特開2015-198083プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法

発明の名称　プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法

出願人　ＳＰＰテクノロジーズ株式会社　（識別番号 511265154）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-198083

公報発行日　2015年11月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-198083

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