【図1】実施形態１に係る感度検査装置を例示するブロック図である。

【図2】静電容量型センサの構成を例示する平面図である。

【図3】図２のＡ−Ａ´断面図である。

【図4】静電容量型センサの検出部が有する検出部の回路構成を例示する図である。

【図5】静電容量型センサの検出部が有する検出部の回路構成の別の例を示す図である。

【図6】静電容量型センサの検出部が有する検出部の回路構成を示す図である。

【図7】静電容量型センサの検出部が有する検出部の回路構成の別の例を示す図である。

【図8】静電容量型センサの筐体を例示する図である。

【図9】第１状態にした図８の静電容量型センサを図８のＹ方向から見たである。

【図10】静電容量型センサの第１方向に加わる加速度ａとその加速度に対応する静電容量型センサの出力ΔＣとの関係を示す理論式を表すグラフである。

【図11】静電容量型センサの可動電極に図２，図３におけるＸ方向の加速度が加わったときの可動電極の動きを示している。

【図12】静電容量型センサの可動電極に図３におけるＺ方向の加速度が加わったときの可動電極の動きを示している。

【図13】感度検査装置のハードウエア構成を例示するブロック図である。

【図14】実施形態１の感度検査装置によって実行される処理の流れを例示するフローチャートである。

【図15】実施形態２に係る感度検査装置を例示するブロック図である。

【図16】実施形態２の感度検査装置によって実行される処理の流れを例示するフローチャートである。

【図17】静電容量型センサのセンサ出力が満たすべき仕様を例示する図である。

【図18】静電容量型センサを設置する設置台を例示する図である。

【図19】設置台に静電容量型センサを設置した様子を例示する図である。