【課題】印刷充填不良を防止し、工程コストを下げることができるとともに、工程時間を短縮し、生産性を向上させることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】本発明のスクリーン印刷装置1000は、印刷物質30を混錬するニーディングプレート10を待機させるニーディングプレート待機部100と、基板20を搬入して待機させる基板待機部200と、ニーディングプレート10または基板20を吸着し、側面にクランプが配置される印刷テーブル310、印刷テーブル310の上部で離隔して対向し、印刷テーブル310上に印刷物質30を供給する供給装置320および印刷物質30を印刷するスキージ330を有する印刷部300と、印刷部300で印刷を終了した基板20を搬入して外部に排出する基板排出部400と、を含むものである。
前記基板および前記ニーディングプレートの移動を容易にするピックアンドプレースモジュール(Pick and Place module)をさらに含む、請求項1に記載のスクリーン印刷装置。
前記ニーディングプレートを載置する段階の前に、前記印刷物質を前記印刷テーブルの側面に配置されたクランプ上に供給する段階をさらに含む、請求項13に記載のスクリーン印刷方法。
前記ニーディングプレートを前記印刷テーブル上に載置する段階および前記印刷テーブルから除去する段階において、前記ニーディングプレートが待機するニーディングプレート待機部と前記印刷物質を混錬する印刷部を往復移動するピックアンドプレースモジュールにより移動が行われる、請求項13に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は、印刷物質の供給および混錬の繰り返しにより、印刷物質の好適な粘度を維持して印刷することができる装置を提供することを目的とする。
【0007】
また、資材の移動を容易にするモジュールにより、資材が各工程状況に適合するように自在に移動するようにして工程時間を短縮し、印刷方法における効率性を高めた装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明によるスクリーン印刷装置は、印刷物質を混錬するニーディングプレート(Kneading Plate)を待機させるニーディングプレート待機部と、基板を搬入して待機させる基板待機部と、前記ニーディングプレートまたは前記基板を吸着し、側面にクランプが配置される印刷テーブル、前記印刷テーブルの上部で離隔して対向し、前記印刷テーブル上に印刷物質を供給する供給装置および前記印刷物質を印刷するスキージ(Squeegee)を有する印刷部と、前記印刷部で印刷を終了した基板を搬入して外部に排出する基板排出部と、を含む。
【0009】
また、前記スクリーン印刷装置は、前記基板および前記ニーディングプレートの移動を容易にするピックアンドプレースモジュール(Pick and Place module)をさらに含むことができる。
【0010】
また、前記印刷テーブルは、真空吸着方式で基板またはニーディングプレートを固定させることができる。
【0011】
また、前記ニーディングプレートのサイズが、前記基板のサイズより大きいか同じであることができる。
【0012】
また、前記スキージが二つ以上設けられており、前記それぞれのスキージが独立して稼動することができる。
【0013】
また、前記スキージは、印刷方向に移動可能である。
【0014】
また、前記スキージは、両方向に移動可能である。
【0015】
また、前記スキージは、角度調節が可能である。
【0016】
また、前記クランプの幅が、前記印刷テーブルの幅と同じであるか大きいことができる。
【0017】
また、前記印刷テーブルの側面に配置されるクランプは、前記印刷テーブルの一側面または両側面に配置可能である。
【0018】
また、前記クランプは、前記スキージの印刷方向に形成されることができる。
【0019】
また、前記印刷物質は、はんだペースト、フラックスまたはその両方であることができる。
【0020】
本発明によるスクリーン印刷方法は、側面にクランプが配置された印刷テーブル上にニーディングプレートを載置する段階と、前記印刷テーブルの上部で離隔して対向する供給装置が、前記クランプ上に印刷物質を供給する段階と、前記印刷テーブルの上部で離隔して対向するスキージを用いて、前記ニーディングプレート上で前記印刷物質を混錬する段階と、前記混錬された印刷物質を前記クランプ上に集める段階と、前記ニーディングプレートを印刷テーブルから除去する段階と、前記印刷テーブルに基板を載置する段階と、を含む。
【0021】
また、前記ニーディングプレートを載置する段階の前に、前記印刷物質を前記印刷テーブルの側面に配置されたクランプ上に供給する段階をさらに含むことができる。
【0022】
また、前記ニーディングプレートを前記印刷テーブル上に載置する段階および前記印刷テーブルから除去する段階において、前記ニーディングプレートが待機するニーディングプレート待機部と前記印刷物質を混錬する印刷部を往復移動するピックアンドプレースモジュールにより移動が行われることができる。
【0023】
また、前記印刷テーブルの側面に配置されるクランプは、前記印刷テーブルの一側面または両側面に配置可能である。
【0024】
また、前記基板を載置する段階の後に、前記基板上に前記スキージにより前記混錬された印刷物質を印刷する段階をさらに含むことができる。
【0025】
また、前記印刷物質は、はんだペースト、フラックスまたはその両方であることができる。
【0026】
また、前記基板は、印刷面に印刷用開口部が形成されたマスクを含むことができる。
【0027】
また、前記印刷テーブルは、真空吸着方式で基板またはニーディングプレートを固定させることができる。
【0028】
また、前記ニーディングプレートのサイズが、前記基板のサイズより大きいか同じであることができる。
【0029】
また、前記クランプの幅が、前記印刷テーブルの幅と同じであるか大きいことができる。
【0030】
また、前記印刷テーブルの側面に配置されるクランプは、前記印刷テーブルの一側面または両側面に配置可能である。
【0031】
また、前記クランプは、前記スキージの印刷方向に形成されることができる。
【発明の効果】
【0032】
本発明によるスクリーン印刷装置は、印刷物質を好適な粘度に維持することができる構成を含むことで、印刷充填不良を防止することができる。
【0033】
また、印刷物質に必要な物質を繰り返して供給して再使用することで印刷物質の廃棄量を減少させることができ、これにより工程コストを下げることができる。
【0034】
また、資材の移動をピックアンドプレースモジュールを用いて行うことで、資材が各工程状況に適合するように自在に移動するようにして、工程時間を短縮し、生産性を向上させることができる。
【発明を実施するための形態】
【0036】
本発明の目的、特定の長所および新規の特徴は、添付図面に係る以下の詳細な説明および好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。また、「一面」、「他面」、「第1」、「第2」などの用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別するために用いられるものであり、構成要素が前記用語によって限定されるものではない。以下、本発明を説明するにあたり、本発明の要旨を不明瞭にする可能性がある係る公知技術についての詳細な説明は省略する。
【0037】
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。
【0038】
(スクリーン印刷装置)
図1は、本発明によるスクリーン印刷装置1000の構造を概略的に示す図である。
【0039】
図2は、本発明によるスクリーン印刷装置1000の印刷部300を概略的に示す図である。
【0040】
図3は、本発明によるスクリーン印刷装置1000のピックアンドプレースモジュール500を概略的に示す図である。
【0041】
ここで、
図1および
図2を参照すると、本発明によるスクリーン印刷装置1000は、印刷物質30を混錬するニーディングプレート10(Kneading Plate)を待機させるニーディングプレート待機部100と、基板20を搬入して待機させる基板待機部200と、ニーディングプレート10または基板20を吸着し、側面にクランプ310aが配置される印刷テーブル310、印刷テーブル310の上部で離隔して対向し、印刷テーブル310上に印刷物質30を供給する供給装置320および印刷物質30を印刷するスキージ330(Squeegee)を有する印刷部300と、印刷部300で印刷を終了した基板20を搬入して外部に排出する基板排出部400と、を含む。
【0042】
本発明の装置内には、ニーディングプレート待機部100と、基板待機部200と、印刷部300と、基板排出部400とが配置される。
【0043】
ここで、各部分を自在に直線往復できるように設けられた直線運動ガイド600が装置内に形成される。直線運動ガイド600は、装置の上面部に形成されることが好ましいが、装置内の各部分を自在に移動することに制約がなければいずれのところに形成してもよく、設置場所は特に制約されない。
【0044】
直線運動ガイド600は、装置内のピックアンドプレースモジュール500が基板20またはニーディングプレート10を運搬することができるように形成されたものである。ピックアンドプレースモジュール500が直線平行運動できるように、ニーディングプレート待機部100、基板待機部200、印刷部300、基板排出部400の全工程にわたり直線状に形成されている。
【0045】
ここで、
図3を参照すると、直線運動ガイド600と結合して駆動されるピックアンドプレースモジュール500は、ニーディングプレート10および基板20のような板状の資材を各工程に応じて自在に運搬することができる。
【0046】
これにより、スクリーン印刷装置1000内に必須に形成されたコンベアを選択的に配置することができ、スクリーン印刷装置1000の大きさを設計者の運用に適合するように作製することで空間の制約を受けないことができるという利点がある。
【0047】
ピックアンドプレースモジュール500は、ニーディングプレート10または基板20を吸着して移動することができ、直線平行運動が可能であり、上下部に資材を運搬することができる。
【0048】
ニーディングプレート待機部100は、ニーディングプレート10が待機する部分である。
【0049】
ニーディングプレート10は、ピックアンドプレースモジュール500により、主に、ニーディングプレート待機部100と印刷部300に移動する。
【0050】
ニーディングプレート10は、印刷物質30を混錬するための構成であって、基板20のサイズと同じであるか大きいサイズを有していてもよい。
【0051】
ニーディングプレート10が印刷部300に移動すると印刷テーブル310に固定され、ニーディングプレート10上でスキージ330により印刷物質30を仮印刷することで、印刷物質30を混錬することができる。
【0052】
基板待機部200は、被印刷基板20が外部から搬入されて待機する部分である。
【0053】
基板20は、基板待機部200で待機した後、印刷部300で印刷される。
【0054】
印刷を終了した基板20は、印刷部300から基板排出部400に搬入および待機してから排出されて、印刷した物質をリフローする熱工程ラインに移動する。
【0055】
この際、基板20は、基板待機部200、印刷部300、基板排出部400を自在に移動することができ、これは、ピックアンドプレースモジュール500により移動可能となる。
【0056】
ここで、基板20は、絶縁層に接続パッドを含む1層以上の回路が形成された回路基板であって、好ましくは、プリント回路基板であってもよい。
【0057】
絶縁層としては、樹脂絶縁層が用いられてもよい。樹脂絶縁層としては、エポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂、ポリイミドのような熱可塑性樹脂、またはこれらにガラス繊維または無機フィラーのような補強材が含浸した樹脂、例えば、プリプレグが用いられてもよく、また、熱硬化性樹脂および/または光硬化性樹脂などが用いられてもよく、特にこれに限定されるものではない。
【0058】
接続パッドを含む回路は、回路基板分野において回路用伝導性金属として用いられるものであれば制限なく適用することができ、プリント回路基板では銅を使用することが一般的である。
【0059】
印刷部300は、側面にクランプ310aが配置される印刷テーブル310と、印刷テーブル310の上部で離隔して対向する駆動軸340に結合した供給装置320と、スキージ330と、を含む。
【0060】
印刷テーブル310は、真空吸着方式で基板20またはニーディングプレート10を固定させることができる。また、印刷テーブル310の側面には、クランプ310aを配置することができ、一側面または両側面に形成可能である。
【0061】
クランプ310aは、印刷テーブル310の側面に形成され、後述するスキージ330の印刷方向に形成することができる。
【0062】
また、クランプ310aの幅と高さは、印刷テーブル310の幅と高さと同じであるか大きく形成することができ、印刷テーブル310の幅とそれほど相違せず、スキージ330の印刷を容易にする。
【0063】
印刷テーブル310の上部に離隔して対向する駆動軸340には、供給装置320およびスキージ330が結合している。
【0064】
この際、供給装置320は、印刷物質30を供給する装置であって、直線に往復移動が可能で所望する部分に印刷物質30を供給することができる。本発明では、印刷テーブル310の側面に配置されたクランプ310a上に印刷物質30が供給された図面が提示されているが、印刷物質30が供給される位置はこれに限定されない。
【0065】
この際、供給装置320から供給される印刷物質30は、フラックスおよび/またははんだペーストであってもよく、印刷を容易にする粘度を維持するためにそれに適合する物質が供給される。
【0066】
また、供給装置320で補充された印刷物質30を均一に混錬するためには、ニーディングプレート待機部100で待機するニーディングプレート10が印刷部300の印刷テーブル310に載置されて、ニーディングプレート10上でスキージ330により仮印刷される駆動方式で混錬することができる。
【0067】
既存に基板20に印刷されてから残って粘度が変わった印刷物質30と新たに補充された印刷物質30が均一に混合されるように約3〜5回程度印刷を行ってもよく、このように均一に混合された印刷物質30は、印刷テーブル310のクランプに集めてまた基板20における印刷作業に用いられる。
【0068】
運用者は、供給装置320の印刷物質30を自動補充するように装置を設定することができ、印刷物質30の自動補充を所定の回数に設定するために電力線通信プログラム(Power Line Communication Program)を使用することができる。
【0069】
また、スキージ330は、印刷物質30を印刷する装置内の構成であって、二つ以上設けられることができ、それぞれのスキージ330は独立して稼動することができる。
【0070】
この際、スキージ330は、印刷方向に往復移動することができる。
【0071】
スキージ330の材料は、互いに異なるか同じであってもよく、スキージ330は、角度調節が容易になるように作製することができる。
【0072】
基板排出部400は、印刷部300で印刷を終了した基板20が搬入される場所であって、基板20は、ピックアンドプレースモジュール500によって印刷部300から基板排出部400に運搬することができる。
【0073】
印刷された基板20が搬入されてから待機し、次の工程に排出される部分である。
【0074】
かかるスクリーン印刷装置1000は、印刷物質30の好適な粘度を維持して使用するための供給装置320と、ニーディングプレート10とを含んでおり、印刷充填不良を防止することができる。
【0075】
また、印刷物質30に必要な物質を繰り返して供給して再使用することで、印刷物質30の廃棄量を減少させることができ、これにより工程コストを下げることができる。
【0076】
また、資材の移動をピックアンドプレースモジュール500を用いて行うことで、資材が各工程状況に適合するように自在に移動するようにして、工程時間を短縮し、生産性を向上させることができる。
【0077】
(スクリーン印刷方法)
図4は、本発明によるスクリーン印刷方法を概略的に示すフローチャートである。
【0078】
図5から
図13は、本発明によるスクリーン印刷方法を概略的に示す工程手順図である。
【0079】
本発明によるスクリーン印刷方法は、側面にクランプ310aが配置された印刷テーブル310上にニーディングプレート10を載置する段階と、印刷テーブル310の上部で離隔して対向する供給装置320がクランプ310a上に印刷物質30を供給する段階と、印刷テーブル310の上部で離隔して対向するスキージ330を用いてニーディングプレート10上で印刷物質30を混錬する段階と、混錬された印刷物質30をクランプ310a上に集める段階と、ニーディングプレート10を印刷テーブル310から除去する段階と、印刷テーブル310に基板20を載置する段階と、を含む。
【0080】
まず、
図4のフローチャートを参照すると、開始段階から印刷に至る流れは、被印刷基板20が外部から搬入されて基板待機部200で待機し、ピックアンドプレースモジュール500に運搬されて印刷部300の印刷テーブル310に載置される。
【0081】
このように印刷された基板20は、枚数ごとに供給装置320を介してフラックスおよび/またははんだペーストを自動補充することができる。
【0082】
枚数は、20枚、30枚、40枚であってもよく、かかる数値は本発明において限定しない。
【0083】
次に、ニーディングプレート待機部100で待機するニーディングプレート10は、ピックアンドプレースモジュール500により運搬されて、印刷部300の印刷テーブル310に載置される。
【0084】
印刷テーブル310に真空吸着されて固定されたニーディングプレート10上で基板20の印刷後に粘度が変化した印刷物質30と補充された印刷物質30が混合されるようにスキージ330で仮印刷して混錬する。
【0085】
このように、基板20印刷後に粘度が変わった印刷物質30を維持するように印刷部300にニーディングプレート10が投入され、印刷物質30を混錬した後、このように混錬された印刷物質30をまた基板20に印刷する繰り返した流れをフローチャートを参照して確認することができる。
【0086】
この際、フローチャートの最後の段階であり、基板20の印刷段階の前に繰り返す工程について、
図5から
図13(
図1)を参照して順に説明する。
【0087】
図5は、印刷部300を概略的に示す図であり、印刷部300は、側面にクランプ310aが配置される印刷テーブル310と、印刷テーブル310の上部で離隔して対向する駆動軸340に結合した供給装置320と、スキージ330と、を含む。
【0088】
印刷テーブル310は、真空吸着方式で基板20またはニーディングプレート10を固定することができる。また、印刷テーブル310の側面には、クランプ310aを配置することができ、一側面または両側面に形成可能である。
【0089】
クランプ310aは、印刷テーブル310の側面に形成され、後述するスキージ330の印刷方向に形成することができる。
【0090】
また、クランプ310aの幅と高さは、印刷テーブル310の幅と高さと同じであるか大きく形成することができ、印刷テーブル310の幅とそれほど相違せず、スキージ330の印刷を容易にする。
【0091】
印刷テーブル310の上部に離隔して対向する駆動軸340には、供給装置320およびスキージ330が結合している。
【0092】
この際、供給装置320は、印刷物質30を供給する装置であって、直線に往復移動が可能で所望する部分に印刷物質30を供給することができる。本発明では、印刷テーブル310の側面に配置されたクランプ310a上に印刷物質30が供給された図面が提示されているが、印刷物質30が供給される位置はこれに限定されない。
【0093】
この際、供給装置320から供給される印刷物質30は、フラックスおよび/またははんだペーストであってもよく、印刷を容易にする粘度を維持するためにそれに適合する物質が供給される。
【0094】
また、供給装置320で補充された印刷物質30を均一に混錬するためには、ニーディングプレート待機部100で待機するニーディングプレート10が印刷部300の印刷テーブル310に載置されて、ニーディングプレート10上でスキージ330により仮印刷される駆動方式で混錬することができる。
【0095】
既存に基板20に印刷されてから残って粘度が変わった印刷物質30と新たに補充された印刷物質30が均一に混合されるように約3〜5回程度印刷を行ってもよく、このように均一に混合された印刷物質30は、印刷テーブル310のクランプに集めてまた基板20における印刷作業に用いられる。
【0096】
運用者は、供給装置320の印刷物質30を自動補充するように装置を設定することができ、印刷物質30の自動補充を所定の回数に設定するために電力線通信プログラム(Power Line Communication Program)を使用することができる。
【0097】
また、スキージ330は、印刷物質30を印刷する構成であって、二つ以上設けられることができ、それぞれのスキージ330は独立して稼動することができる。
【0098】
この際、スキージ330は、印刷方向に往復移動することができる。
【0099】
スキージ330の材料は、互いに異なるか同じであってもよく、スキージ330は、角度調節が容易になるように形成することができる。
【0100】
本図面は、ニーディングプレート10が投入される前を示す図であり、ニーディングプレート10は、ピックアンドプレースモジュール500により、ニーディングプレート待機部100で吸着されて印刷部300に移動させる。
【0101】
図6を参照すると、ピックアンドプレースモジュール500により、ニーディングプレート10をニーディングプレート待機部100から印刷部300の印刷テーブル310に載置させる。
【0102】
ニーディングプレート10は、印刷テーブル310に真空吸着方式で固定されており、継続した基板20の印刷によって粘度が変わった印刷物質30は、クランプ310a上に待機している。
【0103】
この際、印刷物質30は、後述する混錬過程の前段階であって、粘度が高くて印刷物質30のローリングが困難であるか、粘度が低くて薄い状態であることがある。
【0104】
印刷テーブル310に載置されたニーディングプレート10のサイズは、印刷される基板20のサイズより大きいか同じであってもよい。
【0105】
図7を参照すると、印刷物質30に他の印刷物質30が補充されるが、この際、補充される印刷物質30は、フラックスおよび/またははんだペーストであってもよい。
【0106】
印刷に適する粘度を維持するための印刷物質30として選択されて補充することができる。
【0107】
印刷物質30の粘度が高すぎる場合には、印刷物質30がローリングされなくて印刷充填不良を起こすことがあり、粘度が低くて薄くなる場合には、伸びの問題および印刷結果にバラツキが生じるため、好適な粘度を維持して印刷することが重要である。
【0108】
図8を参照すると、ニーディングプレート10が印刷テーブル310に載置される前にクランプ310a上に集まった印刷物質30と、
図7の供給装置320によって補充される印刷物質30とが混錬される。
【0109】
ここで、ニーディングプレート10が載置される前の印刷物質30がはんだペーストであってもよく、供給装置320によって補充される印刷物質30がフラックスであってもよい。
【0110】
しかし、本発明では、印刷物質30は、いずれか一つに限定されず、フラックス、はんだペーストまたはその両方であってもよい。
【0111】
スキージ330は、印刷物質30で覆われたニーディングプレート10上で印刷方向に往復移動しながら印刷物質30を仮印刷する。
【0112】
スキージ330を印刷方向に摺動させて仮印刷することで、印刷物質30を均一に混合することができる。
【0113】
図9から
図11を参照すると、ニーディングプレート10上で印刷物質30を印刷に適する粘度に混錬した後、印刷物質30をスキージ330により集めてクランプ310aに移す。
【0114】
次に、ピックアンドプレースモジュール500を用いて、印刷テーブル310上に載置されたニーディングプレート10を持ち上げてニーディングプレート待機部100に移す。
【0115】
図12を参照すると、ピックアンドプレースモジュール500を用いて、基板待機部200に存在した被印刷基板20を印刷テーブル310に運搬する。
【0116】
印刷テーブル310は、真空吸着方式で基板20を固定することができる。
【0117】
基板20は、絶縁層に接続パッドを含む1層以上の回路が形成された回路基板であって、好ましくは、プリント回路基板であってもよい。
【0118】
絶縁層としては、樹脂絶縁層が用いられてもよい。樹脂絶縁層としては、エポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂、ポリイミドのような熱可塑性樹脂、またはこれらにガラス繊維または無機フィラーのような補強材が含浸した樹脂、例えば、プリプレグが用いられてもよく、また、熱硬化性樹脂および/または光硬化性樹脂などが用いられてもよく、特にこれに限定されるものではない。
【0119】
接続パッドを含む回路は、回路基板分野において回路用伝導性金属として用いられるものであれば制限なく適用することができ、プリント回路基板では銅を使用することが一般的である。
【0120】
また、基板20は、印刷面に印刷用開口部が形成されたマスクを含むことができる。
【0121】
この際、マスクがレジストパターンである場合、マスクを形成する段階は、基板20にレジストを積層する段階と、レジストにバンプ形成用開口部に対応するバンプ形成用ホールを形成して接続パッドを露出する段階と、を含むことができる。
【0122】
ここで、バンプ形成用ホールは、露光および現像を含むフォトリソグラフィ工法によって形成することができ、レジストは、ライフィルム(Dry−Film;DF)であってもよい。
【0123】
図13を参照すると、印刷に適する粘度で混錬されてクランプ310a上に集まった印刷物質30を基板20に運搬してスキージ330で印刷する。
【0124】
スキージ330は、印刷物質30を印刷する装置内の構成であって、二つ以上設けることができ、それぞれのスキージ330は独立して稼動することができる。
【0125】
この際、スキージ330は、印刷方向に往復移動することができる。
【0126】
スキージ330の材料は、互いに異なるか同じであってもよく、スキージ330は、角度調節が容易になるように作製することができる。
【0127】
かかるスクリーン印刷方法は、印刷物質30を好適な粘度を維持して使用するために印刷物質30を補充し、均一に混錬して使用することで、印刷充填不良が生じることを防止する効果がある。
【0128】
また、印刷物質30に必要な物質を繰り返して供給して再使用することで印刷物質30の廃棄量を減少させることができ、これにより工程コストを下げることができる。
【0129】
また、資材の移動をピックアンドプレースモジュール500を用いて行うことで、ニーディングプレート10または基板20が各工程状況に適合するように自在に移動するようにして工程時間を短縮し、生産性を向上させることができる。
【0130】
以上、本発明を具体的な実施例に基づいて詳細に説明したが、これは本発明を具体的に説明するためのものであり、本発明はこれに限定されず、該当分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想内にての変形や改良が可能であることは明白であろう。
【0131】
本発明の単純な変形乃至変更はいずれも本発明の領域に属するものであり、本発明の具体的な保護範囲は添付の特許請求の範囲により明確になるであろう。