１ｄ、５２ｄに存在する空気は連通部５１ｅ、５２ｅを通って既に外側に排出されているから、当該空気は真空チャンバ内には漏れ出さない。このため、雌ねじ部５１ｄ、５２ｄから漏れ出した空気によって真空度の達成が阻害されることはなく、気密チャンバの内部を真空にするための時間を少なくすることができる。

【0038】

また、雌ねじ部５１ｄ、５２ｄを形成する際に使用した切削油はすでに外側に排出され雌ねじ部５１ｄ、５２ｄ内に残留しない。このため、当該切削油が気密チャンバの内部へ漏れ出すことはない。さらに、雌ねじ部５１ｄ、５２ｄを切削する際に生じた金属バリなどの残留物はすでに排出されて雌ねじ部５１ｄ、５２ｄ内に残留していないので、前述の金属バリが気密チャンバの内部へ落下することはない。このため、残留物による装置故障の確率を極力小さくすることができる。

【0039】

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されずに種々の変更、改良を行うことができる。
例えば、連通部は、少なくとも内部側相手コネクタ固定部５１、５２に設ければよく、内部側相手コネクタ固定部５１、５２及び外部側相手コネクタ固定部６１、６２の双方に設ける必要は必ずしもない。
また、連通部５１ｅ，５２ｅ、６１ｅ，６２ｅは、雌ねじ部５１ｄ，５２ｄ、６１ｄ，６２ｄの雄ねじ部受容部以外の部分と外側とを連通するように設ければよく、雌ねじ部５１ｄ，５２ｄ、６１ｄ，６２ｄの底部と外部とを連通するように設けられる必要は必ずしもない。

【0040】

更に、内部側相手コネクタ固定部５１、５２は、細長く延びる内部側相手コネクタ嵌合用シェル３０の長手方向の両脇に一対設けられている必要は必ずしもない。また、外部側相手コネクタ固定部６１、６２は、細長く延びる外部側相手コネクタ嵌合用シェル４０の長手方向の両脇に一対設けられている必要は必ずしもない。
更に、外部側相手コネクタ固定部６１、６２に代えて、外部側相手コネクタのベイルロックに係止するロック部を設けてもよい。
また、基板部１０は、複数の取付けねじによって気密チャンバの隔壁７０に取り付けられる必要はなく、隔壁７０に溶接等によって接合してもよい。

【符号の説明】

【0041】

１ 電気コネクタ
１０ 基板部
１０ａ 一面
１０ｂ 他面
１２ Ｏリング溝
２０ コンタクト
２１ コンタクトの一端
２２ コンタクトの他端
２３ 絶縁材
３０ 内部側相手コネクタ嵌合用シェル
４０ 外部側相手コネクタ嵌合用シェル
５１，５２ 内部側相手コネクタ固定部
５１ｄ，５２ｄ 雌ねじ部
５１ｅ，５２ｅ 連通部
６１，６２ 外部側相手コネクタ固定部
６１ｄ，６２ｄ 雌ねじ部
６１ｅ，６２ｅ 連通部
７０ 気密チャンバの隔壁
Ａ 内部
Ｂ 外部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】