特開2015-166751ウェーハスタック内の層厚さ及び欠陥を測定する測定デバイス及び方法

発明の名称　ウェーハスタック内の層厚さ及び欠陥を測定する測定デバイス及び方法

出願人　エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー　（識別番号 508333169）

　　　　特許公開件数ランキング 882 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 989 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-166751

公報発行日　2015年9月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-166751

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2015-166751「ウェーハスタック内の層厚さ及び欠陥を測定する測定デバイス及び方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録