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特開2015-196645含フッ素シラン化合物
発明の名称 含フッ素シラン化合物
出願人 三菱マテリアル株式会社 （識別番号 6264）
特許公開件数ランキング 354 位（32件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 158 位（58件）（共同出願を含む）
出願人 三菱マテリアル電子化成株式会社 （識別番号 597065282）
特許公開件数ランキング 4875 位（2件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 3945 位（4件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2015-196645
公報発行日 2015年11月9
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-196645
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