特開 2015-196569 搬送装置及び天井走行車

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2015-196569(P2015-196569A)

(43)【公開日】2015年11月9日

(54)【発明の名称】搬送装置及び天井走行車

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/00 20060101AFI20151013BHJP

   B61B 3/02 20060101ALI20151013BHJP

   B61B 13/00 20060101ALI20151013BHJP

【ＦＩ】

   B65G1/00 501C

   B61B3/02 B

   B61B13/00 A

【審査請求】有

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-75311(P2014-75311)

(22)【出願日】2014年4月1日

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(72)【発明者】

【氏名】小林 誠

【テーマコード（参考）】

3D101

3F022

【Ｆターム（参考）】

3D101BA05

3D101BB05

3D101BB16

3D101BB36

3D101BB39

3D101BB49

3F022AA08

3F022BB09

3F022CC02

3F022EE05

3F022JJ11

3F022KK11

3F022LL12

3F022MM51

3F022NN02

(57)【要約】

【課題】物品に伝わる振動を低減しつつ、物品を水平に維持することができる搬送装置及び天井走行車を提供する。
【解決手段】搬送装置１０は、ＦＯＵＰ５０を保持する保持装置１１を備え、保持装置１１は、ＦＯＵＰ５０を下方から支持する少なくとも一対のハンド１３を備え、ハンド１３は、本体部２０と、本体部２０に対して防振部３６を介して設けられ、ＦＯＵＰ５０を支持する支持部４０と、を備えている。防振部３６は、支持部４０に加わる荷重が第１の荷重よりも大きいときに作用する第１の防振材３３と、支持部４０に加わる荷重が第１の荷重よりも大きい第２の荷重以上のときに作用する第２の防振材３５と、を有する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品を保持する保持装置を備えた搬送装置であって、
前記保持装置は、前記物品を下方から支持する少なくとも一対の支持機構を備え、
前記支持機構は、
本体部と、
前記本体部に対して防振部を介して設けられ、前記物品を支持する支持部と、を備え、
前記防振部は、
前記支持部に加わる荷重が第１の荷重よりも大きいときに作用する第１の防振材と、
前記支持部に加わる荷重が前記第１の荷重よりも大きい第２の荷重以上のときに作用する第２の防振材と、を有することを特徴とする搬送装置。

【請求項2】

前記第２の防振材は、前記支持部に加わる荷重が前記第２の荷重より小さいときには前記支持部又は前記本体部のいずれか一方のみに接していることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記物品は、前記支持機構によって支持されるフランジを上部に備え、
前記物品の重心位置は、平面視において前記フランジの中心位置から一方側にずれており、
前記支持機構は、前記物品を支持する状態において、前記一方側とは反対側に前記防振部を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送装置。

【請求項4】

請求項１〜３のいずれか一項に記載の搬送装置を備えたことを特徴とする天井走行車。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送装置及び天井走行車に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、物品を支持するための保持装置を有する搬送装置及びそのような搬送装置を備えた天井走行車が知られている。例えば、特許文献１には、物品の上部に設けられたフランジを支持するための支持機構（チャック）を有する搬送装置を昇降台として備える天井走行車が示されている。この搬送装置（天井走行車）では、チャックの上面において物品のフランジと接触する部分に制振材としての粘弾性体が設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６−２９８５３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に示された搬送装置では、チャックの上面の所定位置に対して制振材が一様に設けられた構成となっている。そのため、チャックによって支持される物品の質量が変動する場合など、制振材に対する負荷が変化するときに適切に対応できない虞があり、さらなる改善の余地があった。また、物品の重心が偏っている場合に、制振材の沈み込みが不均一となり、物品の水平を維持できない虞があった。

【0005】

本発明は、物品に伝わる振動を低減しつつ、物品を水平に維持することができる搬送装置及び天井走行車を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る搬送装置は、物品を保持する保持装置を備えた搬送装置であって、保持装置は、物品を下方から支持する少なくとも一対の支持機構を備え、支持機構は、本体部と、本体部に対して防振部を介して設けられ、物品を支持する支持部と、を備え、防振部は、支持部に加わる荷重が第１の荷重よりも大きいときに作用する第１の防振材と、支持部に加わる荷重が第１の荷重よりも大きい第２の荷重以上のときに作用する第２の防振材と、を有する。

【0007】

この搬送装置では、物品を支持する支持部が、本体部に対して防振部を介して設けられている。そのため、本体部の振動が防振材によって吸収されるため、物品に伝わる振動が低減される。そして、防振部は、第１の荷重より大きいときに作用する第１の防振材と、第１の荷重よりも大きい第２の荷重以上のときに作用する第２の防振材とを備えている。例えば、物品の重心が偏っていることにより、支持部に加わる荷重が場所によって相違するとしても、荷重が小さい場合には第１の防振材のみが作用し、荷重が大きい場合には第１の防振材に加えて第２の防振材が作用する。これにより、防振部の沈み込みが不均一になることが抑制され、物品の水平を維持しやすくなる。以上の構成により、この搬送装置では、物品に伝わる振動を低減しつつ、物品を水平に維持することができる。

【0008】

一実施形態においては、第２の防振材は、支持部に加わる荷重が第２の荷重より小さいときには支持部又は本体部のいずれか一方のみに接していてもよい。これによれば、支持部に第２の荷重以上の荷重が加わるまでは、本体部と支持部とが第２の防振材を介して接続されることがない。そのため、簡単な構成で、第２の防振材を第２の荷重以上のときのみに作用させることができる。

【0009】

一実施形態においては、物品は、支持機構によって支持されるフランジを上部に備え、物品の重心位置は、平面視においてフランジの中心位置から一方側にずれており、支持機構は、物品を支持する状態において、一方側とは反対側に防振部を有していてもよい。物品の重心位置がフランジの中心位置から一方側にずれている場合、フランジが支持部によって支持されると、物品は重心のある一方側に傾くことになる。このような場合であっても、物品の重心と反対側に第１の防振材及び第２の防振材が設けられているため、物品の水平を維持しやすくなる。

【0010】

また、本発明に係る天井走行車は、搬送装置を備えている。この天井走行車では、搬送装置によって、物品に伝わる振動を低減しつつ、物品を水平に維持することができるため、物品の揺れを抑え、物品をより確実に搬送することができる。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、物品に伝わる振動を低減しつつ、物品を水平に維持することができる搬送装置及び天井走行車を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】ＦＯＵＰを示す斜視図である。

【図2】一実施形態に係る天井走行車を示す正面図である。

【図3】（ａ）は、搬送装置の支持機構を示す斜視図であり、（ｂ）は、搬送装置の支持機構を示す分解斜視図である。

【図4】（ａ）は、搬送装置の支持機構を示す正面図であり、（ｂ）は、搬送装置の支持機構を示す背面図である。

【図5】搬送装置の支持機構によって物品が支持された状態を模式的に示す平面図である。

【図6】（ａ）及び（ｂ）は、物品を支持したときの支持機構の沈み込み量を模式的に示した図であり、（ｃ）及び（ｄ）は、比較例において、物品を支持したときの支持機構の沈み込み量を模式的に示した図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態について詳細に説明する。便宜上、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。なお、本実施形態では、本発明に係る搬送装置をＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）を搬送する天井走行車に適用した場合の一例について、天井走行車が移動する方向を左右方向とし、これに水平面内で直交する方向を前後方向として説明する。

【0014】

まず、本実施形態に係る天井走行車１（図２参照）によって搬送が行われるＦＯＵＰ（物品）５０について説明する。図１は、ＦＯＵＰ５０を示す斜視図である。図１に示されるように、ＦＯＵＰ５０は、開口部５１が前面（一側面）側に形成された容器本体５２と、この容器本体５２の開口部５１に装着される蓋体５３と、を備えている。容器本体５２の上面５５の略中央部には、ＦＯＵＰ５０を持ち上げるためのフランジ５６が上方に突出するように設けられている。容器本体５２の内側には図示しないウェハー保持手段が設けられており、ＦＯＵＰ５０内にウェハーを収容できるようになっている。また、開口部５１に蓋体５３が装着されることで、ＦＯＵＰ５０内が気密に保持されるようになっている。

【0015】

本実施形態におけるＦＯＵＰ５０では、蓋体５３の質量が比較的大きく設計されている。そのため、容器本体５２に蓋体５３が装着されている状態では、図５に示されるように、ＦＯＵＰ５０の重心位置Ｇは、平面視においてフランジ５６の中心位置Ｃから前方側（一方側）にずれている。このようなＦＯＵＰ５０の重心位置の偏りは、ＦＯＵＰ５０内にウェハーが収納されていない、空の状態で最も大きなものとなっている。ＦＯＵＰ５０内にウェハーが収納され、収納物を含む容器全体での質量が大きくなると、当該質量に占める蓋体５３の質量の割合が小さくなるため、重心位置がフランジ５６の中心位置Ｃに近付くように後方側にずれることになる。

【0016】

次に、このようなＦＯＵＰ５０を搬送するための搬送装置１０を備えた天井走行車１について説明する。図２は、天井走行車１を示した正面図である。天井走行車１は、クリーンルームの天井など、床面より高い位置に設けられる走行レール２に沿って走行するものであり、例えば保管設備のラックと所定のロードポートとの間でＦＯＵＰ５０を搬送する。

【0017】

図２に示されるように、天井走行車１は、走行駆動部３と、水平移動部５と、回転駆動部６と、昇降駆動部７と、搬送装置１０と、を有している。また、天井走行車１には、水平移動部５、回転駆動部６、昇降駆動部７及び搬送装置１０を覆うように左右に落下防止カバー８が設けられている。落下防止カバー８は、下端に形成された一対の落下防止片８ａを左右方向に進退させることにより、ＦＯＵＰ５０の落下を防止している。

【0018】

走行駆動部３は、天井走行車１を走行レール２に沿って移動させるものであり、走行レール２内に配置されている。走行駆動部３の下部には、軸３ａを介して水平移動部５が接続されている。水平移動部５は、回転駆動部６、昇降駆動部７及び搬送装置１０を水平面内で走行レール２に直交する方向に移動させる部分である。回転駆動部６は、水平面内で昇降駆動部７及び搬送装置１０を回動させる部分である。昇降駆動部７は、ベルトの巻き上げ及び繰り出しにより搬送装置１０を昇降させる部分である。なお、昇降駆動部７におけるベルトは、ワイヤ及びロープなど、適宜の吊持材を用いてもよい。本実施形態における搬送装置１０は、昇降駆動部７によって昇降可能に設けられており、天井走行車１における昇降台として機能している。

【0019】

搬送装置１０は、ＦＯＵＰ５０を把持するための保持装置１１を備えている。保持装置１１は、Ｌ字状を呈する一対のアーム１２，１２と、各アーム１２，１２に固定されたハンド（支持機構）１３，１３と、一対のアーム１２，１２を開閉させる開閉機構１５と、を備えている。

【0020】

一対のアーム１２，１２は、開閉機構１５に接続されている。開閉機構１５は、一対のアーム１２，１２を、互いに近接する方向及び互いに離間する方向に移動させる。開閉機構１５の動作により、一対のアーム１２，１２は、左右方向に進退する。これにより、アーム１２，１２に固定された一対のハンド１３，１３が開閉する。本実施形態では、一対のハンド１３，１３が開状態のときに、ハンド１３がフランジ５６の下面５６ａの高さと略同じなるように、保持装置１１（搬送装置１０）の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のハンド１３，１３が閉状態となることで、一対のハンド１３，１３によってフランジ５６が把持され、ＦＯＵＰ５０の支持が行われる。

【0021】

続いて、ハンド１３の詳細について説明する。左右に設けられる一対のハンド１３，１３は、それぞれ同様の構成であるため、正面図において左側に設けられた一方のハンド１３について説明する。図３（ａ）は、ハンド１３を示す斜視図であり、図３（ｂ）は、ハンド１３を示す分解斜視図である。また、図４（ａ）は、ハンド１３を示す正面図であり、図４（ｂ）は、ハンド１３を示す背面図である。

【0022】

図３（ａ）及び（ｂ）に示されるように、ハンド１３は、アーム１２に固定される本体部２０と、本体部２０に対して防振部３２，３６を介して設けられる支持部４０と、を備えている。防振部３２は、防振材３１によって構成されている。防振部３６は、防振材３３及び防振材３５によって構成されている。

【0023】

本体部２０は、略Ｕ字状を呈した板状部材である。本体部２０は、前後方向に延びる長辺部２１と、長辺部２１の長手方向の両端から長辺部２１の長手方向に水平面内で直交する向きに延設された短辺部２２Ｆ，２２Ｒと、を備えている。短辺部２２Ｆ，２２Ｒは、同じ方向に延設されている。

【0024】

長辺部２１の略中央には、本体部２０をアーム１２の下端に固定するための一対の固定用孔部２１ａが形成されている。本体部２０は、固定用孔部２１ａに締結部材（不図示）が締結されることで、アーム１２に固定される。また、長辺部２１の長手方向の両端側には、後述する規制フランジ４７を取り付けるための筒状部２１ｂがそれぞれ配置されている。

【0025】

長辺部２１の前方側に設けられた短辺部２２Ｆには、その上面に、防振材配置部２３Ｆが設けられている。防振材配置部２３Ｆは、一つの防振材３１が配置されるため、平坦に形成されている。防振材配置部２３Ｆに配置される防振材３１は、略直方体形状を呈しており、平面視において防振材配置部２３Ｆと略同様の大きさの長方形状となっている。

【0026】

長辺部２１の後方側に設けられた短辺部２２Ｒには、その上面に、防振材配置部２３Ｒが設けられている。防振材配置部２３Ｒは、防振材（第１の防振材）３３がそれぞれ配置される上段部２３ａ，２３ａと、防振材（第２の防振材）３５が配置される下段部２３ｂと、を備えている。詳細には、上段部２３ａ，２３ａは、短辺部２２Ｒの長さ方向において互いに離間して設けられており、下段部２３ｂは、一対の上段部２３ａ，２３ａの間に設けられている。

【0027】

上段部２３ａ及び下段部２３ｂは、それぞれ平坦に形成されている。上段部２３ａ及び下段部２３ｂは、いずれも略同じ面積を有している。下段部２３ｂの高さは、上段部２３ａよりも所定の高さだけ低く形成されている。上段部２３ａの高さと防振材配置部２３Ｆの高さとは同じ高さとなっている。また、前方側の防振材配置部２３Ｆの面積と、後方側の防振材配置部２３Ｒの総面積とは、略同じとなっており、上段部２３ａ及び下段部２３ｂの各面積は防振材配置部２３Ｒの面積の約１／３となっている。

【0028】

防振材配置部２３Ｒに配置される防振材３３，３５は、いずれも略直方体形状を呈する同形状であり、平面視において、それぞれ上段部２３ａ、下段部２３ｂに収まる大きさとなっている。防振材３３は、防振材配置部２３Ｒの上段部２３ａに配置される。防振材３５は、防振材配置部２３Ｒの下段部２３ｂに配置される。防振材３３と防振材３５とは、互いに所定の間隔をあけて配置されている。防振材３１及び防振材３３，３５は、いずれも同じ高さ寸法を有するように形成されている。これにより、防振材３１，３３，３５が配置された状態において、防振材３１の上面と防振材３３の上面とは、略同一の高さであり、防振材３５の高さのみ所定の高さだけ低くなる。本実施形態における防振材３１，３３，３５は、例えばシリコーン樹脂等によって形成されるゲル状の弾性体であり、振動や衝撃を吸収することができる。防振材３１，３３，３５は、防振材配置部２３Ｆ，２３Ｒに対して例えば接着により固定される。

【0029】

支持部４０は、本体部２０に対して、防振部３２，３６を介して設けられている。支持部４０は、防振部３２，３６に固定される一対の取付部４０Ｆ，４０Ｒと、ＦＯＵＰ５０を支持する物品支持部４５と、取付部４０Ｆ，４０Ｒ及び物品支持部４５を連結する一対の連結部４２Ｆ，４２Ｒと、を備えている。

【0030】

取付部４０Ｆは、短辺部２２Ｆの防振材配置部２３Ｆに配置された防振部３２に固定されている。取付部４０Ｆは、本体部２０における長辺部２１の前端側及び短辺部２２Ｆを覆う略Ｌ字を呈する板状部材である。図４（ａ）に示されるように、防振材３１の下面３１ａは、本体部２０の防振材配置部２３Ｆに接着されており、防振材３１の上面３１ｂは、取付部４０Ｆに接着されている。これにより、取付部４０Ｆは防振材３１を介して本体部２０に固定されることになる。

【0031】

取付部４０Ｒは、短辺部２２Ｒの防振材配置部２３Ｒに配置された防振部３６に固定されている。取付部４０Ｒは、本体部２０における長辺部２１の後端側及び短辺部２２Ｒを覆う略Ｌ字を呈する板状部材である。図４（ｂ）に示されるように、防振材３３，３５の下面３３ａ，３５ａはそれぞれ本体部２０の防振材配置部２３Ｒにおける上段部２３ａ，下段部２３ｂに接着されている。左右の防振材３３の上面３３ｂは、取付部４０Ｆに接着されているが、中央の防振材３５の上面３５ｂは、取付部４０Ｆとの間に所定の間隙が形成されている。このように、取付部４０Ｒは、防振部３６のうち左右の防振材３３，３３を介して本体部２０に固定されることになる。中央の防振材３５の上面３５ｂには、例えば、摩擦係数の低いシート（不図示）が貼付されており、防振材３５が取付部４０Ｒに接触したときに接着等することが防止されている。

【0032】

連結部４２Ｆは、取付部４０Ｆの下面側においてＬ字の内側部分に沿うように略Ｌ字形状を呈しており、取付部４０Ｆに形成された貫通孔（不図示）に対して締結部材４２ａによって固定されている。連結部４２Ｆの下面側には、物品支持部４５が締結部材４２ａによって固定されている。これにより、取付部４０Ｆ、連結部４２Ｆ及び物品支持部４５が一体に設けられ、支持部４０が本体部２０に固定されている。

【0033】

連結部４２Ｒは、取付部４０Ｒの下面側においてＬ字の内側部分に沿うように略Ｌ字形状を呈しており、取付部４０Ｒに形成された貫通孔（不図示）に対して締結部材４２ａによって固定されている。連結部４２Ｒの下面側には、物品支持部４５が締結部材４２ａによって固定されている。これにより、取付部４０Ｒ、連結部４２Ｒ及び物品支持部４５が一体に設けられ、支持部４０が本体部２０に固定されている。なお、支持部４０は、取付部４０Ｆ，４０Ｒ、連結部４２Ｆ，４２Ｒ及び物品支持部４５が一体的に形成されるものであってもよい。

【0034】

連結部４２Ｆ及び連結部４２Ｒには、互いに向かい合うようにして、それぞれ傾斜面４３Ｆ，４３Ｒが形成されている。これにより、ＦＯＵＰ５０を支持する際にフランジ５６の位置が前後方向にずれている場合であっても、フランジ５６が傾斜面４３Ｆ又は４３Ｒを滑って物品支持部４５に収まるようになる。

【0035】

物品支持部４５は、ＦＯＵＰ５０のフランジ５６の下面５６ａと接する（ＦＯＵＰ５０を下方から支持する）部分である。物品支持部４５は、短辺部２２Ｆと短辺部２２Ｒとの間に収まる平板状に形成されている。物品支持部４５の上面４５ａには、前後方向において所定の間隔をあけて、複数（ここでは２個）の防振パッド４６が設けられている。この防振パッド４６は、ＦＯＵＰ５０を支持する際の緩衝材として機能する。連結部４２Ｆ，４２Ｒは、防振部３２，３６と略同じ高さ位置に配置されているため、物品支持部４５は、本体部２０と略同一水平面内に位置する。なお、物品支持部４５には、図示しない検知手段が設けられており、検知手段によって、ＦＯＵＰ５０が適切に支持されたことが検知できるようになっている。

【0036】

図４（ａ）及び（ｂ）に示されるように、本体部２０に支持部４０が取り付けられた状態において、本体部２０に設けられた筒状部２１ｂの上端には、規制フランジ４７が取り付けられている。具体的には、取付部４０Ｆ，４０Ｒには、筒状部２１ｂに対応する位置にそれぞれ貫通孔４１が設けられており、規制フランジ４７は、貫通孔４１に挿通された筒状部２１ｂの上端に取り付けられている。規制フランジ４７の直径は、貫通孔４１の内径よりも大きい。取付部４０Ｆ，４０Ｒの上面４０ａと規制フランジ４７の下面４７ａとには、所定の間隙が形成されている。このため、本体部２０に対する支持部４０の水平方向の移動を規制することができ、また、万一防振材３１，３３，３５が破断した場合であっても、本体部２０から支持部４０が落下するのを防止することができる。また、支持部４０の沈み込みが所定値以上となった場合には、取付部４０Ｆ，４０Ｒから下方に突設された規制片４０ｂが本体部２０の上面２１ｃに当接することで、それ以上の沈み込みが規制される。

【0037】

このように構成されたハンド１３において、支持部４０によってＦＯＵＰ５０等の物品が保持されると、支持部４０に加わる荷重によって防振部３２，３６が押圧されるため、支持部４０が沈み込む。この場合、前方側の防振部３２では、荷重に応じて一定の割合で沈み込むことになる。

【0038】

一方、後方側の防振部３６では、取付部４０Ｒとの間に所定の間隙を有する防振材３５を備えているため、沈み込みの割合が荷重によって変動することになる。後方側に設けられる防振部３６のうち、左右の防振材３３は、無負荷の状態において上面３３ｂが取付部４０Ｒと接しているため、支持部４０に荷重が加わり始めると、沈み込み始める。一方、中央の防振材３５は、無負荷の状態において上面３５ｂが取付部４０Ｒと接していないため、支持部４０に荷重が加わり始めても、取付部４０Ｒに押圧されることがなく、沈み込みが始まらない。防振材３５は、荷重が大きくなって、左右の防振材３３がさらに押圧され、防振材３５の上面３５ｂと取付部４０Ｒとが接してから初めて沈み込みが始まる。このように、後方側の防振部３６は、支持部４０に荷重（第１の荷重）が加わり始めると作用する左右の防振材３３と、支持部４０に加わる荷重が所定の荷重（第２の荷重）以上のときに作用する中央の防振材３５とを備えている。これにより、後方側では、第２の荷重以上の荷重が加わると、沈み込みの割合が小さくなることになる。

【0039】

続いて、一対のハンド１３，１３によってＦＯＵＰ５０を支持する状態について説明する。図５は、搬送装置１０の一対のハンド１３，１３によってＦＯＵＰ５０が支持された状態における、ハンド１３の本体部２０、物品支持部４５及び防振部３２，３６を模式的に示す平面図である。

【0040】

図５に示されるように、ＦＯＵＰ５０は、一対のハンド１３，１３によってフランジ５６が下方から支持されることによって保持される。このとき、ハンド１３の前方側がＦＯＵＰ５０の前方側となっている。前述したように、ＦＯＵＰ５０の重心位置Ｇは、ＦＯＵＰ５０内が空の状態において、フランジ５６の中心位置Ｃから前方側（一方側）にずれている。本実施形態では、ＦＯＵＰ５０を支持する状態において、ハンド１３の後方側（一方側とは反対側）に防振部３６を設けている。

【0041】

図６（ａ）及び（ｂ）は、ＦＯＵＰ５０を支持したときのハンド１３における支持部４０の沈み込み量を模式的に示した図である。図６（ａ）に示す矢印Ａ１及び図６（ｂ）に示す矢印Ａ２は、その位置と大きさとによって、重心位置と荷重の大きさとを模式的に示すものである。また、矢印Ｂ１，Ｂ２は、矢印Ａ１による荷重が加わった場合における防振部３２，３６のそれぞれの沈み込み量を示し、矢印Ｂ３，Ｂ４は、矢印Ａ２による荷重が加わった場合における防振部３２，３６のそれぞれの沈み込み量を示している。なお、図６において、図面左側がハンド１３の前側である。

【0042】

図６（ａ）は、ＦＯＵＰ５０内が空の状態を示し、図６（ｂ）は、ＦＯＵＰ５０内にウェハーが最大限に収容された状態（以下、「満載の状態」という）を示すものである。図６（ａ）に示されるように、ＦＯＵＰ５０内が空の状態では、矢印Ａ１として示されるように、重心がＦＯＵＰ５０の前方側に偏っている。この場合、後方側の防振部３６に対しては、前方側の防振部３２よりも小さな荷重が作用することになる。このとき、後方側の防振部３６で実際に作用しているのは左右の防振材３３（図６において不図示）のみであるため、防振部３６の沈み込み量（矢印Ｂ２）は、前方側の防振部３２の沈み込み量（矢印Ｂ１）と略同程度となっている。そのため、ＦＯＵＰ５０（図６において不図示）は前方側に傾斜することなく、水平が保たれる。

【0043】

図６（ｂ）に示されるように、ＦＯＵＰ５０内が満載の状態においても、矢印Ａ２として示されるように、ＦＯＵＰ５０の重心位置はフランジ５６の中心位置から前方側にずれている。そのため、後方側の防振部３６には、前方側よりも小さな荷重が作用することになる。このとき、ＦＯＵＰ５０が空の状態と比較して、ＦＯＵＰ５０の重心位置が後方側にずれているため、後方側の防振部３６に加わる荷重の比率は、ＦＯＵＰ５０が空の状態に比べると増加している。この場合、後方側に加わる荷重が所定の大きさ（第１の荷重）を超えることで、中央の防振材３５が作用し始めることになる。これにより、所定の大きさを超えた分の荷重については、防振材３３，３５に作用することで、防振部３６全体としての沈み込みの割合が小さくなる。そのため、防振部３６の沈み込み量（矢印Ｂ４）は、前方側の防振部３２の沈み込み量（矢印Ｂ３）と略同程度となり、ＦＯＵＰ５０は後方側に傾斜することなく、水平が保たれる。

【0044】

図６（ｃ）及び（ｄ）は、比較例であり、ＦＯＵＰ５０を支持したときのハンド１３Ａにおける支持部４０の沈み込み量を模式的に示した図である。ハンド１３Ａは、前方側の防振部３０Ｆ及び後方側の防振部３０Ｒがいずれも同じ防振材（例えば防振材３１）によって構成されている点においてハンド１３と相違する。図６（ａ），（ｂ）と同様に、矢印Ａ１及び矢印Ａ２は、その位置と大きさとによって、重心位置と荷重の大きさとを模式的に示すものである。また、矢印Ｂ５，Ｂ６は、矢印Ａ１による荷重が加わった場合における防振部３０の沈み込み量を示し、矢印Ｂ７，Ｂ８は、矢印Ａ２による荷重が加わった場合における防振部３０の沈み込み量を示している。図６（ｃ）はＦＯＵＰ５０内が空の状態を示し、（ｄ）はＦＯＵＰ５０内が満載の状態を示すものである。

【0045】

図６（ｃ）に示されるように、ＦＯＵＰ５０内が空の状態では、重心がＦＯＵＰ５０の前方側に偏っている（矢印Ａ１）。この場合、前方側の防振部３０Ｆに対してより大きな荷重が作用するため、前方側の防振部３０Ｆにおける沈み込み量（矢印Ｂ５）が後方側の防振部３０Ｒにおける沈み込み量（矢印Ｂ６）よりも大きくなる。そのため、ＦＯＵＰ５０は前方側に傾斜して支持されることになり、水平が保たれない。また、図６（ｄ）に示されるように、ＦＯＵＰ５０内が満載の状態になると、空の状態に比べて、重心の位置が後方側にずれる（矢印Ａ２）。しかしながら、この状態でも、ＦＯＵＰ５０の重心位置がフランジ５６の中心位置から前方側にずれているため、前方側の防振部３０Ｆにおける沈み込み量（矢印Ｂ７）が後方側の防振部３０Ｒにおける沈み込み量（矢印Ｂ８）よりも大きくなる。そのため、ＦＯＵＰ５０は前方側に傾斜して支持されることになり、水平が保たれない。

【0046】

比較例のように、前方側及び後方側の防振部３０Ｆ，３０Ｒがいずれも同じ防振材によって構成されている場合、ＦＯＵＰ５０を支持したときに、ＦＯＵＰ５０が前方側に傾斜するように支持部４０が傾くことになる。そのため、ＦＯＵＰ５０が支持された状態のときにＦＯＵＰが水平となるように、予めハンド１３の前方側が高くなるように搬送装置１０を傾けた状態でフランジ５６を支持することが考えられる。しかしながら、このように搬送装置１０が傾いている状態では、ハンド１３の支持部４０も傾いているため、ハンド１３をフランジ５６の下面５６ａの高さに合わせることが困難となる虞がある。また、ハンド１３が傾いていることによって、ＦＯＵＰ５０を支持する際にＦＯＵＰ５０に揺れが生じることがある。本実施形態では、予め搬送装置１０を傾けておかなくてもＦＯＵＰ５０を水平に支持することができるため、ハンド１３を略水平な状態としたままフランジ５６の下面５６ａの高さに合わせることができる。また、ＦＯＵＰ５０を支持する際においても、ＦＯＵＰ５０に揺れが生じ難くなる。

【0047】

以上説明したように、本実施形態に係る搬送装置１０では、ＦＯＵＰ５０を支持する支持部４０が、本体部２０に対して防振部３２，３６を介して設けられている。そのため、本体部２０の振動が防振部３２，３６によって吸収されるため、ＦＯＵＰ５０に伝わる振動が低減される。そして、防振部３６は、第１の荷重より大きいときに作用する防振材３３と、第１の荷重よりも大きい第２の荷重以上のときに作用する防振材３５とを備えている。そのため、ＦＯＵＰ５０の重心が偏っていることにより、支持部４０に加わる荷重が場所によって相違するとしても、荷重が小さい場合には防振材３３のみが作用し、荷重が大きい場合には防振材３３に加えて防振材３５が作用する。そのため、防振部３２、３６の沈み込みが不均一になることが抑制され、ＦＯＵＰ５０の水平を維持しやすくなる。以上の構成により、この搬送装置１０では、ＦＯＵＰ５０に伝わる振動を低減しつつ、ＦＯＵＰ５０を水平に維持することができる。

【0048】

また、防振材３５は、支持部４０に加わる荷重が第２の荷重より小さいときには本体部２０のみに接している。これによれば、支持部４０に第２の荷重以上の荷重が加わるまでは、本体部２０と支持部４０とが防振材３５を介して接続されることがない。そのため、簡単な構成で、防振材３５を第２の荷重以上のときのみに作用させることができる。

【0049】

また、ＦＯＵＰ５０の重心位置Ｇがフランジ５６の中心位置Ｃから前方側にずれている場合には、フランジ５６が物品支持部４５によって支持されると、ＦＯＵＰ５０は重心のある前方側に傾こうとする。このような場合であっても、ＦＯＵＰ５０の重心と反対側である後方側に防振材３３及び防振材３５が設けられているため、ＦＯＵＰ５０の水平を維持しやすくなる。

【0050】

また、本実施形態に係る天井走行車１は、前述のような搬送装置１０を備えている。この天井走行車１では、搬送装置１０によって、ＦＯＵＰ５０に伝わる振動を低減しつつ、ＦＯＵＰ５０を水平に維持することができるため、ＦＯＵＰ５０の揺れを抑え、ＦＯＵＰ５０をより確実に搬送することができる。

【0051】

本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、搬送装置１０が天井走行車１に搭載されている例を示したが、これに限定されない。搬送装置は天井走行車以外にも、物品を支持した状態で搬送する様々な装置に利用できるものであり、例えばロボットハンドとして利用してもよい。

【0052】

また、本体部２０に形成された下段部２３ｂに防振材３５が載置され、防振材３５と取付部４０Ｒとの間に間隙を形成する例を示したが、これに限定されない。本体部の上面から取付部の下面までに所定の間隙ができるように防振材が配置されていればよく、例えば、取付部の下面に対して防振材を接着して、防振材と本体部との間に間隙を形成してもよい。

【0053】

また、防振部３２，３６を構成する防振材３１，３３，３５がシリコーン樹脂によって形成された弾性体である例を示したが、これに限定されず、他のゴムによって形成される弾性体や、バネ等の弾性体であってもよい。

【0054】

また、防振部３６が左右に配置される防振材３３と中央に配置される防振材３５とによって構成される例を示したが、これに限定されない。防振部は、第１の荷重よりも大きいときに作用する第１の防振材と、第１の荷重よりも大きい第２の荷重以上のときに作用する第２の防振材とによって構成されていればよい。そのため、防振材の形状、個数、配置等は支持される物品によって適宜変更してよい。

【0055】

また、一対のハンド１３によってＦＯＵＰ５０のフランジ５６が支持される例を示したが、これに限定されない。例えば、ハンドは一対に限らず３個以上であってもよい。

【符号の説明】

【0056】

１…天井走行車、１０…搬送装置、１１…保持装置、１３…ハンド（支持機構）、２０…本体部、３１…防振材、３２，３６…防振部、３３…防振材（第１の防振材）、３５…防振材（第２の防振材）、４０…支持部、５６…フランジ、Ｇ…重心位置、Ｃ…中心位置、５０…ＦＯＵＰ（物品）。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】