発明の名称 プラズマCVD装置
出願人 小島プレス工業株式会社 (識別番号 308013436)
特許公開件数ランキング 2065 位(4件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 4007 位(4件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2015-151627
公報発行日 2015年8月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-151627
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