特開2015-129938(P2015-129938A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2015-129938光酸発生剤を含む反射防止コーティング組成物を用いるパターン形成方法
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  • 特開2015129938-光酸発生剤を含む反射防止コーティング組成物を用いるパターン形成方法 図000004
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