特開 2015-142104 パージ装置、パージストッカ、及び容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2015-142104(P2015-142104A)

(43)【公開日】2015年8月3日

(54)【発明の名称】パージ装置、パージストッカ、及び容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20150707BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20150707BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

   B65G1/00 521D

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2014-15724(P2014-15724)

(22)【出願日】2014年1月30日

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107836

【弁理士】

【氏名又は名称】西 和哉

(74)【代理人】

【識別番号】100105946

【弁理士】

【氏名又は名称】磯野 富彦

(72)【発明者】

【氏名】村田 正直

【テーマコード（参考）】

3F022

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F022AA08

3F022BB09

3F022CC02

3F022EE05

3F022FF01

3F022JJ09

3F022KK01

5F131AA02

5F131AA03

5F131CA38

5F131DA05

5F131DA37

5F131DA42

5F131DB52

5F131DB63

5F131DB73

5F131DB76

5F131GA13

5F131GA22

5F131GA24

5F131GA63

5F131GA76

5F131GA92

5F131GB25

5F131GB27

5F131GB29

5F131JA04

5F131JA24

5F131KA05

5F131KA11

5F131KA60

5F131KB32

(57)【要約】

【課題】高さ方向のスペースを追加することなく容器内のガスを効率的に排出できるパージ装置、パージストッカ、及び容器を提供すること。
【解決手段】サイドフランジ５０ｆを有する収納容器５０内に所定ガスを導入するとともに収納容器５０から排出されたガスを導く排気経路３０を備えるパージ装置１であって、排気経路３０は、収納容器５０を載置する載置台６０と、載置台６０に載置された収納容器５０のサイドフランジ５０ｆとの間のレベルＬＶ（高さ位置）に設けられる空間Ｋに配置される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

サイドフランジを有する容器内に所定ガスを導入するとともに前記容器から排出されたガスを導く排気経路を備えるパージ装置であって、
前記排気経路は、前記容器を載置する載置部と、前記載置部に載置された前記容器のサイドフランジとの間のレベルに配置されるパージ装置。

【請求項2】

前記排気経路は、前記容器が前記載置部に載置されることにより、前記容器の側面または背面の少なくとも一方に形成された排気口に接続されるダクトを備える請求項１記載のパージ装置。

【請求項3】

前記排気経路は、前記容器が前記載置部に載置されることにより、前記容器の側面または背面の少なくとも一方に形成された排気ダクトに接続される排気管を備える請求項１記載のパージ装置。

【請求項4】

前記排気管は、前記載置部に載置された前記容器の背面側に配置される請求項３記載のパージ装置。

【請求項5】

容器を載置可能な複数の棚を持つパージストッカであって、
前記棚の少なくとも一部に、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のパージ装置を備えるパージストッカ。

【請求項6】

所定ガスを容器本体の内部に供給する供給口を備える容器であって、
前記容器本体の側面にサイドフランジを有し、
前記容器本体のサイドフランジ下方の側面または背面の少なくとも一方に形成された排気口と、
前記排気口に接続された排気ダクトと、を備える容器。

【請求項7】

前記排気ダクトに、外気の侵入を規制する一方向弁を備える請求項６記載の容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、パージ装置、パージストッカ、及び容器に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体装置や液晶装置などにおいては、製造工程において超微細化パターンを形成する。このとき、加工素材であるシリコンウェハやガラス基板、さらには露光時の原板となるレチクルなど（以下、単にウェハ等という。）は、不活性ガスや乾燥空気などの所定雰囲気の環境に保管される。

【0003】

ウェハ等の保管や搬送に際しては、内部雰囲気を維持可能な、例えばフープ（ＦＯＵＰ）やレチクルポッドと称される収納容器を用いてストッカ等への保管や、他の製造装置への搬送等を行う場合がある。このような収納容器には、少なくともガスの供給口及び排気口が設けられる。また、ストッカ等のパージ装置には、収納容器を載置する載置台が設けられる。載置台には、収納容器を載置した状態で、収納容器のガスの供給口及び排気口とそれぞれ接続することのできるノズルが設けられる。この構成により、ウェハ等の保管に際して、収納容器内にガスを供給すると共に収納容器内のガスを排出する（例えば、特許文献１参照）。なお、この構成において、収納容器から排出されたガスは、ストッカ内に放出されるようになっている。

【0004】

近年、ウェハ等が大型化し、収納容器が大型化するのに伴い、ストッカ１台で使用されるガスの量が増加している。このような状況において、収納容器からストッカ内にガスを放出する構成では、放出されたガスが大量にストッカ内に溜まってしまうという問題があった。そのため、近年では、収納容器の排気口から排出されるガスを配管で集め、ストッカの外に排出するようになっている。この配管は、載置台の底部を貫通し、載置台の下側からストッカの外部に引き回される。

【0005】

一方で、収納容器には、ウェハ等を出し入れするための蓋が設けられており、この蓋は開閉装置などによって自動的に開閉が行われるようになっている。このため、蓋による収納容器の密閉力にはある程度の限界がある。この場合、収納容器にガスの流量を大きくして供給すると、収納容器内の内圧が上がり、ガスの一部は排気口から排出されるものの、大部分が収納容器の蓋が開いて漏れ出してしまう。このため、排気口からのガスの排出量を多くするためには、収納容器の内圧を上げないようにする必要があった。これに対して、例えば排気口に接続される配管を太くすることで、収納容器の内圧を上げずに排気口からのガスの排出量を多くする構成が考えられていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１３−１３３１９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、排気口に接続される配管を太くすると、その分、載置台の下側のスペースが必要になるため、収納容器１台あたりに必要な高さ方向のスペースが大きくなってしまう。このため、ストッカの収容能力が小さくなってしまうという問題があった。

【0008】

以上のような事情に鑑み、本発明は、高さ方向のスペースを追加することなく容器内のガスを効率的に排出できるパージ装置、また、このパージ装置を備えたパージストッカ、及びこのパージ装置によってパージされる容器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明では、サイドフランジを有する容器内に所定ガスを導入するとともに容器から排出されたガスを導く排気経路を備えるパージ装置であって、排気経路は、容器を載置する載置部と、載置部に載置された容器のサイドフランジとの間のレベルに配置される。

【0010】

また、排気経路は、容器が載置部に載置されることにより、容器の側面または背面の少なくとも一方に形成された排気口に接続されるダクトを備えてもよい。また、排気経路は、容器が載置部に載置されることにより、容器の側面または背面の少なくとも一方に形成された排気ダクトに接続される排気管を備えてもよい。また、排気管は、載置部に載置された容器の背面側に配置されてもよい。

【0011】

本発明では、容器を載置可能な複数の棚を持つパージストッカであって、棚の少なくとも一部に、上記のパージ装置を備える。

【0012】

本発明では、所定ガスを容器本体の内部に供給する供給口を備える容器であって、容器本体の側面にサイドフランジを有し、容器本体のサイドフランジ下方の側面または背面の少なくとも一方に形成された排気口と、排気口に接続された排気ダクトと、を備える。また、排気ダクトに、外気の侵入を規制する一方向弁を備えてもよい。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、サイドフランジを有する容器内に所定ガスを導入するとともに容器から排出されたガスを導く排気経路が、容器を載置する載置部と、載置部に載置された容器のサイドフランジとの間のレベルに配置されるため、限られたスペースを有効に活用して排気経路を設置することができる。これにより、高さ方向のスペースを追加することなく容器内のガスを効率的に排出できる。

【0014】

また、排気経路が、容器が載置部に載置されることにより、容器の側面または背面の少なくとも一方に形成された排気口に接続されるダクトを備えるものでは、載置部上のデッドスペースとなる部分にダクトを配置させることができるため、スペースを大きくすることなく、容器内のガスを効率的に排出できる。また、排気経路が、容器が載置部に載置されることにより、容器の側面または背面の少なくとも一方に形成された排気ダクトに接続される排気管を備えるものでは、載置部上のデッドスペースとなる部分に容器の排気ダクトを配置させ、これに対して排気管を接続させるため、スペースを大きくすることなく、容器内のガスを効率的に排出できる。また、排気管が、載置部に載置された容器の背面側に配置されるものでは、載置部上のデッドスペースとなる部分に排気管を配置させることができる。

【0015】

本発明によれば、容器を載置可能な複数の棚を持つパージストッカであって、棚の少なくとも一部に、上記のパージ装置を備えるため、高さ方向のスペースを追加することなく、容器内のガスを効率的に排出できる。これにより、収容能力を維持しつつ、容器内のガスを効率的にパージストッカ外部に排出できる。

【0016】

本発明によれば、所定ガスを容器本体の内部に供給する供給口を備える容器であって、容器本体の側面にサイドフランジを有し、容器本体のサイドフランジ下方の側面または背面の少なくとも一方に形成された排気口と、排気口に接続された排気ダクトと、を備えるため、スペースを大きくすることなく、内部のガスを効率的に排出することができる。また、排気ダクトの排出部に、外気の侵入を規制する一方向弁を備えるものでは、内部のガスを効率的に排出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】第１実施形態に係る収納容器及びパージ装置を示した要部概略図である。

【図2】（ａ）は、収納容器の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は、収納容器を載置する載置台の一例を示す斜視図である。

【図3】（ａ）は、第２実施形態に係る収納容器の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は、第２実施形態に係るパージ装置の一例を示す斜視図である。

【図4】（ａ）は、第３実施形態に係る収納容器の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は、第３実施形態に係るパージ装置の一例を示す斜視図である。

【図5】（ａ）（ｂ）は、第３実施形態の変形例に係るパージ装置の一例を示す図である。

【図6】実施形態に係るパージストッカの一例を示す斜視図である。

【図7】実施形態に係るパージストッカの一例を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。

【0019】

＜第1実施形態＞
第１実施形態に係るパージ装置１について、図１及び図２を参照して説明する。
図１は、収納容器５０及びパージ装置１を示した要部概略図である。図１では、収納容器５０を側部から見たときの構成を示している。図２（ａ）は、収納容器５０の一例を示す斜視図である。図２（ｂ）は、収納容器５０を載置する載置台６０の一例を示す斜視図である。

【0020】

図１に示すように、パージ装置１は、ノズル１０と、ガス供給系２０と、排気経路３０と、制御部４０と、を備えている。なお、図１において、排気経路３０の構成は、水平面に垂直な平面による断面構成として示している。このパージ装置１は、収納容器５０内に所定のガスＧを供給すると共に、収納容器５０内のガスＧを排出するための装置である。ガスＧとしては、窒素ガスなどのウェハ等にとって不活性なガスや、清浄乾燥空気（クリーンドライエア）などが用いられる。

【0021】

本実施形態において、収納容器５０は、例えば、半導体装置を製造するためのシリコンウェハや、液晶装置を製造するためのガラス基板、露光処理を行うためのレチクルなど（以下、ウェハ等１５という。）を収容する。収納容器５０は、ウェハ等１５の保管環境を窒素ガスや乾燥空気等の所定の環境下に保つように、密閉可能かつ搬送可能な容器である。収納容器５０は、例えば水平面に平行な載置台６０の所定位置に載置された状態で保管される。

【0022】

また、収納容器５０には、内部にウェハ等１５を収容するための、棚状の複数の保持部５５が形成されている。収納容器５０の正面部５０ａには、ウェハ等１５を出し入れするための、開閉可能な蓋部５０ｌが設けられている。収納容器５０の天井部５０ｔには、搬送装置によって把持可能な把持部５０ｈが形成されている。収納容器５０の底部５０ｂには、ガスを収納容器５０内に供給可能にする供給口５１が設けられている。供給口には、不図示のパーティクルフィルタ及びチェック弁が設けられている。なお、チェック弁は設けなくてもよい。

【0023】

また、図２（ａ）に示すように、この収納容器５０の側部５０ｃ、５０ｄには、サイドフランジ５０ｆが設けられている。サイドフランジ５０ｆは、収納容器５０を搬送する際などに把持する部分である。サイドフランジ５０ｆは、収納容器５０の正面部５０ａから背面部５０ｅにかけて設けられており、天井部５０ｔ又は底部５０ｂに平行に配置されている。サイドフランジ５０ｆは、収納容器５０の高さ方向の中央部又はその周辺に配置されている。

【0024】

また、収納容器５０の側部５０ｃ、５０ｄには、内部のガスを排出する排気口５２が１つずつ設けられている。排気口５２は、例えばサイドフランジ５０ｆよりも高さが低い位置に設けられている。排気口５２は、収納容器５０の内部のガスが流出しやすくなるように、例えば供給口５１よりも面積が大きくなるように形成されている。排気口５２は、供給口５１とは逆向きのチェック弁（不図示）を有しており、収納容器５０内のガスを外部に排出できるようになっている。また、排気口５２には、パーティクルフィルタが設けられている。なお、パーティクルフィルタは設けなくてもよい。

【0025】

ノズル１０は、図１及び図２（ｂ）に示すように、載置台６０から上方に突出した状態で配置される。ノズル１０は、収納容器５０が載置台６０の所定位置に載置された状態で、供給口５１に接続されるように設けられている。ノズル１０は、供給口５１を介して収納容器５０の内部に向けてガスを噴出する。ノズル１０は、図２（ｂ）に示すように、載置台６０上に２個形成されている。なお、ノズル１０の個数は任意であり、例えば、ノズル１０の個数が３つ以上であってもよい。

【0026】

ガス供給系２０は、図１に示すように、ガス供給源２１と、配管２２と、流量制御部２３とを有している。ガス供給源２１は、ガスＧを配管２２に供給するためのポンプを備えてもよい。配管２２は、ガス供給源２１とノズル１０とを接続し、ガスを流通させる。流量制御部２３は、配管２２を流通するガスＧの流量をコントロールする。流量制御部２３としては、ＭＦＣ（マスフローコントローラ）が用いられるが、これに限定するものではない。

【0027】

排気経路３０は、図１及び図２（ｂ）に示すように、ダクト３１と、排気管３２とを有している。ダクト３１は、収納容器５０から排出されるガスＧ１を流通させる。ダクト３１は、ガス供給系２０の配管２２よりも流路断面積が大きくなるように形成されている。ダクト３１は、一の載置台６０上に２つ配置されている。２つのダクト３１は、収納容器５０が載置される領域を空けて配置されている。２つのダクト３１は、それぞれ一方向に長手に形成され、長手方向が収納容器５０の側部５０ｃ、５０ｄに沿うように配置されている。収納容器５０が載置台６０に載置された状態において、２つのダクト３１は、サイドフランジ５０ｆと載置台６０との間のレベル（高さ位置）ＬＶに設けられる空間Ｋ（図１参照）に配置される。収納容器５０にサイドフランジ５０ｆが設けられる場合、収納容器５０を載置台６０上に載置した状態では、サイドフランジ５０ｆと載置台６０との間の空間Ｋがデッドスペースとなりやすい。本実施形態では、サイドフランジ５０ｆと載置台６０との間の空間Ｋにダクト３１を配置することで、このデッドスペースを有効活用している。

【0028】

各ダクト３１は、容器接続口３１ａと、配管接続口３１ｂと、チェック弁（一方向弁）３１ｃとを有している。容器接続口３１ａは、例えば矩形に形成されている。容器接続口３１ａは、排気口５２よりも大きい寸法に形成されている。容器接続口３１ａは、収納容器５０に向けて形成されている。容器接続口３１ａは、収納容器５０が載置台６０に載置された状態において、収納容器５０に形成される排気口５２に対向する位置に設けられている。この構成により、収納容器５０の排気口５２から排出されるガスＧ１は、容器接続口３１ａを介して直接的にダクト３１の内部に送られる。このため、ガスＧ１が収納容器５０の周囲に漏れ出すのを防ぐことができる。なお、収納容器５０の排気口５２にチェック弁を設けてもよく、この場合はダクト３１のチェック弁３１ｃは設けなくてもよい。

【0029】

配管接続口３１ｂは、ダクト３１のうち収納容器５０の背面部５０ｅ側の端部３１ｄに形成されている。配管接続口３１ｂは、例えば矩形に形成されており、容器接続口３１ａから流入するガスを排出する。なお、配管接続口３１ｂの形状は、矩形に限定されるものではなく、円形など他の形状であってもよい。

【0030】

チェック弁３１ｃは、配管接続口３１ｂに設けられている。チェック弁３１ｃは、容器接続口３１ａから配管接続口３１ｂへ向けて一方向にガスＧ１を流通させるための弁である。チェック弁３１ｃが設けられることにより、ダクト３１内においてガスＧ１の逆流が抑制され、外気の侵入が規制されることになる。

【0031】

排気管３２は、キャップ部３２ａと、配管３２ｂとを有している。キャップ部３２ａは、ダクト３１の端部３１ｄに密着して設けられている。キャップ部３２ａは、開口部３２ｃを有している。開口部３２ｃは、例えば矩形に形成されており、配管接続口３１ｂに接続される。

【0032】

配管３２ｂは、キャップ部３２ａに接続されている。配管３２ｂは、ダクト３１からキャップ部３２ａを介して流入するガスＧ１を流通させる。配管３２ｂは、キャップ部３２ａから載置台６０上に沿って所定の空間まで引き回されている。配管３２ｂには吸引ポンプが接続され、ダクト３１に対してキャップ部３２ａ側を負圧にできる構成であってもよい。

【0033】

このように、排気管３２は、キャップ部３２ａによってダクト３１の端部３１ｄに密着して設けられるため、配管接続口３１ｂから配管３２ｂにかけて、ガスＧ１が漏れ出すのを防ぐことができる。

【0034】

ここで、上記したように、収納容器５０を載置台６０に載置した場合、２つのダクト３１は、サイドフランジ５０ｆと載置台６０との間の空間Ｋに配置される。このため、ダクト３１の端部３１ｄに形成された配管接続口３１ｂは、サイドフランジ５０ｆと載置台６０との間の高さ位置（レベルＬＶ：図１参照）に配置される。したがって、２つのキャップ部３２ａは、この配管接続口３１ｂと対向する位置に配置されるため、収納容器５０のサイドフランジ５０ｆと載置台６０との間のレベル（高さ位置）ＬＶに配置される。また、配管３２ｂは、キャップ部３２ａから水平方向に延びるように引き回されるため、収納容器５０のサイドフランジ５０ｆと載置台６０との間のレベル（高さ位置）ＬＶに配置される。

【0035】

制御部４０は、例えば、ＣＰＵ（中央演算処理装置）や各種記憶装置等を備え、これらがデータバス等によって接続された構成を有している。また、制御部４０は、外部の中央制御装置等に対して無線または有線で接続されてもよい。制御部４０は、流量制御部２３に対してガスＧの流量を制御するための制御信号を出力する。なお、制御部４０は、例えば、キーボードや、マウスまたはジョイスティック等のポインティングデバイス、バーコードリーダ等の入力部４１と、液晶ディスプレイ等の表示部４２と、を備えている。入力部４１は、流量制御部２３によるガスＧの単位時間あたりの流量の設定、変更等を行う。表示部４２は、入力部４１で入力した情報の表示や、現在の稼働状況の表示を行う。ただし、パージ装置１が、制御部４０や入力部４１、表示部４２を備えるか否かは任意である。

【0036】

また、図２（ｂ）に示すように、載置台６０は、例えば不図示の支持フレームにより一端側（例えば、収納容器５０の背部側）が保持されている。ただし、載置台６０は、このような片側支持構造により支持されることに限定されず、例えば、載置台６０の左右両側を支持フレームにより支持する構造等であってもよい。

【0037】

載置台６０には、切り欠き部６０ａが形成されている。切り欠き部６０ａは、支持フレーム１０２とは反対側の他端側（例えば、収納容器の正面部側）を切り欠いた形状に形成されている。切り欠き部６０ａは、収納容器５０を載置台６０に搬送する際に用いられる容器支持台１１４と干渉しない形状となっている。

【0038】

また、載置台６０には、図２（ｂ）に示すように、突出ピン６１が３個設けられている。突出ピン６１の高さは、ノズル１０の高さよりも高く形成されている。一方、収納容器５０の底部５０ｂには、この突出ピン６１が挿入される３個の溝部（不図示）が形成されている。突出ピン６１は、ノズル１０の高さよりも高いため、収納容器５０を載置台６０に載置する場合、溝部に入り込むことで収納容器５０を位置決めする。これにより、ノズル１０やダクト３１の容器接続口３１ａに対して、供給口５１や排気口５２を容易に位置決めすることができ、それぞれの接続を確実に行うことができる。また、突出ピン６１にそれぞれ隣接した位置には、センサ６２が設けられている。このセンサ６２は、例えば、収納容器５０の底部５０ｂを検出して、収納容器５０が載置台６０の上に載置されたか否かを検出する。

【0039】

続いて、上記したパージ装置１を用いて収納容器５０にガスＧを供給する場合について説明する。先ず、ウェハ等１５が収納されて蓋部５０ｌが閉じられた収納容器５０は、搬送装置等によって載置台６０に載置される。このとき、上記したように、突出ピン６１によって収納容器５０は位置決めされるため、載置台６０のノズル１０及びダクト３１の容器接続口３１ａは、正確に収納容器５０の供給口５１及び排気口５２に接続される（図１に示す状態）。

【0040】

ノズル１０及び容器接続口３１ａは、収納容器５０が載置台６０に載置されたときに、供給口５１及び排気口５２とそれぞれ接続されるので、収納容器５０を載置台６０に置くだけでガスＧを注入するための流路ならびに排気の流路が形成され、収納容器５０内へのガスＧの注入を容易に行うことができる。

【0041】

このように載置台６０に載置された収納容器５０に対してガスＧが供給されると、収納容器５０内に当初入っていたガスは、排気口５２からダクト３１及び排気管３２を介して所定の空間に排出される。この結果、収納容器５０内は、所定のガスＧにより満たされ、ウェハ等１５に対して所定の環境が形成される。なお、収納容器５０に供給されるガスＧは、流量制御部２３によって予め設定された流量が供給された後に供給を停止するか、あるいは予め設定された供給時間を経過した後に供給を停止する。この動作において、排気口５２、ダクト３１及び排気管３２は、十分な流路断面積を有しているため、収納容器５０の背圧を小さくすることができ、パージによる圧力で効果的に排気を行うことができる。

【0042】

以上のように、本実施形態によれば、サイドフランジ５０ｆを有する収納容器５０内にガスＧを導入するとともに収納容器５０から排出されたガスＧ１を導く排気経路３０が、収納容器５０を載置する載置台６０と、この載置台６０に載置された収納容器５０のサイドフランジ５０ｆとの間のレベル（高さ位置）ＬＶの空間Ｋに配置されるため、載置台６０上の限られたスペースを有効に活用して排気経路３０を設置することができる。これにより、載置台６０上の高さ方向のスペースを追加することなく収納容器５０内のガスを効率的に排出できる。

【0043】

＜第２実施形態＞
第２実施形態に係る収納容器１５０及びパージ装置１０１について、図３を参照して説明する。なお、本実施形態においては、第１実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略または簡略化する。

【0044】

図３（ａ）は、第２実施形態に係る収納容器１５０の一例を示す斜視図である。
図３（ａ）に示すように、収納容器１５０は、正面部５０ａ、天井部５０ｔ、底部５０ｂ、側部５０ｃ、５０ｆ、背面部５０ｅを有している。正面部５０ａには、蓋部５０ｌが配置されている。天井部５０ｔには、把持部５０ｈが設けられている。底部５０ｂには、供給口５１が設けられている。側部５０ｃ、５０ｄには、サイドフランジ５０ｆが設けられている。また、側部５０ｃ、５０ｄには、排気口５２が１つずつ設けられている。排気口５２は、例えばサイドフランジ５０ｆよりも高さが低い位置に設けられている。

【0045】

さらに、本実施形態では、側部５０ｃ、５０ｄには、排気経路１３０が設けられている。排気経路１３０は、ダクト１３１を有している。ダクト１３１は、側部５０ｃ、５０ｄに１つずつ配置されている。２つのダクト１３１は、収納容器１５０の正面部５０ａ側から背面部５０ｅ側にかけて形成されている。２つのダクト１３１は、サイドフランジ５０ｆの下方に配置される。例えば、各ダクト１３１は、底部５０ｂに沿って配置されている。したがって、収納容器１５０を載置台６０に載置した場合、２つのダクト１３１は、サイドフランジ５０ｆと載置台６０との間の空間に配置される。ダクト１３１は、収納容器１５０から排気口５２を介して排出されるガスを流通させる。ダクト１３１は、それぞれ側部５０ｃ、５０ｄに密着されている。

【0046】

各ダクト１３１は、容器接続口１３１ａと、配管接続口１３１ｂと、チェック弁１３１ｃとを有している。容器接続口１３１ａは、例えば矩形に形成されており、排気口５２に接続されている。収納容器１５０の排気口５２から排出されるガスは、容器接続口１３１ａを介して直接的にダクト１３１の内部に送られる。ダクト１３１はそれぞれ側部５０ｃ、５０ｄに隙間なく設けられているため、ガスが収納容器１５０の周囲に漏れ出すのを防ぐことができる。

【0047】

配管接続口１３１ｂは、ダクト１３１のうち収納容器１５０の背面部５０ｅ側の端部１３１ｄに形成されている。配管接続口１３１ｂは、例えば矩形に形成されており、容器接続口１３１ａから流入するガスを排出する。なお、配管接続口１３１ｂの形状は、矩形に限定されるものではなく、円形など他の形状であってもよい。

【0048】

チェック弁１３１ｃは、配管接続口１３１ｂに設けられている。チェック弁１３１ｃは、容器接続口１３１ａから配管接続口１３１ｂへ向けて一方向にガスを流通させるための弁である。チェック弁１３１ｃが設けられることにより、ダクト１３１内においてガスの逆流が抑制され、外気の侵入が規制されることになる。

【0049】

図３（ｂ）は、収納容器１５０を載置する載置台６０の一例を示す斜視図であり、本実施形態に係るパージ装置１０１の一例を示している。
図３（ｂ）に示すように、パージ装置１０１は、ノズル１０と、ガス供給系２０と、排気経路１３０と、制御部４０と、を備えている。ノズル１０、ガス供給系２０及び制御部４０については、第１実施形態と同一構成であるため、説明を省略する。

【0050】

排気経路１３０は、排気管１３２を有している。排気管１３２は、キャップ部１３２ａと、配管１３２ｂとを有している。キャップ部１３２ａは、載置台６０上のうち収納容器１５０の背面部５０ｅ側の端部に２つ設けられている。

【0051】

２つのキャップ部１３２ａは、開口部１３２ｃを有している。開口部１３２ｃは、収納容器１５０に向けて形成されている。開口部１３２ｃは、収納容器１５０が載置台６０に載置された状態において、ダクト１３１の配管接続口１３１ｂに対向する位置に設けられている。この構成により、収納容器１５０の排気口５２から排出されるガスは、配管接続口１３１ｂ及び開口部１３２ｃを介して排気管１３２の内部に送られる。

【0052】

ここで、上記したように、収納容器１５０を載置台６０に載置した場合、収納容器１５０に設けられる２つのダクト１３１は、サイドフランジ５０ｆと載置台６０との間の空間に配置される。このため、ダクト１３１の端部１３１ｄに形成された配管接続口１３１ｂは、サイドフランジ５０ｆと載置台６０との間の高さ位置に配置される。したがって、２つのキャップ部１３２ａは、この配管接続口１３１ｂと対向する位置に配置されるため、収納容器１５０のサイドフランジ５０ｆと載置台６０との間のレベル（高さ位置）に配置される。

【0053】

なお、キャップ部１３２ａは、収納容器１５０が載置台６０に載置された状態で、ダクト１３１の端部１３１ｄとの間ができるだけ近接するように配置される。これにより、ダクト１３１からのガスを外部に漏れにくくすることができる。図３（ｂ）では、キャップ部１３２ａと端部１３１ｄとの間が離れた状態となるように示されているが、これに限定するものではなく、キャップ部１３２ａと端部１３１ｄとが密着するような配置であってもよい。

【0054】

配管１３２ｂは、キャップ部１３２ａに接続されている。配管１３２ｂは、キャップ部１３２ａを介して流入するガスを流通させる。配管１３２ｂは、キャップ部１３２ａから載置台６０上に沿って所定の空間まで引き回されている。配管１３２ｂには吸引ポンプが接続され、ダクト１３１に対してキャップ部１３２ａ側を負圧にできるようになっている。これにより、配管接続口１３１ｂと開口部１３２ｃとの間が離れている場合であっても、ダクト１３１側からのガスを排気管１３２側に吸引することができるため、ガスが外部に漏れにくくなる。

【0055】

このように、本実施形態によれば、サイドフランジ５０ｆを有する収納容器１５０内にガスを導入するとともに収納容器１５０から排出されたガスを導く排気経路１３０が、収納容器１５０を載置する載置台６０と、この載置台６０に載置された収納容器１５０のサイドフランジ５０ｆとの間のレベル（高さ位置）に配置されるため、載置台６０上の限られたスペースを有効に活用して排気経路１３０を設置することができる。これにより、載置台６０上の高さ方向のスペースを追加することなく収納容器１５０内のガスを効率的に排出できる。

【0056】

＜第３実施形態＞
第３実施形態に係る収納容器２５０及びパージ装置２０１について、図４を参照して説明する。なお、本実施形態においては、第１実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略または簡略化する。

【0057】

図４（ａ）は、第２実施形態に係る収納容器２５０の一例を示す斜視図である。
図４（ａ）に示すように、収納容器２５０は、正面部５０ａ、天井部５０ｔ、底部５０ｂ、側部５０ｃ、５０ｆ、背面部５０ｅを有している。正面部５０ａには、蓋部５０ｌが配置されている。天井部５０ｔには、把持部５０ｈが設けられている。
側部５０ｃ、５０ｄには、サイドフランジ５０ｆが設けられている。また、背面部５０ｅには、排気口２５２が２つ設けられている。排気口２５２は、例えばサイドフランジ５０ｆよりも高さが低い位置に設けられている。排気口２５２には、収納容器２５０内のガスを外部に排出できるようにチェック弁やパーティクルフィルタ等が設けられている。
底部５０ｂには、供給口２５１が設けられている。供給口２５１は、収納容器２５０の正面部５０ａ側に配置されている。この構成では、収納容器２５０の正面部５０ａ側からガスが流入し、背面部５０ｅ側からガスが排出される。したがって、収納容器２５０の内部の全体にガスが流通する。

【0058】

図４（ｂ）は、収納容器２５０を載置する載置台６０及び本実施形態に係るパージ装置２０１の一例を示す斜視図である。
図４（ｂ）に示すように、パージ装置２０１は、ノズル２１０と、ガス供給系２０と、排気経路２３０と、制御部４０と、を備えている。ガス供給系２０及び制御部４０については、第１実施形態と同一構成であるため、説明を省略する。なお、ノズル２１０については、収納容器２５０を載置台６０に載置させた状態で、供給口２５１に接続される位置に配置されている。ノズル２１０は、この配置以外の構成については、上記第１実施形態と同様である。

【0059】

排気経路２３０は、排気管２３２を有している。排気管２３２は、キャップ部２３２ａと、配管２３２ｂとを有している。キャップ部２３２ａは、載置台６０上のうち収納容器２５０の背面部５０ｅ側の端部に２つ設けられている。

【0060】

２つのキャップ部２３２ａは、開口部２３２ｃを有している。開口部２３２ｃは、収納容器２５０に向けて形成されている。開口部２３２ｃは、収納容器２５０が載置台６０に載置された状態において、排気口２５２に対向する位置に設けられている。この構成により、収納容器２５０の排気口２５２から排出されるガスは、開口部２３２ｃを介して排気管２３２の内部に送られる。

【0061】

ここで、上記したように、収納容器２５０を載置台６０に載置した場合、収納容器２５０に設けられる２つの排気口２５２は、サイドフランジ５０ｆと載置台６０との間の空間に配置される。したがって、２つのキャップ部２３２ａは、この排気口２５２と対向する位置に配置されるため、収納容器２５０のサイドフランジ５０ｆと載置台６０との間のレベル（高さ位置）に配置される。

【0062】

なお、キャップ部２３２ａは、収納容器２５０が載置台６０に載置された状態で、排気口２５２との間ができるだけ近接するように配置される。これにより、排気口２５２からのガスを外部に漏れにくくすることができる。図４（ｂ）では、キャップ部２３２ａと端部２３１ｄとの間が離れた状態となるように示されているが、これに限定するものではなく、キャップ部２３２ａと端部２３１ｄとが密着するような配置であってもよい。

【0063】

例えば、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、キャップ部２３２ａを駆動するキャップ駆動機構２３３が設けられた構成であってもよい。キャップ駆動機構２３３は、収納容器２５０の重みで回動する回動部材２３３ａと、回動部材２３３ａを回動させる軸部２３３ｂとを有する。回動部材２３３ａには、キャップ部２３２ａが固定されている。

【0064】

このキャップ駆動機構２３３は、図５（ａ）に示すように、回動部材２３３ａが傾いた状態となっている。この状態から、収納容器２５０が載置台６０に載置すると、図５（ｂ）に示すように、収納容器２５０の重みで回動部材２３３ａが回転する。そして、回動部材２３３ａに固定されたキャップ部２３２ａが収納容器２５０の排気口２５２の周囲に当接される。これにより、排気口２５２から排出されたガスがキャップ部２３２ａに流通する際に、漏れにくくなる。

【0065】

配管２３２ｂは、キャップ部２３２ａに接続されている。配管２３２ｂは、キャップ部２３２ａを介して流入するガスを流通させる。配管２３２ｂは、キャップ部２３２ａから載置台６０上に沿って所定の空間まで引き回されている。配管２３２ｂには吸引ポンプが接続され、ダクト２３１に対してキャップ部２３２ａ側を負圧にできるようになっている。これにより、配管接続口２３１ｂと開口部２３２ｃとの間が離れている場合であっても、ダクト２３１側からのガスが排気管２３２側へ流通する際に、外部に漏れにくくなる。

【0066】

このように、本実施形態によれば、サイドフランジ５０ｆを有する収納容器２５０内にガスを導入するとともに収納容器２５０から排出されたガスを導く排気経路２３０が、収納容器２５０を載置する載置台６０と、この載置台６０に載置された収納容器２５０のサイドフランジ５０ｆとの間のレベル（高さ位置）に配置されるため、載置台６０上の限られたスペースを有効に活用して排気経路２３０を設置することができる。これにより、載置台６０上の高さ方向のスペースを追加することなく収納容器２５０内のガスを効率的に排出できる。

【0067】

なお、本実施形態では、収納容器２５０の背面部５０ｅに排気口２５２が設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではない。例えば、収納容器２５０の側部５０ｃ、５０ｅに排気口が形成された場合には、キャップ部２３２ａを収納容器２５０の側方に配置させ、収納容器２５０の側部５０ｃ、５０ｄに沿って載置台６０上に配管２３２ｂを引く構成であってもよい。この場合においても、２つのキャップ部２３２ａは、排気口２５２と対向する位置に配置されるため、収納容器２５０のサイドフランジ５０ｆと載置台６０との間のレベル（高さ位置）に配置される。

【0068】

＜パージストッカ＞
パージストッカの実施形態について、図６を参照しながら説明する。図６は、収納容器５０を保管するパージストッカ１００の要部斜視図である。このパージストッカ１００は、複数の収納容器５０を保管するとともに、保管中に収納容器５０内に所定のガスを供給するパージ装置１を有している。なお、本実施形態において、第１実施形態の収納容器５０及びパージ装置１を例に挙げて説明するが、これに限定するものではなく、第２実施形態の収納容器１５０及びパージ装置１０１であっても、第３実施形態の収納容器２５０及びパージ装置２０１であっても、同様の説明が可能である。

【0069】

図６に示すように、パージストッカ１００は、床９０に設置された支持フレーム１０２と、支持フレーム１０２の内側に水平かつ多段（本実施形態においては４段）に配列された複数の載置台６０と、床９０上を走行するスタッカクレーン１１０と、載置台６０にガスを供給するパージ装置１と、を備えている。各載置台６０のそれぞれには、配管２２等からなるガス供給系２０を介してガスが供給される。載置台６０のそれぞれには、流量制御部２３（ＭＦＣ）及び排気経路３０が設置されている。

【0070】

なお、図６では説明のためパージストッカ１００の外側（支持フレーム１０２の外側）に流量制御部２３を記載しているが、実際には、支持フレーム１０２内（パージストッカ１００内）に各流量制御部２３が設置されている。ただし、流量制御部２３の一部または全部を支持フレーム１０２の外側に配置してもよい。また、ガス供給源２１や制御部４０は、支持フレーム１０２の外側に配置されているが、支持フレーム１０２内（パージストッカ１００内）に配置されてもよい。

【0071】

各載置台６０に対するガスの供給または停止は、それぞれの流量制御部２３（ＭＦＣ）によって行っており、各載置台６０に対して選択的にガスを供給できるようにしている。制御部４０は、第１実施形態と同様に、各流量制御部２３（ＭＦＣ）の制御を行う。また、制御部４０は、後述するスタッカクレーン１１０の動作を制御してもよく、収納容器５０の搬入及び搬出を１つの制御部４０で行ってもよい。なお、上記では載置台６０ごとに流量制御部２３（ＭＦＣ）が配置されているが、これに限定されない。例えば、２以上の載置台６０に対して流量制御部２３（ＭＦＣ）を兼用させるようにしてもよい。載置台６０は、パージストッカ１００の奥行方向に沿って等間隔に配置されている。

【0072】

スタッカクレーン１１０は、走行基台１１１と、支持柱１１２と、アーム支持部１１３と、容器支持台１１４と、を備えている。走行基台１１１は、走行用の車輪１１５を有する。車輪１１５のうち少なくとも１つはモータ等の不図示の駆動装置によって駆動し、走行基台１１１を、床９０に設けられたレール１１６に沿って矢印Ａ方向に移動させる。支持柱１１２は、走行基台１１１の上面から高さ方向に延在している。

【0073】

アーム支持部１１３は、支持柱１１２に沿ってスライド可能に支持されており、モータ等の不図示の駆動装置によって矢印Ｂ方向に移動する。容器支持台１１４は、収納容器５０を載置するとともに、アーム支持部１１３から水平方向に伸縮可能な複数のアームによって構成されている。容器支持台１１４は、モータ等の不図示の駆動装置によって矢印Ｃ方向に伸縮する。なお、走行基台１１１の矢印Ａ方向の移動や、アーム支持部１１３の矢印Ｂ方向の移動、容器支持台１１４の矢印Ｃ方向の伸縮は、制御部４０によって制御される。

【0074】

続いて、スタッカクレーン１１０の動作について説明する。収納容器５０をパージストッカ１００内に入庫するときは、パージストッカ１００の受渡し部（図示せず）までスタッカクレーン１１０が移動する。容器支持台１１４によって、受渡し部に載置された収納容器５０をすくい上げて保持する。収納容器５０を保持した状態で、走行基台１１１及びアーム支持部１１３を矢印Ａ方向及び矢印Ｂ方向に移動させ、所望の載置台６０に位置決めする。続いて、容器支持台１１４を矢印Ｃ方向に伸長させることにより、収納容器５０を所望の載置台６０の上方に配置させる。続いて、アーム支持部１１３を下方に移動させることにより、収納容器５０は、容器支持台１１４から載置台６０に移って保持される。

【0075】

この載置動作によって、第１実施形態で説明した様に、載置台６０のノズル１０及び容器接続口３１ａは、収納容器５０の供給口５１及び排気口５２にそれぞれ接続される。収納容器５０が載置された後、ガスの供給が開始される。制御部４０は、収納容器５０の載置を確認した後、開閉弁を開くとともに流量制御部２３を制御してガスの供給を行う。なお、制御部４０は、載置台６０に載置された段階でガスの供給を行うが、一定期間が経過した収納容器５０に対して改めてガスの供給を行ってもよい。また、制御部４０は、パージストッカ１００に搬入された段階でガスの供給が必要かを確認し、必要な場合はガスの供給を行うようにしてもよい。

【0076】

図７は、パージストッカ１００の内部の一例を示す図である。
図７に示すように、各載置台６０の下部には、ガスを供給するための配管２２が設けられている。配管２２は、載置台６０の下部において屈曲しており、パージストッカ１００の側方へ向けて水平方向に延びている。なお、実際の配管２２は、デッドスペースが生じないように、載置台６０の下面に可能な限り隙間なく沿うように配置される。

【0077】

収納容器５０から排出されるガスは、排気口５２及び排気経路３０を介してパージストッカ１００の外に排出される。排気経路３０は、上記第１実施形態と同様に、ダクト３１及び排気管３２を有する。ダクト３１及び排気管３２は、各載置台６０に設けられている。排気管３２は、水平方向に延びており、パージストッカ１００の側壁１０３を貫通して外部に引き出されている。

【0078】

排気経路３０は、外部配管３３に接続されている。外部配管３３は、パージストッカ１００から外部に引き出された排気管３２同士を接続している。外部配管３３は、パージストッカ１００の外の所定の空間に接続されている。外部配管３３は、ダクト３１から排気管３２を介して流入するガスを、パージストッカ１００の外の所定の空間に排出する。

【0079】

本実施形態では、排気経路３０は、各載置台６０と収納容器５０のサイドフランジ５０ｆとの間の空間に配置され、この空間からパージストッカ１００の外部に水平方向に沿って設けられている。したがって、パージストッカ１００の内部においては、高さ方向のスペース（例えば、把持部５０ｈの上面と配管２２の間隔ｓ）を新たに追加することなく、排気経路３０を配置することができる。この排気経路３０により、パージストッカ１００の収容能力を維持しつつ、収納容器５０の内部のガスを効率的に排気することができる。

【0080】

なお、本実施形態のパージストッカ１００では、載置台６０の全てについてガスの供給が可能となっているが、これに限定するものではなく、一部の載置台６０（例えば最下段の載置台６０など）についてガスを供給可能としてもよい。この場合、例えば、制御部４０は、収納容器５０にガスの供給が必要かを監視し、必要な場合は適宜スタッカクレーン１１０を動作させて、収納容器５０をガス供給可能な載置台６０まで搬送してガスの供給を行う。ガス供給が終了した後は、収納容器５０を元の位置に戻す。これにより、パージストッカ１００内の構造を簡素化できるとともに、ガス供給系２０の配管２２も簡素化できる。

【0081】

また、パージストッカ１００の載置台６０にガス供給可能な載置台６０を設けずに、例えば収納容器５０の受渡し部において、その載置台にパージ装置１が形成されてもよい。また、パージストッカ１００の一部にガス供給装置を設置することに限定されず、パージストッカ１００への搬入前または搬出後に一旦収納容器５０を載置させ、ガスを供給するようなパージストッカ１００に付属する専用のガス供給ステーション等であってもよい。

【0082】

以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
例えば、第１実施形態において、排気経路３０として、ダクト３１及び排気管３２を有する構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば、ダクト３１を省略し、排気管３２のみを配置する構成としてもよい。この場合、収納容器５０の排気口５２に対向する位置に排気管３２のキャップ部３２ａを配置させ、この位置から配管３２ｂを引き伸ばす構成としてもよい。なお、配管３２ｂの径は、サイドフランジ５０ｆと載置台６０との間の空間に応じて適宜設定することができる。

【0083】

また、上記実施形態では、サイドフランジ５０ｆと載置台６０との間のスペースを用いて排気経路を配置する構成を例に挙げて説明したが、これに加えて、収納容器５０の底部５０ｂに排気口を別途設けると共に、収納容器５０の底部５０ｂに接続される排気管を別途設けてもよい。この排気管は、例えば載置台６０を下方に貫通し、載置台６０の下方において載置台６０の下面に沿うように屈曲させ、例えばパージストッカ１００の外部に引き出すように配置することができる。このとき、排気管の径は、パージストッカ１００内の高さ方向のスペースを追加しないように設定することができる。

【0084】

また、上記実施形態では、サイドフランジ５０ｆと排気経路３０とを別個に設ける構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、サイドフランジ５０ｆが排気経路（例、ダクトなど）を兼用する構成であってもよい。

【符号の説明】

【0085】

１、１０１、２０１…パージ装置 １０、２１０…ノズル ２０…ガス供給系 ３０、１３０、２３０…排気経路 ３１、１３１、２３１…ダクト ３１ｃ、１３１ｃ…チェック弁（一方向弁） ３２、１３２、２３２…排気管 ３３…外部配管 ４０…制御部 ５０、１５０、２５０…収納容器 ５０ｆ…サイドフランジ ５１、２５１…供給口 ５２、２５２…排気口 ６０…載置台（載置部） １００…パージストッカ ＬＶ…レベル Ｋ…空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】