特開 2015-131502 停止装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2015-131502(P2015-131502A)

(43)【公開日】2015年7月23日

(54)【発明の名称】停止装置

(51)【国際特許分類】

   B61B 13/06 20060101AFI20150630BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20150630BHJP

【ＦＩ】

   B61B13/06 H

   H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-2307(P2014-2307)

(22)【出願日】2014年1月9日

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107836

【弁理士】

【氏名又は名称】西 和哉

(74)【代理人】

【識別番号】100105946

【弁理士】

【氏名又は名称】磯野 富彦

(72)【発明者】

【氏名】藤原 佑輔

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA32

5F131DA05

5F131DC06

5F131DD02

5F131DD43

5F131DD78

5F131DD94

5F131KA02

5F131KA16

5F131KA40

5F131KA53

5F131KB12

5F131KB49

5F131KB58

5F131KB60

(57)【要約】

【課題】取り付け又は取り外しの作業性を高めることが可能な停止装置を提供する。
【解決手段】天井Ｗに設けられたレール１０に取り付けられ、レール１０を走行する天井走行車２０の光センサ装置３で検出されることにより天井走行車２０を停止させる停止板３０であって、レール１０に係合可能な係合部３２と、係合部３２から下方に延びるとともに、係合部３２をレール１０に対して係合状態及び非係合状態のいずれかに設定する操作棒３３と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

天井に設けられたレールに取り付けられ、前記レールを走行する天井走行車のセンサで検出されることにより前記天井走行車を停止させる停止装置であって、
前記レールに係合可能な係合部と、
前記係合部から下方に延びるとともに、前記係合部を前記レールに対して係合状態及び非係合状態のいずれかに設定する操作棒と、を備える停止装置。

【請求項2】

前記係合部は、前記操作棒に対して移動可能に形成され、
前記操作棒は、前記係合部を移動させて前記係合状態及び前記非係合状態のいずれかに操作する操作部を備える請求項１記載の停止装置。

【請求項3】

前記操作棒の下端部に対して着脱可能に設けられ、装着時に前記操作部に接続される延長棒を備える請求項２に記載の停止装置。

【請求項4】

前記係合部は、前記操作棒に対して回転することにより前記係合状態及び前記非係合状態のいずれかに設定され、
前記操作棒は、中空パイプと、前記中空パイプを介して前記係合部と前記操作部とを連動させる連動部材と、を備える請求項２または請求項３記載の停止装置。

【請求項5】

前記操作棒は、前記レールの下面に当接するサポート部を備え、
前記サポート部と前記係合部とで前記レールの一部を挟み込む請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載の停止装置。

【請求項6】

前記係合部は、前記操作部を操作することにより前記サポート部に対して移動可能に形成され、
前記係合部が前記サポート部に近づく方向に弾性力を付与する弾性部材を備える請求項５記載の停止装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、停止装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造工場等の製造工場では、例えば物品を搬送するため、天井にレールが敷設され、このレールに沿って搬送用の天井走行車が複数走行するシステムが用いられている。このシステムにおいて、天井走行車の車体には光センサ装置が取付けられている。光センサ装置は、前方に検出光を射出する光射出部と、前方から反射された検出光を受光する受光部とを有している。天井走行車は、光センサ装置の光射出部から検出光を射出しながら天井走行車を走行させ、前方に障害物（例えば、前送する天井走行車）があると、その障害物から反射される光を受光部で受光し、障害物の有無及び障害物との距離を判断する。障害物との距離が所定以下になった場合には、天井走行車が減速または停止するようになっており、これにより天井走行車と障害物との衝突を防いでいる。

【0003】

一方、製造工場においてレール等の保守、点検等を行う場合、天井走行車の走行を一時的に停止させる必要がある。このような場合、例えば特許文献１に示すように、光センサ装置から射出される検出光を反射する反射部が設けられた停止板を磁力によってレールに取り付け、この停止板を天井走行車に障害物として認識させることで、天井走行車を停止させる技術が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第４４６５４１８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に示す構成では、磁性板及びこの磁性板を保持する部分の重量が含まれるため、停止板全体の重量が大きくなってしまう。また、停止板を取り付ける際には大掛かりになってしまう上に、取り外しの際には磁力よりも大きな力を加える必要がある。そのため、取り付け又は取り外しの際に、作業性をより改善することが求められていた。

【0006】

以上のような事情に鑑み、本発明は、取り付け又は取り外しの作業性を高めることが可能な停止装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明では、天井に設けられたレールに取り付けられ、レールを走行する天井走行車のセンサで検出されることにより天井走行車を停止させる停止装置であって、レールに係合可能な係合部と、係合部から下方に延びるとともに、係合部をレールに対して係合状態及び非係合状態のいずれかに設定する操作棒と、を備える。

【0008】

また、係合部は、操作棒に対して移動可能に形成され、操作棒は、係合部を移動させて係合状態及び非係合状態のいずれかに操作する操作部を備えてもよい。また、操作棒の下端部に対して着脱可能に設けられ、装着時に操作部に接続される延長棒を備えてもよい。また、係合部は、操作棒に対して回転することにより係合状態及び非係合状態のいずれかに設定され、操作棒は、中空パイプと、中空パイプを介して係合部と操作部とを連動させる連動部材と、を備えてもよい。また、操作棒は、レールの下面に当接するサポート部を備え、サポート部と係合部とでレールの一部を挟み込んでもよい。また、係合部は、操作部を操作することによりサポート部に対して移動可能に形成され、係合部がサポート部に近づく方向に弾性力を付与する弾性部材を備えてもよい。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、レールに係合可能な係合部と、係合部から下方に延びるとともに、係合部をレールに対して係合状態及び非係合状態のいずれかに設定する操作棒とを備えるため、レールから離れた位置で、レールに対して容易に設置したり、取り外したりすることができる。また、磁性板などを別途設ける必要がないため、重量を抑えることができる。これにより、取り付け及び取り外しの作業性を高めることができる。

【0010】

また、係合部が、操作棒に対して移動可能に形成され、操作棒が、係合部を移動させて係合状態及び非係合状態のいずれかに操作する操作部を備えるものでは、係合部の位置を操作することで、より確実に係合部を係合させ、又は係合を解除することができるため、作業性を高めることができる。また、操作棒の下端部に対して着脱可能に設けられ、装着時に操作部に接続される延長棒を備えるものでは、操作棒から下方に離れた位置からでも、延長棒を用いて効率的に操作部を操作することができるため、作業性を高めることができる。また、係合部が、操作棒に対して回転することにより係合状態及び非係合状態のいずれかに設定され、操作棒が、中空パイプと、中空パイプを介して係合部と操作部とを連動させる連動部材と、を備えるものでは、連動部材によって係合部と操作部とを連動させることで係合部を回転させてレールに係合させることができるため、係合部をより確実にレールに係合させることができる。また、操作棒が、レールの下面に当接するサポート部を備え、サポート部と係合部とでレールの一部を挟み込むものでは、レールに対して係合部をより安定した状態で係合させることができる。また、係合部が、操作部を操作することによりサポート部に対して移動可能に形成され、係合部がサポート部に近づく方向に弾性力を付与する弾性部材を備えるものでは、弾性部材の弾性力によって係合部の係合状態がサポートされるため、位置ズレ等を抑制することができ、安定した係合状態を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】第１実施形態に係る処理室の天井の一例を示す図である。

【図2】（ａ）及び（ｂ）は、停止装置の一例を示す図である。

【図3】（ａ）及び（ｂ）は、停止装置の一部分の断面を拡大して示す図である。

【図4】（ａ）〜（ｃ）は、停止装置の操作状態の一例を示す図である。

【図5】第２実施形態に係る処理室の天井の一例を示す図である。

【図6】（ａ）及び（ｂ）は、操作棒と延長棒との接続部分の一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する場合がある。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において天井走行車２０の走行方向をＹ方向と表記し、Ｙ方向に直交する方向をＸ方向と表記する。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとして説明する。なお、＋Ｚ方向は床部から天井部へ向けた方向（上方向）、−Ｚ方向は天井部から床部へ向けた方向（下方向）である。また、Ｚ軸周りの回転方向をθＺ方向と表記する。

【0013】

＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係る処理室１の天井Ｗの一例を示す図である。処理室１は、例えばクリーンルーム内部であり、不図示の半導体処理装置などが設けられている。

【0014】

処理室１の天井Ｗには、レール１０が設けられている。レール１０は、天井走行車２０を案内する軌道である。レール１０は、ＸＺ平面による断面がコ字状に形成されており、下部１０ａ、１０ｂが内側に突出した構成となっている。また、下部１０ａと下部１０ｂとは、Ｘ方向に所定の間隔ｄを空けて配置されている。天井走行車２０は、レール１０に吊り下げられた状態でレール１０に沿って移動する。天井走行車２０には、例えば不図示のリニアモータが内装されており、そのリニアモータによってＹ方向に駆動される。

【0015】

天井走行車２０の走行方向の前面（＋Ｙ側の面）には、光センサ装置３が取付けられている。光センサ装置３は、光射出部３ａと、受光部３ｂとを有している。光射出部３ａは、走行方向の前方（＋Ｙ方向）に向けて検出光Ｌを射出する。受光部３ｂは、走行方向の前方で反射された検出光Ｌを受光する。天井走行車２０は、光センサ装置３の光射出部３ａから検出光Ｌを射出しながら走行する。この天井走行車２０の走行方向の前方に障害物が存する場合、検出光Ｌが障害物によって反射され、その反射光が受光部３ｂに受光される。これにより、天井走行車２０の前方に障害物が存在するか否かが判別できると共に、天井走行車２０と障害物との距離が算出できる。天井走行車２０は、障害物との距離が所定値以下になる場合、減速または停止されるようになっている。

【0016】

天井走行車２０には、全周に亘って接触式のバンパスイッチ４が取付けられている。このバンパスイッチ４は、隙間を空けて二重に巻き付けられたテープ状のスイッチを有している。この構成において、外部から外側のスイッチが内側に押し付けられ、内側のスイッチに接触すると作動する構成である。バンパスイッチ４の外側のスイッチは、天井走行車２０よりも僅かに突出されている。このバンパスイッチ４が作動すると、天井走行車２０は停止する。

【0017】

また、レール１０には、停止装置の一例である停止板３０が取り付けられている。この停止装置３０は、天井走行車２０の光センサ装置３によって障害物として検出されることにより、天井走行車２０を停止させるためのものである。停止装置３０は、例えばレール１０等の保守、点検等を行う際に、天井走行車２０の走行を一時的に停止させる場合に用いられる。なお、停止装置は板状のものに限定されず、例えばブロック状等、他の形状のものであってもよい。

【0018】

次に、停止板３０の構成を説明する。図２（ａ）及び（ｂ）は、停止板３０の一例を示す図である。図２（ａ）は走行方向とは反対方向に見たときの図であり、（ｂ）は走行方向の斜め上方から見たときの図である。

【0019】

図１、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、この停止板３０は、光反射部３１と、係合部３２と、操作棒３３と、延長棒３４とを有している。光反射部３１は、矩形の板状に形成されており、例えば発泡樹脂材等の軽量な材料を用いて形成されている。光反射部３１の寸法は、天井走行車２０の光センサ装置３から射出される検出光Ｌの広がり幅に対応している。光反射部３１は、固定具３１ａによって操作棒３３に固定されている。

【0020】

係合部３２は、レール１０に係合される。係合部３２は、例えば棒状に形成されており、レール１０の下部１０ａ、１０ｂの間に架けられた状態でレール１０に係合される。係合部３２の長手方向の寸法は、レール１０の下部１０ａと下部１０ｂとの間隔ｄよりも大きくなっており、下部１０ａと下部１０ｂとの間に脱落することなく架け渡すことができるようになっている。

【0021】

操作棒３３は、係合部３２から下方（−Ｚ方向）に延びている。操作棒３３は、レール１０に対して係合部３２が係合された状態（係合状態）と、この係合部３２がレール１０に係合されていない状態（非係合状態）と、のいずれかに設定する。操作棒３３は、中空パイプ３３ａと、連動部材３３ｂと、操作部３３ｃと、接続部３３ｄとを有している。

【0022】

中空パイプ３３ａは、樹脂材料などの軽量な材料を用いて例えば円筒状に形成されている。中空パイプ３３ａは、上下方向に沿って配置されている。中空パイプ３３ａの下側（−Ｚ側）端部には、フランジ部３３ｉが形成されている。また、中空パイプ３３ａの上側（＋Ｚ側）端部には、カバー部３３ｈが配置されている。カバー部３３ｈは、固定具を介してサポート部３５に固定されている。

【0023】

サポート部３５は、レール１０の下面（−Ｚ側の面）１０ｃに当接される。サポート部３５は、レール１０の幅方向（敷設方向に直交する方向：Ｘ方向）から両端がはみ出すと共に、その両端が上側に湾曲した形状となっている。サポート部３５は、係合部３２との間でレール１０の下部１０ａ及び１０ｂを上下から挟みこんでいる。また、この状態において、サポート部３５の長手方向の両端は、レール１０の側部に係止される。

【0024】

サポート部３５は、突出部３５ａを有している。突出部３５ａは、上側に突出しており、サポート部３５の長手方向（Ｘ方向）に間隔を空けて２つ設けられている。各突出部３５ａは、係合部３２の下部に設けられる凹部３２ａに挿入される。突出部３５ａが凹部３２ａに挿入されることにより、サポート部３５と係合部３２との間が係止される。また、係合部３２の−Ｚ側には、突出部３２ｂが設けられている。この突出部３２ｂは、サポート部３５の突出部３５ａと、レール１０の下部１０ａ、１０ｂとの間に挿入される。

【0025】

連動部材３３ｂは、円筒状又は円柱状に形成されており、中空パイプ３３ａの内部に挿入されている。図２（ａ）に示すように、連動部材３３ｂの一部は、中空パイプ３３ａの下側端部から下方に突出している。連動部材３３ｂの上側は、中空パイプ３３ａの内部で操作部３３ｃに接続される。

【0026】

図３（ａ）は、図２（ａ）に示す停止板３０の一部分Ａの断面を拡大して示す図である。図３（ａ）示すように、連動部材３３ｂの上側端部は、中空パイプ３３ａの内部において連結部３３ｆを介して操作部３３ｃに連結されている。

【0027】

操作部３３ｃは、軸部材３３ｅを有している。軸部材３３ｅは、円柱状又は円筒状に形成され、上下方向に沿って配置されている。軸部材３３ｅの下側端部は、連結部３３ｆに連結されている。このため、操作部３３ｃは、連動部材３３ｂと一体的に設けられている。軸部材３３ｅの上側は、カバー部３３ｈと、サポート部３５と係合部３２とを貫通して設けられている。軸部材３３ｅの上側端部は、固定部材３３ｇを介して係合部３２に固定されている。このため、操作部３３ｃは、係合部３２と一体的に設けられている。また、軸部材３３ｅは、カバー部３３ｈ及びサポート部３５に対しては連結されていない。

【0028】

この操作部３３ｃは、中空パイプ３３ａ、カバー部３３ｈ及びサポート部３５とは独立して上下方向に移動可能である。また、操作部３３ｃは、中空パイプ３３ａ、カバー部３３ｈ及びサポート部３５とは独立して、操作棒３３の中心軸ＡＸの軸回り方向（θＺ方向）に回転可能である。

【0029】

係合部３２の凹部３２ａにサポート部３５の突出部３５ａが挿入された状態では、係合部３２とサポート部３５とが係止状態にあるため、係合部３２がθＺ方向に回転するのが規制される。一方、中空パイプ３３ａ、カバー部３３ｈ及びサポート部３５の各部に対して操作部３３ｃを上側に移動させた場合、操作部３３ｃと一体的に係合部３２が上側に移動し、凹部３２ａに挿入されていた突出部３５ａが抜けた状態となる。この場合、係合部３２とサポート部３５との係止状態が解消されるため、係合部３２がサポート部３５とは独立して、θＺ方向に回転可能となる。

【0030】

連結部３３ｆとカバー部３３ｈとの間には、弾性部材３６ａ、３６ｂが配置されている。弾性部材３６ａ、３６ｂは、連結部３３ｆとカバー部３３ｈとの間を広げる方向に弾性力を付与する。つまり、この弾性部材３６ａ、３６ｂは、操作部３３ｃを下方に押し下げようとするため、係合部３２がサポート部３５に近づく方向に弾性力を付与する。この弾性力により、係合部３２とサポート部３５との間でレール１０の下部１０ａ、１０ｂが挟み込まれることになるため、停止板３０の位置ズレ等が抑制される。

【0031】

図３（ｂ）は、図２（ａ）に示す停止板３０の一部分Ｂの断面を拡大して示す図である。図３（ｂ）に示すように、連動部材３３ｂは、中空パイプ３３ａの下側端部から下方に突出する部分に、フランジ部３３ｊを有している。フランジ部３３ｊは、フランジ部３３ｉとの間に所定の間隔を空けて設けられる。連動部材３３ｂは、フランジ部３３ｊがフランジ部３３ｉに当接するまで上方に移動可能である。したがって、フランジ部３３ｊとフランジ部３３ｉとの距離は、連動部材３３ｂを上方に移動可能な距離の上限となる。

【0032】

連動部材３３ｂは、連結部３３ｆを介して操作部３３ｃの軸部材３３ｅに連結されている。このため、連動部材３３ｂを上側に移動させると、軸部材３３ｅ及び係合部３２が一体的に上側に移動する。したがって、フランジ部３３ｊとフランジ部３３ｉとの距離は、係合部３２を上側に移動させてサポート部３５の突出部３５ａから係合部３２の凹部３２ａを抜くことができる距離に設定されている。

【0033】

接続部３３ｄは、固定具３３ｋによって、連動部材３３ｂのフランジ部３３ｊの下方に固定されている。接続部３３ｄは、係合部３２をレール１０に係合させた状態において、処理室１の床面から作業者が上方に手を伸ばして届く位置に設けられる。接続部３３ｄの下側端部には、延長棒３４を挿入するための挿入部３３ｍが形成されている。

【0034】

延長棒３４は、接続部３３ｄに対して着脱可能に設けられている。延長棒３４は、上端を挿入部３３ｍに挿入した状態で、ローレットねじ３４ａとナット３４ｂとで接続部３３ｄに固定される。ローレットねじ３４ａ及びナット３４ｂは、作業者が手作業によって取り付け及び取り外しが可能である。

【0035】

延長棒３４を接続部３３ｄに装着することにより、延長棒３４は接続部３３ｄと一体になる。接続部３３ｄに装着された状態の延長棒３４は、接続部３３ｄ及び連動部材３３ｂを介して操作部３３ｃに接続される。この場合、延長棒３４を上下方向に移動させたり、θＺ方向に回転させたりすることによって操作部３３ｃを上下方向に移動させ、θＺ方向に回転させることが可能である。このように延長棒３４を用いて操作部３３ｃを操作することにより、係合部３２の係合状態及び非係合状態を設定可能となる。

【0036】

次に、上記のように構成された停止板３０をレール１０に取り付ける場合の操作の一例を説明する。以下の説明では、図４（ａ）〜（ｃ）を用いている。図４（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ停止板３０の操作状態の一例を示す図である。
まず、作業者は、接続部３３ｄの挿入部３３ｍに延長棒３４を挿入し、ローレットねじ３４ａ及びナット３４ｂによって固定することで、操作棒３３に延長棒３４を装着した状態とする。この状態で、作業者は、延長棒３４を把持して停止板３０を持ち上げ、係合部３２をレール１０に近づける。

【0037】

その後、作業者は、中空パイプ３３ａに対して延長棒３４を押し上げ、係合部３２を上側に移動させる。これにより、凹部３２ａと突出部３５ａとの係止状態が解消される。そして、作業者は、中空パイプ３３ａに対して延長棒３４をθＺ方向に９０°程度回転させて、係合部３２の長手方向とサポート部３５の長手方向とが交差（例えば直交）した状態とする。なお、上記の係止状態の解消動作及び係合部３２の９０°回転動作は、停止板３０を持ち上げる前などに予め行っておいてもよい。

【0038】

その後、作業者は、この状態を維持したまま、図４（ａ）に示すように、延長棒３４を持ち上げて、レール１０の下部１０ａ、１０ｂの間から係合部３２をレール１０の内部に挿入する。この場合、係合部３２の長手方向をレール１０の下部１０ａ、１０ｂの延びる方向に沿った状態で挿入する。これにより、係合部３２を下部１０ａ、１０ｂに干渉させることなく、レール１０の内部に挿入できる。作業者は、係合部３２をレール１０の内部に挿入するのに伴い、サポート部３５をレール１０の下部１０ａ、１０ｂに当接させる。そして、この状態から、延長棒３４をさらに押し上げる。すると、サポート部３５がレール１０の下部１０ａ、１０ｂに当接されているため、サポート部３５及び中空パイプ３３ａの上側への移動が規制され、操作部３３ｃ及び係合部３２のみが上側に移動する。

【0039】

その後、作業者は、図４（ｂ）に示すように、延長棒３４をθＺ方向に９０°程度回転させる。このとき、サポート部３５の両端部がレール１０の側部に係止されているため、サポート部３５のθＺ方向への回転が規制される。このため、係合部３２のみがθＺ方向に回転する。作業者は、係合部３２をθＺ方向に回転させることで、係合部３２の長手方向とサポート部３５の長手方向とがほぼ平行となるようにする。この操作により、上下方向視において係合部３２の長手方向の両端部がレール１０の下部１０ａ、１０ｂに重なった状態となる。

【0040】

この状態から、作業者は、図４（ｃ）に示すように、中空パイプ３３ａに対して延長棒３４を引き下げ、係合部３２を下側に移動させる。この操作により、係合部３２の長手方向の両端部がレール１０の下部１０ａ、１０ｂの間に架けられた状態となる。よって、係合部３２がレール１０に対して係合状態となる。また、突出部３５ａが凹部３２ａに挿入され、係合部３２とサポート部３５との間が係止される。したがって、係合部３２がθＺ方向に回転するのが規制される。さらに、係合部３２の突出部３２ｂが、それぞれサポート部３５の突出部３５ａとレール１０の下部１０ａ、１０ｂとの間に挿入される。このとき、弾性部材３６ａ、３６ｂの弾性力が係合部３２に対して下方に付与されるため、係合部３２とサポート部３５との間でレール１０の下部１０ａ、１０ｂを挟み込む力が強くなる。このため、係合部３２の係合位置の位置ズレ等が抑制される。そして、作業者は、ローレットねじ３４ａ及びナット３４ｂを外し、延長棒３４を操作棒３３から取り外す。これにより、停止板３０がレール１０に取り付けられる。

【0041】

次に、レール１０に取り付けられた停止板３０を取り外す場合の操作の一例を説明する。
作業者は、停止板３０のうち下方に延びた状態の操作棒３３の下側端部に、延長棒３４を装着する。この場合、上記同様にローレットねじ３４ａ及びナット３４ｂで延長棒３４を接続部３３ｄに固定させる。

【0042】

延長棒３４を固定させた後、作業者は、延長棒３４を押し上げる。この場合、サポート部３５がレール１０の下部１０ａ、１０ｂに当接されるため、サポート部３５及び中空パイプ３３ａの上側への移動が規制され、操作部３３ｃ及び係合部３２のみが上側に移動する。これにより、係合部３２がサポート部３５から外れ、係合部３２の長手方向の両端部がレール１０の下部１０ａ、１０ｂから離れた状態となる。よって、係合部３２がレールに対して非係合状態となる。

【0043】

また、係合部３２がサポート部３５から外れることにより、係合部３２とサポート部３５との係止状態が解消されている。そこで、作業者は、中空パイプ３３ａに対して延長棒３４をθＺ方向に９０°程度回転させて、係合部３２の長手方向とサポート部３５の長手方向とが交差（例えば直交）した状態とする。

【0044】

この状態を維持したまま、作業者は、操作棒３３及び延長棒３４を引き下げて、レール１０の下部１０ａ、１０ｂの間から係合部３２をレール１０の外部に引き出す。これにより、停止板３０がレール１０から取り外される。その後、作業者は、係合部３２の長手方向とサポート部３５の長手方向の向きを揃えたり、突出部３５ａを凹部３２ａに挿入させたりするなど、停止板３０の保守作業を行ってもよい。

【0045】

以上のように、本実施形態によれば、レール１０に係合可能な係合部３２と、係合部３２から下方に延びるとともに、係合部３２をレール１０に対して係合状態及び非係合状態のいずれかに設定する操作棒３３とを備えるため、レール１０から離れた位置で、レール１０に対して容易に設置したり、取り外したりすることができる。また、磁性板などを別途設ける必要がないため、重量を抑えることができる。これにより、取り付け及び取り外しの作業性を高めることができる。

【0046】

＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。本実施形態では、停止板の一部の構成が第１実施形態とは異なるため、この相違点を中心として説明する。他の構成については、第１実施形態と同一であるため、説明を簡略化または省略する。

【0047】

図５は、第２実施形態に係る処理室１の天井Ｗの一例を示す図である。本実施形態に係る停止板１３０は、レール１０に吊り下げられた状態で取り付けられる。図５に示すように、停止板１３０は、光反射部３１と、係合部３２と、操作棒１３３と、延長棒１３４とを有している。この停止板１３０は、操作棒１３３の長手方向の寸法が第１実施形態に比べて短くなっており、その分、延長棒１３４の長手方向の寸法が第１実施形態に比べて長くなっている。この停止板１３０をレール１０に取り付けた場合、操作棒１３３の下側端部は、第１実施形態に比べて、床面から離れた位置（高い位置）に配置されることになる。

【0048】

図６（ａ）は、本実施形態に係る停止板１３０のうち操作棒１３３と延長棒１３４との接続部分の一例を示す図である。
図５及び図６（ａ）に示すように、操作棒１３３は、中空パイプ１３３ａと、連動部材１３３ｂと、接続部１３３ｄとを有している。また、操作棒１３３は、連動部材１３３ｂに連結された操作部（不図示）を有している。なお、中空パイプ１３３ａ、連動部材１３３ｂ及び不図示の操作部の構成は、第１実施形態と同一であるため、説明を省略する。

【0049】

接続部１３３ｄは、固定部材１３３ｍによって連動部材１３３ｂの下側端部に固定されている。接続部１３３ｄの下側端部には、ねじ部１３３ｅが形成されている。これに対して、延長棒１３４の上側端部には、ねじ穴１３４ｅが形成されている。ねじ部１３３ｅ及びねじ穴１３４ｅは、螺合するように形成されている。したがって、作業者は、ねじ穴１３４ｅにねじ部１３３ｅを螺合させることにより、延長棒１３４を操作棒１３３に接続することが可能である。

【0050】

第２実施形態の停止板１３０をレール１０に取り付ける場合、作業者は、第１実施形態と同様に、延長棒１３４を把持して停止板１３０を持ち上げ、係合部３２をレール１０に近づける。その後、作業者は、係合部３２とサポート部３５との係止状態を解消させ、係合部３２の長手方向とサポート部３５の長手方向とが交差（例えば直交）した状態とする。

【0051】

この状態を形成した後、作業者は、延長棒１３４を持ち上げて、レール１０の下部１０ａ、１０ｂの間から係合部３２をレール１０の内部に挿入する。そして、係合部３２の長手方向をレール１０の下部１０ａ、１０ｂの延びる方向に沿った状態で挿入し、サポート部３５がレール１０の下部１０ａ、１０ｂに当接するまで延長棒１３４を持ち上げる。また、作業者は、この状態から、延長棒１３４を押し上げて係合部３２を上側に移動させ、
延長棒１３４をθＺ方向に９０°程度回転させた後に延長棒１３４を引き下げることで、
係合部３２を係合状態とする。その後、作業者は、延長棒１３４をθＺ方向に回転させてねじ穴１３４ｅとねじ部１３ｅとの螺合を解消し、延長棒１３４を操作棒１３３から取り外す。これにより、停止板１３０がレール１０に取り付けられる。

【0052】

また、レール１０に取り付けられた停止板１３０を取り外す場合、まず作業者は、停止板１３０のうち下方に延びた状態の操作棒１３３の下側端部に、延長棒１３４を装着する。この場合、延長棒１３４のねじ穴１３４ｅに操作棒１３３のねじ部１３３ｅを挿入し、延長棒１３４をθＺ方向に回転させて螺合させる。

【0053】

延長棒１３４を装着した後、作業者は、第１実施形態と同様に延長棒１３４を押し上げて、係合部３２をサポート部３５から外し、係合部３２をレール１０に対して非係合状態とする。その後、作業者は、延長棒１３４をθＺ方向に９０°程度回転させて、係合部３２の長手方向とサポート部３５の長手方向とが交差（例えば直交）した状態とする。

【0054】

この状態を維持したまま、作業者は、延長棒１３４を引き下げて、レール１０の下部１０ａ、１０ｂの間から係合部３２をレール１０の外部に引き出す。これにより、停止板１３０がレール１０から取り外される。その後、作業者は、第１実施形態と同様に、停止板３０の保守作業を行ってもよい。

【0055】

以上のように、本実施形態によれば、接続部１３３ｄの下側端部にねじ部１３３ｅが形成され、延長棒１３４の上側端部にねじ穴１３４ｅが形成され、ねじ部１３３ｅ及びねじ穴１３４ｅが螺合するように形成されているため、離れた位置からであっても、延長棒１３４を操作棒１３３に容易に接続することが可能となる。よって、レール１０から離れた位置で、レール１０に対して容易に停止板１３０を設置したり、取り外したりすることができる。これにより、停止板１３０の取り付け及び取り外しの作業性が向上する。また、磁性板などを別途設ける必要がないため、重量を抑えることができる。これにより、取り付け及び取り外しの作業性を高めることができる。

【0056】

以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
例えば、第２実施形態において、一部材で形成された連動部材１３３ｂが接続部１３３ｄに固定された構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではない。

【0057】

図６（ｂ）は、変形例に係る操作棒１３３Ａの構成を示す図である。図６（ｂ）では、接続部１３３ｄの内部の構成を断面で示している。図６（ｂ）に示すように、接続部１３ｄの内部において、連動部材１３３ｂは第１部分１３３ｆと第２部分１３３ｇとに分割されている。第１部分１３３ｆは、固定部材１３３ｍを介して接続部１３３ｄに固定されている。第１部分１３３ｆの下側端部には、ねじ穴１３３ｈが形成されている。

【0058】

第２部分１３３ｇは、第１部分１３３ｆの下方に配置されている。第２部分１３３ｇの上側端部には、ねじ部１３３ｊが形成されている。ねじ部１３３ｊは、ねじ穴１３３ｈと螺合するように形成されている。第２部分１３３ｇの下側端部には、ねじ部１３３ｋが形成されている。ねじ部１３３ｋは、延長棒１３４Ａのねじ穴１３４ｋに螺合するように形成されている。

【0059】

この構成において、停止板１３０Ａをレール１０に取り付けていない状態では、第１部分１３３ｆと第２部分１３３ｇとの間が螺合していない状態にしておく。この状態から、停止板１３０Ａを取り付ける作業を行う場合、作業者は、延長棒１３４Ａのねじ穴１３４ｋにねじ部１３３ｋを挿入してθＺ方向に延長棒１３４Ａを回転させる。これにより、ねじ穴１３４ｋとねじ部１３３ｋとが螺合され、延長棒１３４Ａが第２部分１３３ｇに接続される。次に、作業者が延長棒１３４ＡをさらにθＺ方向に回転させることにより、ねじ部１３３ｊとねじ穴１３３ｈとが螺合される。これにより、第２部分１３３ｇが第１部分１３３ｆに接続される。その後、上記同様に停止板１３０Ａの取り付けを行う。停止板１３０Ａを取り付けた後、操作棒１３３Ａから延長棒１３４Ａを取り外す際に、第１部分１３３ｆと第２部分１３３ｇとの螺合を解消してもよい。このように、第１部分１３３ｆと第２部分１３３ｇとを分離させておき、必要に応じて連結させる構成とすることにより、安全性を確保することができる。

【0060】

また、上記第２実施形態又は上記変形例では、操作棒１３３と延長棒１３４とが螺合する構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではない。例えば、延長棒１３４によって連動部材１３３ｂ及び係合部３２をＺ方向（上下方向）に移動可能な構成を有し、かつ、連動部材１３３ｂ及び係合部３２をθＺ方向に回転させるための係止部などの構成を有していればよい。

【0061】

また、上記各実施形態及び変形例では、係合部３２がレール１０の下部１０ａ、１０ｂに架け渡されることでレール１０に係合される構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではない。係合部がレール１０の一部に係合される構成であればよく、例えばフックなどをレール１０に引っ掛ける構成であってもよい。また、レール１０に係合部を係合させるための構成を別途設けるようにしてもよい。

【符号の説明】

【0062】

Ｗ…天井 １…処理室 ３…光センサ装置 １０…レール １０ａ、１０ｂ…下部 ２０…天井走行車 ３０、１３０、１３０Ａ…停止板 ３１…光反射部 ３２…係合部 ３３、１３３、１３３Ａ…操作棒 ３３ａ、１３３ａ…中空パイプ ３３ｂ、１３３ｂ…連動部材 ３３ｃ…操作部 ３３ｄ、１３３ｄ…接続部 ３４、１３４、１３４Ａ…延長棒 ３５…サポート部 ３６ａ、３６ｂ…弾性部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】