特開2015-198213(P2015-198213A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2015-198213エピタキシャル炭化珪素ウェハの製造方法及びそれに用いる炭化珪素単結晶基板のホルダー
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