特開 2015-194464 接触燃焼式ガスセンサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2015-194464(P2015-194464A)

(43)【公開日】2015年11月5日

(54)【発明の名称】接触燃焼式ガスセンサ

(51)【国際特許分類】

   G01N 27/16 20060101AFI20151009BHJP

【ＦＩ】

   G01N27/16 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2014-196976(P2014-196976)

(22)【出願日】2014年9月26日

(31)【優先権主張番号】特願2014-69001(P2014-69001)

(32)【優先日】2014年3月28日

(33)【優先権主張国】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000190301

【氏名又は名称】新コスモス電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】特許業務法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】宮崎 洋

【テーマコード（参考）】

2G060

【Ｆターム（参考）】

2G060AA02

2G060AF07

2G060BA03

2G060BD02

2G060BD08

2G060JA01

(57)【要約】

【課題】検出素子および補償素子を取り付ける作業を容易に行える接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】可燃性ガスと感応する検出素子１０および補償素子２０を並列接続してある接触燃焼式ガスセンサＸにおいて、検出素子１０および補償素子２０を配設する基板部３０と、検出素子１０を収容する検出素子収容部４１ａ、および、補償素子２０を収容する補償素子収容部４２ａを形成したキャップ部４０と、を備え、キャップ部４０は、可燃性ガスを検出素子収容部４１ａに導入する検出素子側開口部４１ｂと、可燃性ガスを補償素子収容部４２ａに導入する補償素子側開口部４２ｂと、を備えた。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

可燃性ガスと感応する検出素子および補償素子を並列接続してある接触燃焼式ガスセンサにおいて、
前記検出素子および前記補償素子を配設する基板部と、
前記検出素子を収容する検出素子収容部、および、前記補償素子を収容する補償素子収容部を形成したキャップ部と、を備え、
前記キャップ部は、可燃性ガスを前記検出素子収容部に導入する検出素子側開口部と、
可燃性ガスを前記補償素子収容部に導入する補償素子側開口部と、を備えた接触燃焼式ガスセンサ。

【請求項2】

前記キャップ部は、単一の部材で構成してある請求項１に記載の接触燃焼式ガスセンサ。

【請求項3】

前記検出素子側開口部を検出素子の直上となる位置に形成し、前記補償素子側開口部を補償素子の直上となる位置に形成してある請求項１または２に記載の接触燃焼式ガスセンサ。

【請求項4】

前記キャップ部を円柱状に形成し、その外周面の一部を切欠いた切欠部を形成してある請求項１〜３の何れか一項に記載の接触燃焼式ガスセンサ。

【請求項5】

前記検出素子が備えるガス感応部が存在する空間である検出素子側空間部の容積が１４．６ｍｍ^３以下である請求項１〜４に記載の接触燃焼式ガスセンサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、可燃性ガスと感応する検出素子および補償素子を並列接続してある接触燃焼式ガスセンサに関する。

【背景技術】

【0002】

接触燃焼式ガスセンサは、ヒータと温度計を兼ねる白金線コイルに貴金属触媒を担持させたアルミナを球状に焼結させた構造のセンサで、可燃性ガスの接触燃焼に伴う検出素子の温度変化を検知して可燃性ガスの濃度を検出するガスセンサである。一般的には、同じく触媒のないアルミナのみを焼結させた補償素子と共にブリッジ接続することで、爆発下限界（ＬＥＬ）までの可燃性ガスの濃度を、環境温度、湿度の影響が少なく安定して検出することができる。

【0003】

尚、本発明における従来技術となる上述した接触燃焼式ガスセンサは、一般的な技術であるため、特許文献等の従来技術文献は示さない。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述した接触燃焼式ガスセンサは、検出素子および補償素子を別異のキャップに収容して基板部に配設してあった。そのため、これら素子を基板部に配設する作業が煩雑であった。

【0005】

従って、本発明の目的は、検出素子および補償素子を取り付ける作業を容易に行える接触燃焼式ガスセンサを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するための本発明に係る接触燃焼式ガスセンサは、可燃性ガスと感応する検出素子および補償素子を並列接続してある接触燃焼式ガスセンサであって、その特徴構成は、前記検出素子および前記補償素子を配設する基板部と、前記検出素子を収容する検出素子収容部、および、前記補償素子を収容する補償素子収容部を形成したキャップ部と、を備え、前記キャップ部は、可燃性ガスを前記検出素子収容部に導入する検出素子側開口部と、可燃性ガスを前記補償素子収容部に導入する補償素子側開口部と、を備えた点にある。

【0007】

本構成によれば、検出素子および補償素子を単一のキャップ部内に収容できるため、基板部に検出素子および補償素子を取り付ける場合は、キャップ部に検出素子および補償素子を収容した状態で、このキャップ部を基板部に取り付ければよい。このため、検出素子および補償素子を別異に取り付ける場合より取り付け作業が容易となる。

【0008】

本発明に係る接触燃焼式ガスセンサの第二特徴構成は、前記キャップ部を、単一の部材で構成した点にある。

【0009】

本構成では、キャップ部を簡便に構成することができる。

【0010】

本発明に係る接触燃焼式ガスセンサの第三特徴構成は、前記検出素子側開口部を検出素子の直上となる位置に形成し、前記補償素子側開口部を補償素子の直上となる位置に形成した点にある。

【0011】

本構成によれば、検出素子側開口部を検出素子の直上となる位置に形成すれば、検出素子側開口部から導入された可燃性ガスを直ちに検出素子と接触させることができ、補償素子側開口部を補償素子の直上となる位置に形成すれば、補償素子側開口部から導入された可燃性ガスを直ちに補償素子と接触させることができる。

【0012】

本発明に係る接触燃焼式ガスセンサの第四特徴構成は、前記キャップ部を円柱状に形成し、その外周面の一部を切欠いた切欠部を形成した点にある。

【0013】

本構成では、例えば基板部に固定用切欠部が形成してある場合、キャップ部を基板部に取り付ける際には、キャップ部の切欠部の取り付け位置を固定用切欠部に一致させることで、容易に取り付け作業を行うことができる。従って、本構成のようにキャップ部に切欠部を形成することで、キャップ部の位置決めが容易となる。

【0014】

本発明に係る接触燃焼式ガスセンサの第五特徴構成は、前記検出素子が備えるガス感応部が存在する空間である検出素子側空間部の容積を１４．６ｍｍ^３以下とした点にある。

【0015】

本構成のように検出素子側空間部の容積を設定すれば、安定した出力を得ることができる接触燃焼式ガスセンサとなる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の接触燃焼式ガスセンサを示す概略図である。

【図2】キャップ部の別実施形態を示した概略図である。

【図3】連続駆動および間欠駆動においてメタンガス（２５％ＬＥＬ）に対する検出素子のガス感度に変動が生じるかを調べた結果を示すグラフである。

【図4】干渉ガスに対する耐久性を調べた結果を示すグラフである（実施例３）。

【図5】メタンガス濃度/％ＬＥＬとガス感度ΔＶ/ｍＶの関係について調べた結果を示すグラフである（実施例４）。

【図6】干渉ガスに対する耐久性を調べた結果を示すグラフである（実施例４）。

【図7】メタンガス濃度/％ＬＥＬとガス感度ΔＶ/ｍＶの関係について調べた結果を示すグラフである（実施例５）。

【図8】干渉ガスに対する耐久性を調べた結果を示すグラフである（実施例５）。

【図9】メタンガス濃度/％ＬＥＬとガス感度ΔＶ/ｍＶの関係について調べた結果を示すグラフである（実施例６）。

【図10】干渉ガスに対する耐久性を調べた結果を示すグラフである（実施例６）。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示したように、本発明の接触燃焼式ガスセンサＸは、可燃性ガスと感応する検出素子１０および補償素子２０を並列接続して備え、検出素子１０および補償素子２０を配設する基板部３０と、検出素子１０を収容する検出素子収容部４１ａ、および、補償素子２０を収容する補償素子収容部４２ａを形成したキャップ部４０と、を備える。
また、キャップ部４０は、可燃性ガスを検出素子収容部４１ａに導入する検出素子側開口部４１ｂと、可燃性ガスを補償素子収容部４２ａに導入する補償素子側開口部４２ｂと、を備える。

【0018】

検出素子１０は、電気抵抗に対する温度係数が高い白金やタングステン等を含む金属線のコイルの表面が、被検出ガスである可燃性ガスに対して活性な白金やパラジウムといった貴金属等からなる触媒を坦持するアルミナ等の坦体で被覆されて形成されているガス感応部１０ａを備える。当該検出素子１０は、可燃性ガス中に置かれたとき、通電により発熱することで自身が備える触媒が加熱されて可燃性ガスと反応し、その反応熱に応じて（可燃性ガスの濃度に応じて）出力値が変化する。

【0019】

補償素子２０は、検出素子と同様に可燃性ガス中に置かれて通電されることで、検出素子の温度補償を行うための素子であり、検出素子が有する触媒による燃焼熱に応じた出力値の変化分のみ取り出すために用いられる。
補償素子２０は、例えば検出素子１０と同等のコイルの表面がアルミナ等の坦体で被覆されて形成されているガス感応部２０ａを備える。補償素子２０は触媒を有しないため、触媒反応による可燃性ガスの燃焼が生じないため、被検出ガスに対して不活性とされる。当該補償素子２０は、通電されることにより発熱してその周囲を覆うアルミナ等の坦体を加熱するものであり、熱により自らの抵抗値が変化する。

【0020】

通常、接触燃焼式ガスセンサＸは、可燃性ガスが検出素子１０の触媒に接触した際に生じる燃焼反応の発熱により高温となった検出素子１０と、被検出ガスによる燃焼反応が発生せず検出素子１０よりも低温の補償素子２０との間に電気抵抗値の差が生ずることを利用し、雰囲気温度による電気抵抗値の変化分を相殺して可燃性ガスの濃度を検出することができる。

【0021】

補償素子２０は、周囲温度の変化の影響を相殺するために使用する。すなわち、センサ素子のガスとの反応による温度変化は数１０℃程度と小さく、周囲温度が例えば０℃〜４０℃の範囲で変化すると、ガスとの反応によるセンサ出力変化と周囲温度の変化によるセンサ出力変化が区別できないため、検出素子１０と同程度の抵抗値を有し周囲温度に対して同じような抵抗変化をする補償素子２０を検出素子１０と並列に接続して、検出素子１０の検出電圧に周囲温度の影響が現れないようにしている。

【0022】

検出素子１０および補償素子２０は、２つの抵抗を介して電源部の電流供給端子に並列接続される。これら検出素子１０、補償素子２０、抵抗によって検知回路（ブリッジ回路）を形成している。

【0023】

基板部３０は、検出素子１０および補償素子２０を配設する板状の基板であれば、公知の基板を使用することができる。通常、単一の基板部３０に検出素子１０および補償素子２０を配設するが、このような態様に限定されるものではない。

【0024】

キャップ部４０は、検出素子１０および補償素子２０を覆うことができ、かつ検出素子１０および補償素子２０を別異に収容できる検出素子収容部４１ａおよび補償素子収容部４２ａがそれぞれ形成してあればよい。
即ち、キャップ部４０は、単一の部材に検出素子収容部４１ａおよび補償素子収容部４２ａをそれぞれ形成したものとなっている。
検出素子収容部４１ａの一部は、ガス感応部１０ａが存在する空間である検出素子側空間部Ｓ１となっており、当該検出素子側空間部Ｓ１は検出素子側開口部４１ｂに通じる。当該検出素子側空間部Ｓ１の容積を１４．６ｍｍ^３以下、好ましくは２．９〜１４．６ｍｍ^３とすれば、安定した出力を得ることができる。
また、補償素子収容部４２ａの一部は、ガス感応部２０ａが存在する空間である補償素子側空間部Ｓ２となっており、当該補償素子側空間部Ｓ２は補償素子側開口部４２ｂに通じる。

【0025】

検出素子側開口部４１ｂは検出素子１０の直上となる位置に形成すれば、検出素子側開口部４１ｂから導入された可燃性ガスを直ちに検出素子１０と接触させることができる。また、補償素子側開口部４２ｂについても補償素子２０の直上となる位置に形成すれば、補償素子側開口部４２ｂから導入された可燃性ガスを直ちに補償素子２０と接触させることができる。

【0026】

キャップ部４０の形状は限定されるものではないが、例えば外形が円柱状、立方体状などの種々の形状を取り得る。本態様のキャップ部４０は、円柱状の本体部４０ａの上に、本体部４０ａより小径とした円柱状の頂部４０ｂを載置した態様とした場合について説明する。また、キャップ部４０を円柱状に形成した場合、検出素子１０および補償素子２０が、直径上かつ円の中心に対する点対称となる位置に収容できるように、検出素子収容部４１ａおよび補償素子収容部４２ａを形成すればよい。
また、キャップ部４０を構成する材料は、特に限定されるものではないが、発熱した素子の温度を逃がしやすくするため、伝熱性に優れたアルミニウムなどの金属製とするのがよい。

【0027】

本発明のようにキャップ部４０を備えることにより、検出素子１０および補償素子２０を単一のキャップ部内に収容できるため、接触燃焼式ガスセンサＸをコンパクトに構成することができる。また、基板部３０に検出素子１０および補償素子２０を取り付ける場合は、キャップ部４０に検出素子１０および補償素子２０を収容した状態で、このキャップ部４０を基板部３０に取り付ければよい。このため、検出素子１０および補償素子２０を別異に取り付ける場合より取り付け作業が容易となる。
さらに、検出素子１０および補償素子２０をキャップ部４０内で別異の収容部に収容できるため、何れかの素子の温度が上昇したとしても、他の素子に直接的な影響を与え難くなる。

【0028】

〔別実施例〕
上述した実施形態では、キャップ部４０の形状は外形が円柱状（図１）とした場合について説明したが、これに限定されない。例えばキャップ部４０を円柱状に形成し、その外周面の一部を切欠いたキャップ切欠部４１を形成してもよい（図２）。

【0029】

本態様では、キャップ部４０は、その側面視において、外周面の一部を切欠いたキャップ切欠部４１を形成してあり、具体的にはキャップ部４０の本体部４０ａの下半分の一部を切欠いたキャップ切欠部４１を形成することが可能であるが、この態様に限定されるものではない。

【0030】

このようにキャップ切欠部４１を形成することで、例えば基板部３０に固定用切欠部３１が形成してある場合、キャップ部４０を基板部３０に取り付ける際には、キャップ切欠部４１の取り付け位置を固定用切欠部３１に一致させることで、容易に取り付け作業を行うことができる。従って、本態様のようにキャップ切欠部４１を形成することで、キャップ部４０の位置決めが容易となる。

【実施例】

【0031】

〔実施例１〕
本発明の実施例について説明する。
以下のようにして本発明の接触燃焼式ガスセンサＸを作製した。
接触燃焼式ガスセンサＸにおけるキャップ部４０を、円柱状（直径１１．３ｍｍ、高さ６ｍｍ）に形成し、検出素子収容部４１ａに検出素子１０を、補償素子収容部４２ａに補償素子２０をそれぞれ収容した。検出素子側空間部Ｓ１および補償素子側空間部Ｓ２の容積は、それぞれ６．５ｍｍ^３とした。検出素子側開口部４１ｂの孔径は、０．５ｍｍ、１ｍｍとしたものをそれぞれ作製した。補償素子側開口部４２ｂの孔径についても、０．５ｍｍ、１ｍｍとしたものをそれぞれ作製した。

【0032】

検出素子１０は、白金をコイル加工したものに、内層としてアルミナにパラジウムを１０ｗｔ％担持し、外層としてアルミナに白金・パラジウムを１０ｗｔ％担持したガス感応部１０ａを被覆した。当該ガス感応部１０ａは、直径が０．２ｍｍ程度（内層の粒子径０．１７ｍｍ）の略球形となるように形成した。外層は、１１５０℃で焼成し、内層は１３００℃で焼成した。

【0033】

〔実施例２〕
実施例１で作製した接触燃焼式ガスセンサＸを使用して、連続駆動および間欠駆動においてメタンガス（２５％ＬＥＬ）に対する検出素子１０のガス感度に変動が生じるかを調べた。検出素子側空間部Ｓ１の容積を６．５ｍｍ^３とし、検出素子側開口部４１ｂの孔径を１ｍｍとしたものを使用した（本発明例１）。印加電圧を１．５Ｖとし、間欠駆動はオン時間を１秒とし、オフ時間を１５秒までの複数の秒数を設定した。
比較例として、検出素子および補償素子を別異のキャップに収容し、検出素子側空間部の容積を１２７ｍｍ^３とし、孔径を１ｍｍとした接触燃焼式ガスセンサを使用した。結果を図３に示した。

【0034】

この結果、比較例のセンサは、連続駆動および間欠駆動においてガス感度に変化が生じることが確認できたが、本発明例１のセンサは、連続駆動および間欠駆動においてガス感度に変化は認められなかった。従って、本発明例１のセンサのように、検出素子側空間部Ｓ１の容積を小さくすることで、ガス感度が安定化するものと認められた。

【0035】

〔実施例３〕
実施例２で使用したセンサを使用して、干渉ガスに対する耐久性を調べた。干渉ガスはヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳ）１ｐｐｍを使用し、ＨＭＤＳに０〜６０分間暴露させた後に、メタンガス（２５％ＬＥＬ）に対する検出素子１０のガス感度に変動が生じるかを調べた。劣化率は、ＨＭＤＳ暴露からの経過時間０分の検出素子１０の劣化率を０％として算出した。印加電圧を１．５Ｖとし、間欠駆動はオン時間を１秒とし、オフ時間を１４秒とした。結果を図４に示した。

【0036】

この結果、比較例のセンサは、ＨＭＤＳに６０分間暴露した後の劣化率は２０％以上であったのに対して、本発明例１のセンサは、ＨＭＤＳに６０分間暴露した後の劣化率は１０％程度であった。従って、本発明例１のセンサのように、検出素子側空間部Ｓ１の容積を小さくすることで、耐久性が向上するものと認められた。

【0037】

〔実施例４〕
実施例１で作製した接触燃焼式ガスセンサＸにおいて、検出素子側開口部４１ｂの孔径を０．５ｍｍとし、検出素子側空間部Ｓ１の容積を２．９ｍｍ^３、４．２ｍｍ^３、６．５ｍｍ^３、１０．５ｍｍ^３、１４．６ｍｍ^３としたセンサをそれぞれ作製した（本発明例２〜６）。比較例として、検出素子および補償素子を別異のキャップに収容し、検出素子側空間部の容積を１２７ｍｍ^３とし、孔径を０．５ｍｍとした接触燃焼式ガスセンサを使用した。

【0038】

これら本発明例２〜６のセンサおよび比較例のセンサにおいて、メタンガス濃度/％ＬＥＬとガス感度ΔＶ/ｍＶの関係について調べた。印加電圧を１．５Ｖとし、間欠駆動はオン時間を１秒とし、オフ時間を１４秒とした。結果を図５に示した。

【0039】

この結果、本発明例２〜６については同様の結果が得られたが、比較例については本発明例２〜６とは異なる傾向となる結果が得られた。即ち、本発明例２〜６については、メタンガス濃度によるガス感度の変動が、比較例に比べて小さいものと認められた。また、本発明例２〜６については同様の結果が得られているため、これらの検出素子側空間部Ｓ１の容積範囲で出力が安定していると考えられた。

【0040】

また、本発明例３，５，６において、干渉ガス（ヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳ）１０ｐｐｍ）に対する耐久性を調べた。ＨＭＤＳに０〜３時間暴露させた後に、メタンガス（２５％ＬＥＬ）に対する検出素子１０のガス感度に変動が生じるかを調べた。劣化率は、ＨＭＤＳ暴露からの経過時間０分の検出素子１０の劣化率を０％として算出した。印加電圧を１．５Ｖとし、間欠駆動はオン時間を１秒とし、オフ時間を１４秒とした。結果を図６に示した。

【0041】

この結果、本発明例３，５，６のセンサは、ＨＭＤＳに３時間暴露した後の劣化率は何れも２０％未満であった。従って、出力が安定する容積を有する本発明例のセンサにおいては、干渉ガスに対する耐久性が同等であるものと認められた。

【0042】

〔実施例５〕
キャップ部４０において、検知素子側開口部４１ｂ（補償素子側開口部４２ｂ）の長さを種々変更したものを作製し、メタンガス濃度/％ＬＥＬとガス感度ΔＶ/ｍＶの関係について調べた。検知素子側開口部４１ｂの長さは、キャップ部４０の頂部４０ｂの上面から検出素子収容部４１ａまでの寸法である。

【0043】

キャップ部４０は円柱状（直径１１．３ｍｍ、高さ６ｍｍ）に形成し、検知素子側開口部４１ｂおよび補償素子側開口部４２ｂの孔径を０．５ｍｍとし、検出素子側空間部Ｓ１の容積を４．２ｍｍ^３とし、さらにガス感応部１０ａの直径を０．３ｍｍ程度となるようにそれぞれ設定した。検知素子側開口部４１ｂの長さは、０．５ｍｍ、１．０ｍｍ、２．０ｍｍ、５．０ｍｍとした（本発明例７〜１０）。
印加電圧を１．５Ｖとし、間欠駆動はオン時間を１秒とし、オフ時間を１４秒とした。結果を図７に示した。

【0044】

この結果、本発明例７〜１０において、ガス濃度が上昇するに従い、ガス感度も良好に上昇するものと認められた。本発明例７，８（０．５〜１．０ｍｍ）であれば特に良好なガス感度を有することが判明した。

【0045】

また、本発明例７〜１０において、実施例４の手法に準じて干渉ガス（ヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳ）１０ｐｐｍ）に対する耐久性を調べた。結果を図８に示した。

【0046】

この結果、本発明例７〜１０のセンサは、ＨＭＤＳに３時間暴露した後の劣化率は何れも４０％未満であった。本発明例９，１０（２．０〜５．０ｍｍ）であれば特に良好な耐久性を有することが判明した。

【0047】

このように感度特性および暴露試験の結果、検知素子側開口部４１ｂの長さは、０．５〜５．０ｍｍであればセンサ性能に影響を与えるものではないと認められた。また両試験結果から、検知素子側開口部４１ｂの長さが１．０〜２．０ｍｍの範囲であれば、感度特性および耐久性のバランスがよく、特に優れていると認められた。尚、本実施例においてガス感応部１０ａの直径を０．２ｍｍとした場合であっても、同様の結果が得られた（データは示さない）。

【0048】

〔実施例６〕
キャップ部４０において、検知素子側開口部４１ｂ（補償素子側開口部４２ｂ）の開口径を種々変更したものを作製し、メタンガス濃度/％ＬＥＬとガス感度ΔＶ/ｍＶの関係について調べた。

【0049】

キャップ部４０は円柱状（直径１１．３ｍｍ、高さ６ｍｍ）に形成し、検知素子側開口部４１ｂおよび補償素子側開口部４２ｂの長さを１．０ｍｍとし、検出素子側空間部Ｓ１の容積を４．２ｍｍ^３とし、さらにガス感応部１０ａの直径を０．３ｍｍ程度となるようにそれぞれ設定した。検知素子側開口部４１ｂの開口径は、０．５ｍｍ、０．６ｍｍ、０．７ｍｍ、０．８ｍｍ、０．９ｍｍ、１．０ｍｍとした（本発明例１１〜１６）。
印加電圧を１．５Ｖとし、間欠駆動はオン時間を１秒とし、オフ時間を１４秒とした。結果を図９に示した。

【0050】

この結果、本発明例１１〜１６において、ガス濃度が上昇するに従い、ガス感度も良好に上昇するものと認められた。また、開口径が大きくなるに従い、ガス感度が大きくなることが判明した。

【0051】

また、本発明例１１〜１６において、実施例４の手法に準じて干渉ガス（ヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳ）１０ｐｐｍ）に対する耐久性を調べた。結果を図１０に示した。

【0052】

この結果、本発明例１１〜１６のセンサは、ＨＭＤＳに３時間暴露した後の劣化率は何れも７０％未満であった。また、開口径が大きくなるに従い、劣化率が大きくなることが判明した。

【0053】

このように感度特性および暴露試験の結果、検知素子側開口部４１ｂの開口径は、０．５〜１．０ｍｍであればセンサ性能に影響を与えるものではないと認められた。従って、開口径が０．５〜１．０ｍｍの範囲となるように、被検知ガスに適した範囲を選択するとよい。即ち、開口径は０．５〜１．０ｍｍの範囲で被検知ガスによって適宜変更するように運用することが可能である。例えばメタン用のセンサの場合には開口径を０．５〜０．７ｍｍとし、イソブタン用のセンサの場合には１．０ｍｍとすることが可能である。

【0054】

尚、本実施例においてガス感応部１０ａの直径を０．２ｍｍとした場合であっても、同様の結果が得られた（データは示さない）。

【産業上の利用可能性】

【0055】

本発明は、可燃性ガスと感応する検出素子および補償素子を並列接続してある接触燃焼式ガスセンサに利用できる。

【符号の説明】

【0056】

Ｘ 接触燃焼式ガスセンサ
１０ 検出素子
２０ 補償素子
３０ 基板部
４０ キャップ部
４１ａ 検出素子収容部
４１ｂ 検出素子側開口部
４２ａ 補償素子収容部
４２ｂ 補償素子側開口部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】