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特開2015-195085プラズマ状態検出装置、その方法及びプログラム
発明の名称 プラズマ状態検出装置、その方法及びプログラム
出願人 学校法人福岡大学 （識別番号 598015084）
特許公開件数ランキング 1908 位（16件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 995 位（23件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社アドバンテスト （識別番号 390005175）
特許公開件数ランキング 512 位（52件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 810 位（26件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2015-195085
公報発行日 2015年11月5
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-195085
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