2015-153468 | 知財ポータル「IP Force」

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000003

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000004

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000005

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000006

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000007

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000008

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000009

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000010

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000011

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000012

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000013

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000014

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000015

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000016

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000017

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000018

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000019

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000020

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000021

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000022

2015153468-高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 図000023

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