発明の名称 MEMS及びそれを機能する回路を応用した実装プロセス管理チップ並びにそれを応用した実装管理システム及びその装置
出願人 株式会社日本スペリア社 (識別番号 592025786)
特許公開件数ランキング 7185 位(2件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 4248 位(3件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2015-192110
公報発行日 2015年11月2
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-192110
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