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特開2015-213166コモンモードフィルタ、信号伝達モジュール、及びコモンモードフィルタの製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】特開2015-213166(P2015-213166A)
(43)【公開日】2015年11月26日
(54)【発明の名称】コモンモードフィルタ、信号伝達モジュール、及びコモンモードフィルタの製造方法
(51)【国際特許分類】
H01F 17/00 20060101AFI20151030BHJP
H01F 27/29 20060101ALI20151030BHJP
【ＦＩ】
H01F17/00 D
H01F15/10 C
【審査請求】未請求
【請求項の数】30
【出願形態】ＯＬ
【全頁数】38
(21)【出願番号】特願2015-85897(P2015-85897)
(22)【出願日】2015年4月20日
(31)【優先権主張番号】10-2014-0052485
(32)【優先日】2014年4月30日
(33)【優先権主張国】KR
(71)【出願人】
【識別番号】594023722
【氏名又は名称】サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド．
(74)【代理人】
【識別番号】110000877
【氏名又は名称】龍華国際特許業務法人
(72)【発明者】
【氏名】チャン、ジオン セ
(72)【発明者】
【氏名】シム、ウォン チョル
(72)【発明者】
【氏名】チョ、チョン ミン
【テーマコード（参考）】
5E070
【Ｆターム（参考）】
5E070AA01
5E070AB01
5E070BA12
5E070CB03
5E070CB13
5E070EA01
(57)【要約】
【課題】本発明は、コモンモードフィルタ、信号伝達モジュール、及びコモンモードフィルタの製造方法に関する。【解決手段】一次コイル及び二次コイルを有する少なくとも４層のコイル層が備えられており、前記コイル層のうち最下層に位置した一次コイル及び二次コイルそれぞれの開始点から、前記コイル層のうち最上層に位置した一次コイル及び二次コイルそれぞれの終了点までが、それぞれ直列に連結されるようにする不連続部を含み、小型化されながらも、インピーダンス特性が向上されることができるコモンモードフィルタを提供する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
一次コイル及び二次コイルを有する少なくとも４層のコイル層と、
前記コイル層のうち一端の層である最下層に位置した一次コイル及び二次コイルそれぞれの開始点から、前記コイル層のうち他端の層である最上層に位置した一次コイル及び二次コイルそれぞれの終了点までが、それぞれ直列に連結されるようにする不連続部を含む、コモンモードフィルタ。
前記コイル層のうち一端の層である最下層に位置した一次コイル及び二次コイルそれぞれの開始点から、前記コイル層のうち他端の層である最上層に位置した一次コイル及び二次コイルそれぞれの終了点までが、それぞれ直列に連結されるようにする不連続部を含む、コモンモードフィルタ。
【請求項2】
前記コイル層それぞれに備えられた前記一次コイル及び前記二次コイルは、同一平面上で所定の間隔だけ互いに離隔して螺旋状に備えられる、請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項3】
前記コイル層それぞれは、
前記一次コイル及び前記二次コイルそれぞれの一端及び他端にそれぞれ連結される内部端子及び外部端子を含む、請求項２に記載のコモンモードフィルタ。
前記一次コイル及び前記二次コイルそれぞれの一端及び他端にそれぞれ連結される内部端子及び外部端子を含む、請求項２に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項4】
前記コイル層それぞれの外部端子それぞれは、その上部またはその下部に位置した外部端子それぞれと上下方向の領域で重なるように備えられており、
前記不連続部は、前記コイル層のうち一つのコイル層に位置した外部端子とその上部に位置した外部端子との間にのみ備えられ、その他のコイル層に位置した外部端子それぞれは、その上部または下部に位置した外部端子それぞれと接触される、請求項３に記載のコモンモードフィルタ。
前記不連続部は、前記コイル層のうち一つのコイル層に位置した外部端子とその上部に位置した外部端子との間にのみ備えられ、その他のコイル層に位置した外部端子それぞれは、その上部または下部に位置した外部端子それぞれと接触される、請求項３に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項5】
前記コイル層それぞれの外部端子それぞれは、その上部またはその下部に位置した外部端子それぞれと上下方向の領域で重なる位置に備えられており、
前記外部端子それぞれは、その上部またはその下部に位置した外部端子それぞれと接触され、前記コイル層のうち一つのコイル層のみに、そのコイル層の外部端子とその上部に位置した外部端子との間に前記不連続部が備えられる、請求項３に記載のコモンモードフィルタ。
前記外部端子それぞれは、その上部またはその下部に位置した外部端子それぞれと接触され、前記コイル層のうち一つのコイル層のみに、そのコイル層の外部端子とその上部に位置した外部端子との間に前記不連続部が備えられる、請求項３に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項6】
前記不連続部は絶縁物質からなる、請求項１から５のいずれか１項に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項7】
２Ｎ個の前記コイル層が備えられ、前記不連続部は、３層以上の全ての奇数層の上部にそれぞれ備えられており、前記Ｎは３以上の自然数である、請求項１から６のいずれか１項に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項8】
少なくとも４層のコイル層を経て直列に連結される第１一次外部電極及び第２一次外部電極と、
少なくとも４層のコイル層を経て直列に連結される第１二次外部電極及び第２二次外部電極と、を含む、コモンモードフィルタ。
少なくとも４層のコイル層を経て直列に連結される第１二次外部電極及び第２二次外部電極と、を含む、コモンモードフィルタ。
【請求項9】
前記コイル層それぞれに備えられ、前記第１一次外部電極の垂直下方領域に少なくとも一部が位置する第１一次外部端子と、
前記コイル層それぞれに備えられ、前記第２一次外部電極の垂直下方領域に少なくとも一部が位置する第２一次外部端子と、をさらに含み、
前記第１一次外部端子の間の領域には導電性物質が備えられ、
前記第２一次外部端子の間の領域のうち一つの領域にのみ絶縁物質からなる第１不連続部が備えられて、その他の領域には導電性物質が備えられる、請求項８に記載のコモンモードフィルタ。
前記コイル層それぞれに備えられ、前記第２一次外部電極の垂直下方領域に少なくとも一部が位置する第２一次外部端子と、をさらに含み、
前記第１一次外部端子の間の領域には導電性物質が備えられ、
前記第２一次外部端子の間の領域のうち一つの領域にのみ絶縁物質からなる第１不連続部が備えられて、その他の領域には導電性物質が備えられる、請求項８に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項10】
前記コイル層それぞれに備えられ、前記第１二次外部電極の垂直下方領域に少なくとも一部が位置する第１二次外部端子と、
前記コイル層それぞれに備えられ、前記第２二次外部電極の垂直下方領域に少なくとも一部が位置する第２二次外部端子と、をさらに含み、
前記第１二次外部端子の間の領域には導電性物質が備えられ、
前記第２二次外部端子の間の領域のうち一つの領域にのみ絶縁物質からなる第２不連続部が備えられて、その他の領域には導電性物質が備えられる、請求項９に記載のコモンモードフィルタ。
前記コイル層それぞれに備えられ、前記第２二次外部電極の垂直下方領域に少なくとも一部が位置する第２二次外部端子と、をさらに含み、
前記第１二次外部端子の間の領域には導電性物質が備えられ、
前記第２二次外部端子の間の領域のうち一つの領域にのみ絶縁物質からなる第２不連続部が備えられて、その他の領域には導電性物質が備えられる、請求項９に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項11】
前記第１一次外部電極、前記第２一次外部電極、前記第１二次外部電極、及び前記第２二次外部電極の少なくとも一つの外面に接触される外部めっき端子をさらに含む、請求項１０に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項12】
前記外部めっき端子は、
前記第１一次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第１一次外部めっき端子と、
前記第２一次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第２一次外部めっき端子と、
前記第１二次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第１二次外部めっき端子と、
前記第２二次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第２二次外部めっき端子と、を含む、請求項１１に記載のコモンモードフィルタ。
前記第１一次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第１一次外部めっき端子と、
前記第２一次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第２一次外部めっき端子と、
前記第１二次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第１二次外部めっき端子と、
前記第２二次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第２二次外部めっき端子と、を含む、請求項１１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項13】
前記第１不連続部の垂直下方領域に少なくとも一部が位置する一次外部端子と前記第２一次外部めっき端子とは直接接触されず、
前記第２不連続部の垂直下方領域に少なくとも一部が位置する二次外部端子と前記第２二次外部めっき端子とは直接接触されない、請求項１２に記載のコモンモードフィルタ。
前記第２不連続部の垂直下方領域に少なくとも一部が位置する二次外部端子と前記第２二次外部めっき端子とは直接接触されない、請求項１２に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項14】
前記第２一次外部端子と前記第２一次外部めっき端子との間の領域には絶縁物質からなる第１絶縁壁が備えられ、
前記第２二次外部端子と前記第２二次外部めっき端子との間の領域には絶縁物質からなる第２絶縁壁が備えられる、請求項１２または１３に記載のコモンモードフィルタ。
前記第２二次外部端子と前記第２二次外部めっき端子との間の領域には絶縁物質からなる第２絶縁壁が備えられる、請求項１２または１３に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項15】
第１電子装置に備えられ、第２電子装置と第１電子装置との間の信号の送受信を行う信号伝達モジュールであって、
前記第２電子装置が選択的に連結または遮断される第１ターミナルと、
前記第１ターミナルに連結されるコモンモードフィルタと、
前記コモンモードフィルタによりコモンモードノイズの少なくとも一部が除去された信号が出力される第２ターミナルと、を含み、
前記コモンモードフィルタは、
少なくとも４層のコイル層を経て直列に連結される第１一次外部電極及び第２一次外部電極と、
少なくとも４層のコイル層を経て直列に連結される第１二次外部電極及び第２二次外部電極と、を含む、信号伝達モジュール。
前記第２電子装置が選択的に連結または遮断される第１ターミナルと、
前記第１ターミナルに連結されるコモンモードフィルタと、
前記コモンモードフィルタによりコモンモードノイズの少なくとも一部が除去された信号が出力される第２ターミナルと、を含み、
前記コモンモードフィルタは、
少なくとも４層のコイル層を経て直列に連結される第１一次外部電極及び第２一次外部電極と、
少なくとも４層のコイル層を経て直列に連結される第１二次外部電極及び第２二次外部電極と、を含む、信号伝達モジュール。
【請求項16】
前記第１一次外部電極及び前記第１二次外部電極は前記第１ターミナルに連結され、
前記第２一次外部電極及び前記第２二次外部電極は前記第２ターミナルに連結される、請求項１５に記載の信号伝達モジュール。
前記第２一次外部電極及び前記第２二次外部電極は前記第２ターミナルに連結される、請求項１５に記載の信号伝達モジュール。
【請求項17】
前記コモンモードフィルタと前記第２ターミナルとの間にフィルタがさらに備えられる、請求項１６に記載の信号伝達モジュール。
【請求項18】
第１一次コイルと第１二次コイルが、同一平面上で所定の間隔だけ離隔して螺旋状に備えられる第１コイル層と、
前記第１コイル層に形成され、前記第１一次コイルの一端に備えられる第１一次外部端子と、
前記第１コイル層に形成され、前記第１一次コイルの他端に備えられる第１一次内部端子と、
前記第１コイル層に形成され、前記第１二次コイルの一端に備えられる第１二次外部端子と、
前記第１コイル層に形成され、前記第１二次コイルの他端に備えられる第１二次内部端子と、
第２一次コイルと第２二次コイルが、同一平面上で所定の間隔だけ離隔して螺旋状に備えられる第２コイル層と、
前記第２コイル層に形成され、前記第２一次コイルの一端に備えられる第２一次外部端子と、
前記第２コイル層に形成され、前記第２一次コイルの他端に備えられる第２一次内部端子と、
前記第２コイル層に形成され、前記第２二次コイルの一端に備えられる第２二次外部端子と、
前記第２コイル層に形成され、前記第２二次コイルの他端に備えられる第２二次内部端子と、
第３一次コイルと第３二次コイルが、同一平面上で所定の間隔だけ離隔して螺旋状に備えられる第３コイル層と、
前記第３コイル層に形成され、前記第３一次コイルの一端に備えられる第３一次外部端子と、
前記第３コイル層に形成され、前記第３一次コイルの他端に備えられる第３一次内部端子と、
前記第３コイル層に形成され、前記第３二次コイルの一端に備えられる第３二次外部端子と、
前記第３コイル層に形成され、前記第３二次コイルの他端に備えられる第３二次内部端子と、
第４一次コイルと第４二次コイルが、同一平面上で所定の間隔だけ離隔して螺旋状に備えられる第４コイル層と、
前記第４コイル層に形成され、前記第４一次コイルの一端に備えられる第４一次外部端子と、
前記第４コイル層に形成され、前記第４一次コイルの他端に備えられる第４一次内部端子と、
前記第４コイル層に形成され、前記第４二次コイルの一端に備えられる第４二次外部端子と、
前記第４コイル層に形成され、前記第４二次コイルの他端に備えられる第４二次内部端子と、を含み、
前記第１コイル層、前記第２コイル層、前記第３コイル層、及び前記第４コイル層が順に積層されており、
前記第１一次内部端子は、前記第２一次内部端子と直接またはビアを介して接触され、
前記第２一次外部端子は、前記第３一次外部端子と直接またはビアを介して接触され、
前記第３一次内部端子は、前記第４一次内部端子と直接またはビアを介して接触され、
前記第３一次外部端子と前記第４一次外部端子との間の領域には、絶縁物質からなる第１不連続部が備えられる、コモンモードフィルタ。
前記第１コイル層に形成され、前記第１一次コイルの一端に備えられる第１一次外部端子と、
前記第１コイル層に形成され、前記第１一次コイルの他端に備えられる第１一次内部端子と、
前記第１コイル層に形成され、前記第１二次コイルの一端に備えられる第１二次外部端子と、
前記第１コイル層に形成され、前記第１二次コイルの他端に備えられる第１二次内部端子と、
第２一次コイルと第２二次コイルが、同一平面上で所定の間隔だけ離隔して螺旋状に備えられる第２コイル層と、
前記第２コイル層に形成され、前記第２一次コイルの一端に備えられる第２一次外部端子と、
前記第２コイル層に形成され、前記第２一次コイルの他端に備えられる第２一次内部端子と、
前記第２コイル層に形成され、前記第２二次コイルの一端に備えられる第２二次外部端子と、
前記第２コイル層に形成され、前記第２二次コイルの他端に備えられる第２二次内部端子と、
第３一次コイルと第３二次コイルが、同一平面上で所定の間隔だけ離隔して螺旋状に備えられる第３コイル層と、
前記第３コイル層に形成され、前記第３一次コイルの一端に備えられる第３一次外部端子と、
前記第３コイル層に形成され、前記第３一次コイルの他端に備えられる第３一次内部端子と、
前記第３コイル層に形成され、前記第３二次コイルの一端に備えられる第３二次外部端子と、
前記第３コイル層に形成され、前記第３二次コイルの他端に備えられる第３二次内部端子と、
第４一次コイルと第４二次コイルが、同一平面上で所定の間隔だけ離隔して螺旋状に備えられる第４コイル層と、
前記第４コイル層に形成され、前記第４一次コイルの一端に備えられる第４一次外部端子と、
前記第４コイル層に形成され、前記第４一次コイルの他端に備えられる第４一次内部端子と、
前記第４コイル層に形成され、前記第４二次コイルの一端に備えられる第４二次外部端子と、
前記第４コイル層に形成され、前記第４二次コイルの他端に備えられる第４二次内部端子と、を含み、
前記第１コイル層、前記第２コイル層、前記第３コイル層、及び前記第４コイル層が順に積層されており、
前記第１一次内部端子は、前記第２一次内部端子と直接またはビアを介して接触され、
前記第２一次外部端子は、前記第３一次外部端子と直接またはビアを介して接触され、
前記第３一次内部端子は、前記第４一次内部端子と直接またはビアを介して接触され、
前記第３一次外部端子と前記第４一次外部端子との間の領域には、絶縁物質からなる第１不連続部が備えられる、コモンモードフィルタ。
【請求項19】
前記第１二次内部端子は、前記第２二次内部端子と直接またはビアを介して接触され、
前記第２二次外部端子は、前記第３二次外部端子と直接またはビアを介して接触され、
前記第３二次内部端子は、前記第４二次内部端子と直接またはビアを介して接触され、
前記第３二次外部端子と前記第４二次外部端子との間の領域には、絶縁物質からなる第２不連続部が備えられる、請求項１８に記載のコモンモードフィルタ。
前記第２二次外部端子は、前記第３二次外部端子と直接またはビアを介して接触され、
前記第３二次内部端子は、前記第４二次内部端子と直接またはビアを介して接触され、
前記第３二次外部端子と前記第４二次外部端子との間の領域には、絶縁物質からなる第２不連続部が備えられる、請求項１８に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項20】
前記第１一次外部端子の上部に備えられる第１一次外部電極と、
前記第４一次外部端子の上部に備えられる第２一次外部電極と、
前記第１二次外部端子の上部に備えられる第１二次外部電極と、
前記第４二次外部端子の上部に備えられる第２二次外部電極と、をさらに含む、請求項１９に記載のコモンモードフィルタ。
前記第４一次外部端子の上部に備えられる第２一次外部電極と、
前記第１二次外部端子の上部に備えられる第１二次外部電極と、
前記第４二次外部端子の上部に備えられる第２二次外部電極と、をさらに含む、請求項１９に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項21】
前記第１一次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第１一次外部めっき端子と、
前記第２一次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第２一次外部めっき端子と、
前記第１二次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第１二次外部めっき端子と、
前記第２二次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第２二次外部めっき端子と、をさらに含む、請求項２０に記載のコモンモードフィルタ。
前記第２一次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第２一次外部めっき端子と、
前記第１二次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第１二次外部めっき端子と、
前記第２二次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される第２二次外部めっき端子と、をさらに含む、請求項２０に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項22】
前記第２一次外部めっき端子は、前記第３一次外部端子と直接接触されず、
前記第２二次外部めっき端子は、前記第３二次外部端子と直接接触されない、請求項２１に記載のコモンモードフィルタ。
前記第２二次外部めっき端子は、前記第３二次外部端子と直接接触されない、請求項２１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項23】
前記第２一次外部めっき端子は、伝導性物質を介して前記第２一次外部電極にのみ接触され、
前記第２二次外部めっき端子は、伝導性物質を介して前記第２二次外部電極にのみ接触される、請求項２１または２２に記載のコモンモードフィルタ。
前記第２二次外部めっき端子は、伝導性物質を介して前記第２二次外部電極にのみ接触される、請求項２１または２２に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項24】
前記第２一次外部めっき端子と前記第３一次外部端子との間に備えられ、絶縁物質からなる第１絶縁壁と、
前記第２二次外部めっき端子と前記第３二次外部端子との間に備えられ、絶縁物質からなる第２絶縁壁と、をさらに含む、請求項２３に記載のコモンモードフィルタ。
前記第２二次外部めっき端子と前記第３二次外部端子との間に備えられ、絶縁物質からなる第２絶縁壁と、をさらに含む、請求項２３に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項25】
一次コイル及び二次コイルを有する少なくとも４層のコイル層を形成するコモンモードフィルタの製造方法であって、
前記コイル層のうち一端の層である最下層に位置した一次コイル及び二次コイルそれぞれの開始点から、前記コイル層のうち他端の層である最上層に位置した一次コイル及び二次コイルそれぞれの終了点までが、それぞれ直列に連結されるようにする不連続部を形成する段階を含む、コモンモードフィルタの製造方法。
前記コイル層のうち一端の層である最下層に位置した一次コイル及び二次コイルそれぞれの開始点から、前記コイル層のうち他端の層である最上層に位置した一次コイル及び二次コイルそれぞれの終了点までが、それぞれ直列に連結されるようにする不連続部を形成する段階を含む、コモンモードフィルタの製造方法。
【請求項26】
前記コイル層は、第１コイル層、第２コイル層、第３コイル層、及び第４コイル層を含み、
前記不連続部は、前記第３コイル層と前記第４コイル層との間に形成される機能層に備えられる、請求項２５に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
前記不連続部は、前記第３コイル層と前記第４コイル層との間に形成される機能層に備えられる、請求項２５に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項27】
第１一次外部端子に一端が連結され、第１一次内部端子に他端が連結される第１一次コイル、及び第１二次外部端子に一端が連結され、第１二次内部端子に他端が連結される第１二次コイルを含む第１コイル層を形成する段階と、
第２一次外部端子に一端が連結され、第２一次内部端子に他端が連結される第２一次コイル、及び第２二次外部端子に一端が連結され、第２二次内部端子に他端が連結される第２二次コイルを含む第２コイル層を、前記第１コイル層の上部に形成する段階と、
第３一次外部端子に一端が連結され、第３一次内部端子に他端が連結される第３一次コイル、及び第３二次外部端子に一端が連結され、第３二次内部端子に他端が連結される第３二次コイルを含む第３コイル層を、前記第２コイル層の上部に形成する段階と、
第４一次外部端子に一端が連結され、第４一次内部端子に他端が連結される第４一次コイル、及び第４二次外部端子に一端が連結され、第４二次内部端子に他端が連結される第４二次コイルを含む第４コイル層を、前記第３コイル層の上部に形成する段階と、を含み、
前記第３一次外部端子の上面と前記第４一次外部端子の下面との間には、絶縁物質からなる第１不連続部が備えられ、
前記第３二次外部端子の上面と前記第４二次外部端子の下面との間には、絶縁物質からなる第２不連続部が備えられる、コモンモードフィルタの製造方法。
第２一次外部端子に一端が連結され、第２一次内部端子に他端が連結される第２一次コイル、及び第２二次外部端子に一端が連結され、第２二次内部端子に他端が連結される第２二次コイルを含む第２コイル層を、前記第１コイル層の上部に形成する段階と、
第３一次外部端子に一端が連結され、第３一次内部端子に他端が連結される第３一次コイル、及び第３二次外部端子に一端が連結され、第３二次内部端子に他端が連結される第３二次コイルを含む第３コイル層を、前記第２コイル層の上部に形成する段階と、
第４一次外部端子に一端が連結され、第４一次内部端子に他端が連結される第４一次コイル、及び第４二次外部端子に一端が連結され、第４二次内部端子に他端が連結される第４二次コイルを含む第４コイル層を、前記第３コイル層の上部に形成する段階と、を含み、
前記第３一次外部端子の上面と前記第４一次外部端子の下面との間には、絶縁物質からなる第１不連続部が備えられ、
前記第３二次外部端子の上面と前記第４二次外部端子の下面との間には、絶縁物質からなる第２不連続部が備えられる、コモンモードフィルタの製造方法。
【請求項28】
前記第４一次外部端子の上面に一次外部電極を形成し、前記第４二次外部端子の上面に二次外部電極を形成する段階をさらに含む、請求項２７に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項29】
前記一次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される一次外部めっき端子を形成し、前記二次外部電極の外面の少なくとも一部に接触される二次外部めっき端子を形成する段階をさらに含む、請求項２８に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項30】
前記一次外部めっき端子は、前記第２一次外部端子及び前記第３一次外部端子と直接接触されないように形成し、
前記二次外部めっき端子は、前記第２二次外部端子及び前記第３二次外部端子と直接接触されないように形成する、請求項２９に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
前記二次外部めっき端子は、前記第２二次外部端子及び前記第３二次外部端子と直接接触されないように形成する、請求項２９に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、コモンモードフィルタに関する。
【背景技術】
【0002】
コモンモードフィルタは、各種電子機器でコモンモードノイズを除去するために広く用いられている電子部品である。
【0003】
近年、電子製品の小型化、スリム化、及び高機能化の傾向に応えるべく、ノイズ除去性能を向上させながらも、小型化及び薄型化が可能なコモンモードフィルタに関する研究が行われつつある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】米国特許出願公開第２００３‐０１３４６１２号
【特許文献2】米国特許出願公開第２０１３‐０１４７５９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明は、コモンモードフィルタを小型化しながらも、インピーダンス特性を向上させることをその目的とする。
【0006】
本発明が達成しようとする技術的課題は、以上で言及した技術的課題に制限されず、言及されていない他の技術的課題は、下記の記載から、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に明確に理解され得る。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の例示的な一形態によるコモンモードフィルタは、一次コイル及び二次コイルを有する４層以上のコイル層を備えることで、コモンモードフィルタのサイズを減少させるとともに、インピーダンス特性を向上させる。
【0008】
この際、コモンモードフィルタの一次コイルの開始点から終了点まで及び二次コイルの開始点から終了点までは、それぞれ直列に連結される。
【0009】
各コイル層の一次コイル及び二次コイルは、内部端子及び外部端子を介して他のコイル層の一次コイル及び二次コイルとそれぞれ連結されることができる。
【0010】
また、一つのコイル層及びその上部のコイル層に備えられる外部端子の間には、絶縁物質からなる不連続部が備えられて、一次コイル及び二次コイルそれぞれが最下層から最上層まで直列に連結されるようにする。
【0011】
一方、コモンモードフィルタには、外部電極や外部めっき端子がさらに備えられることができるが、外部めっき端子によって不連続部の存在価値がなくなってはならない。すなわち、不連続部の両面に位置した外部端子が外部めっき端子により電気的に導通されないようにしなければならない。
【0012】
本発明の例示的な一形態による信号伝達モジュールは、第１ターミナルと第２ターミナルとの間に上述のコモンモードフィルタが備えられてなる。
【0013】
本発明の例示的な一形態によるコモンモードフィルタの製造方法により、上述のコモンモードフィルタを製造することができる。
【0014】
この際、上述の不連続部が備えられた層を機能層と称することができ、一形態において、機能層は第３コイル層と第４コイル層との間に形成されることができる。
【発明の効果】
【0015】
本発明の一形態によれば、コモンモードフィルタが小型化されながらも、インピーダンス特性が向上されることができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明の一形態によるコモンモードフィルタを概略的に例示した斜視図である。
【図4a】本発明の一形態によるコモンモードフィルタの第１コイル層を概略的に例示した平面図である。
【図4b】本発明の一形態によるコモンモードフィルタの第２コイル層を概略的に例示した平面図である。
【図4c】本発明の一形態によるコモンモードフィルタの第３コイル層を概略的に例示した平面図である。
【図4d】本発明の一形態によるコモンモードフィルタの第４コイル層を概略的に例示した平面図である。
【図5】本発明の一形態による一次コイルの連結関係を概略的に例示した模式図である。
【図6】本発明の他の形態によるコモンモードフィルタを概略的に例示した斜視図である。
【図8】本発明の一形態による信号伝達モジュールを概略的に例示したブロック図である。
【図9】本発明の一形態によるコモンモードフィルタを概略的に例示した回路図である。
【図11a】本発明の一形態によるコモンモードフィルタの製造方法で用いられるマスクの平面図であって、第１層用マスクの平面図である。
【図11b】本発明の一形態によるコモンモードフィルタの製造方法で用いられるマスクの平面図であって、第２層用マスクの平面図である。
【図11c】本発明の一形態によるコモンモードフィルタの製造方法で用いられるマスクの平面図であって、第３層用マスクの平面図である。
【図11d】本発明の一形態によるコモンモードフィルタの製造方法で用いられるマスクの平面図であって、第４層用マスクの平面図である。
【図11e】本発明の一形態によるコモンモードフィルタの製造方法で用いられるマスクの平面図であって、第１マスクの平面図である。
【図11f】本発明の一形態によるコモンモードフィルタの製造方法で用いられるマスクの平面図であって、第２マスクの平面図である。
【図11g】本発明の一形態によるコモンモードフィルタの製造方法で用いられるマスクの平面図であって、第３マスクの平面図である。
【図14a】本発明の他の形態によるコモンモードフィルタの第２Ｎ‐１コイル層を概略的に例示した平面図である。
【図14b】本発明の他の形態によるコモンモードフィルタの第２Ｎコイル層を概略的に例示した平面図である。
【図14c】本発明のさらに他の形態によるコモンモードフィルタの第２Ｎコイル層を概略的に例示した平面図である。
【図15】本発明の他の形態による一次コイルの連結関係を概略的に例示した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
本発明の利点及び特徴、そしてそれらを果たす方法は、添付図面とともに詳細に後述される実施形態を参照すると明確になるであろう。しかし、本発明は以下で開示される実施形態に限定されず、相異なる多様な形態で具現されることができる。本実施形態は、本発明の開示が完全になるようにするとともに、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に伝達するために提供されることができる。明細書全体において、同一参照符号は同一構成要素を示す。
【0018】
本明細書で用いられる用語は、実施形態を説明するためのものであり、本発明を限定しようとするものではない。本明細書で、単数形は文句で特別に言及しない限り複数形も含む。明細書で用いられる「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」及び／または「含んでいる（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は言及された構成要素、段階、動作及び／または素子は一つ以上の他の構成要素、段階、動作及び／または素子の存在または追加を排除しない。
【0019】
図示の簡略化および明瞭化のために、図面は一般的な構成方式を図示しており、本発明の説明において実施形態の論議を不明瞭にすることを避けるために、公知の特徴および技術に関する詳細な説明を省略することができる。さらに、図面の構成要素は必ずしも縮尺によって図示されたものではない。例えば、本発明の実施形態を容易に理解するために、図面の一部の構成要素のサイズが他の構成要素より誇張されることができる。互いに異なる図面における同一の参照符号は同一の構成要素を示し、必ずしもそうではないが、類似した参照符号は類似した構成要素を示すことができる。
【0020】
明細書および請求範囲において、「第１」、「第２」、「第３」および「第４」等の用語が記載されている場合、類似した構成要素同士を区別するために用いられ、必ずしもそうではないが、特定の順次または発生順序を記述するために用いられる。そのように用いられる用語は、ここに記述された本発明の実施形態が、例えば、ここに図示または説明されたものではなく他のシーケンスで動作するように適切な環境下で互換可能であることを理解することができる。同様に、ここで、方法が一連の段階を含むと記述される場合、ここに提示されたそのような段階の順序が必ずしもそのような段階が実行される順序ではなく、任意に記述された段階は省略することができ、および／またはここに記述されていない任意の他の段階をその方法に付加することができる。
【0021】
明細書および請求範囲において、「左側」、「右側」、「前」、「後」、「上部」、「底部」、「上に」、「下に」等の用語が記載されている場合には、説明のために用いられるものであり、必ずしも不変の相対的な位置を記述するためのものではない。そのように用いられる用語は、ここに記述された本発明の実施形態が、例えば、ここに図示または説明されたものではなく他の方向に動作するように適切な環境下で互換可能であることを理解することができる。ここで用いられた用語「連結された」は、電気的または非電気的な方式で直接または間接的に接続されることで定義される。ここで、互いに「隣接する」と記述された対象は、その文章が用いられる文脈に対して適切に、互いに物理的に接触するか、互いに近接するか、互いに同一の一般的な範囲または領域に存在することができる。ここで、「一実施形態において」という文章は、必ずしもそうではないが、同一の実施形態を意味する。
【0022】
以下、添付の図面を参照して本発明の構成および作用効果についてより詳細に説明する。
【0023】
図１は本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００を概略的に例示した斜視図であり、図２は図１のＩ‐Ｉ´線の断面図であり、図３ａは図１のＩＩ‐ＩＩ´線の断面図であり、図３ｂは図１のＩＩＩ‐ＩＩＩ´線の断面図であり、図３ｃは図１のＩＶ‐ＩＶ´線の断面図である。
【0024】
また、図４ａは本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００の第１コイル層Ｌ１を概略的に例示した平面図であり、図４ｂは本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００の第２コイル層Ｌ２を概略的に例示した平面図であり、図４ｃは本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００の第３コイル層Ｌ３を概略的に例示した平面図であり、図４ｄは本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００の第４コイル層Ｌ４を概略的に例示した平面図である。
【0025】
また、図５は本発明の一形態による一次コイルＰＣの連結関係を概略的に例示した図面である。
【0026】
図１から図５を参照すれば、本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００は、一次コイルＰＣ及び二次コイルＳＣが備えられた４つのコイル層Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４を含む。ここで、４つのコイル層Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４を含む構成要素をコイル部１２０と称することができる。
【0027】
その他にも、コモンモードフィルタ１００は、フェライトなどの磁性物質からなる基板１１０と、磁性体部１３０と、絶縁部１２２と、外部電極１４１、１４２、１４３、１４４と、外部めっき端子１５０と、を含むことができる。
【0028】
ここで、一次コイルＰＣ及び二次コイルＳＣがともに同一平面上に螺旋状に形成された方式を同時コイル方式と称することができる。この同時コイル方式は、一次コイルと二次コイルとが互いに異なる層に備えられてなる、いわゆる単一コイル方式と区分される。
【0029】
この際、同一の線幅を有する導電パターンを用いて、同一の面積にコイルを形成して所定のインピーダンス特性を具現する場合、同時コイル方式のコモンモードフィルタは、単一コイル方式のコモンモードフィルタに比べ、より少ない層数で具現することができる。
【0030】
例えば、横×縦０．４ｍｍ×０．３ｍｍのコモンモードフィルタで３０〜３５Ωのインピーダンスを具現する際に、同時コイル方式を適用する場合には２層のコイル層が必要であり、単一コイル方式を適用する場合には４層のコイル層が必要である。
【0031】
一方、同時コイル方式の従来のコモンモードフィルタは、ほとんどの場合、２層以下のコイル層を含む形態で具現していた。
【0032】
しかし、小型化しながらもインピーダンス特性を向上させるために、本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００は、一次コイルＰＣ及び二次コイルＳＣが備えられた４層以上のコイル層を含む。
【0033】
この際、各コイル層に備えられた一次コイル及び二次コイルは、他の層に形成された一次コイル及び二次コイルと直接接触されてはならず、そのために、導電パターンの間に絶縁部１２２が備えられる。また、各コイル層に備えられた一次コイル及び二次コイルは、内部端子及び外部端子を介して他のコイル層に備えられた一次コイルと連結される。
【0035】
例えば、一形態において、第１コイル層Ｌ１には、第１一次コイルＰＣ１と第１二次コイルＳＣ１とが所定の間隔で離隔した状態でともに螺旋状に形成されており、第１一次コイルＰＣ１の一端には第１一次外部端子Ｐ１が連結され、第１一次コイルＰＣ１の他端には第１一次内部端子ＰＩ１が連結されている。同様に、第１二次コイルＳＣ１の一端には第１二次外部端子Ｓ１が連結され、第１二次コイルＳＣ１の他端には第１二次内部端子ＳＩ１が連結されている。
【0036】
一方、第２コイル層Ｌ２〜第４コイル層Ｌ４も、上述の形態と類似の形態で構成されることができる。
【0037】
ここで、図５を参照すれば、一形態において、第１一次外部端子Ｐ１‐第１一次コイルＰＣ１‐第１一次内部端子ＰＩ１‐第１一次ビアＰＶ１‐第２一次内部端子ＰＩ２‐第２一次コイルＰＣ２‐第２一次外部端子Ｐ２‐第３一次外部端子Ｐ３‐第３一次コイルＰＣ３‐第３一次内部端子ＰＩ３‐第２一次ビアＰＶ２‐第４一次内部端子ＰＩ４‐第４一次コイルＰＣ４‐第４一次外部端子Ｐ４の順に連結されることで、一次コイルの開始点から一次コイルの終了点までが直列に連結され得ることが理解できるであろう。
【0038】
勿論、図示していないが、二次コイルの場合にも、同一の方式で直列連結されて構成されることができる。すなわち、第１二次外部端子Ｓ１‐第１二次コイルＳＣ１‐第１二次内部端子ＳＩ１‐第１二次ビアＳＶ１‐第２二次内部端子ＳＩ２‐第２二次コイルＳＣ２‐第２二次外部端子Ｓ２‐第３二次外部端子Ｓ３‐第３二次コイルＳＣ３‐第３二次内部端子ＳＩ３‐第２二次ビアＳＶ２‐第４二次内部端子ＳＩ４‐第４二次コイルＳＣ４‐第４二次外部端子Ｓ４の順に連結されることで、二次コイルの開始点から二次コイルの終了点までが直列に連結され得ることが理解できるであろう。
【0040】
図８を参照すれば、本発明の一形態による信号伝達モジュール１０００は、第１ターミナル２００と、コモンモードフィルタ１００と、第２ターミナル３００と、を含む。また、コモンモードフィルタ１００と第２ターミナル３００との間には、必要に応じて、ＬＣフィルタなどの多様なフィルタ４００がさらに備えられていてもよい。
【0041】
この信号伝達モジュール１０００は第１電子装置ＥＤに備えられて、他の外部装置、例えば、図８に例示の第２電子装置（ｓｅｃｏｎｄ ｄｅｖｉｃｅ）と信号を送受信する機能をすることができる。
【0042】
ここで、第１電子装置ＥＤと第２電子装置とが所定のデータを送受信するためにディファレンシャルモード信号を送受信すると仮定すると、この信号の送受信過程で割り込むコモンモード信号がノイズとみなされ得る。コモンモードフィルタ１００は、そのコモンモードノイズを減少させる機能をすることができる。
【0043】
先ず、第１ターミナル２００は、第２電子装置と選択的に連結または遮断されることができる。
【0044】
そして、第１ターミナル２００には、上述または後述のコモンモードフィルタ１００が連結されることができる。
【0045】
また、第２ターミナル３００は、コモンモードフィルタ１００に直接連結されるか、またはフィルタ４００などを介して連結されて、コモンモードノイズの少なくとも一部が除去された信号を出力する機能をすることができる。
【0046】
図９を参照すれば、本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００は、一次コイルＰＣの開始点が第１一次外部端子Ｐ１であり、一次コイルＰＣの終了点が第４一次外部端子Ｐ４であることができる。また、二次コイルＳＣの開始点が第１二次外部端子Ｓ１であり、二次コイルＳＣの終了点が第４二次外部端子Ｓ４であることができる。
【0047】
上記のように、一次コイルの両端及び二次コイルの両端それぞれに端子が備えられることで、信号送受信経路上にコモンモードフィルタ１００が連結されて、コモンモードノイズを除去する機能をすることができる。
【0048】
また、図１から図３ｃなどを参照すれば、一形態において、第１一次外部端子Ｐ１は第１一次外部電極１４１と連結され、第４一次外部端子Ｐ４は第２一次外部電極１４２と連結され、第１二次外部端子Ｓ１は第１二次外部電極１４３と連結され、第４二次外部端子Ｓ４は第２二次外部電極１４４と連結されることができる。さらに、第１一次外部電極１４１は第１一次外部めっき端子１５１と連結され、第２一次外部電極１４２は第２一次外部めっき端子１５２と連結され、第１二次外部電極１４３は第１二次外部めっき端子１５３と連結され、第２二次外部電極１４４は第２二次外部めっき端子１５４と連結されることができる。結果的に、第１一次外部めっき端子１５１が第１一次外部端子Ｐ１と連結され、第２一次外部めっき端子１５２が第４一次外部端子Ｐ４と連結され、第１二次外部めっき端子１５３が第１二次外部端子Ｓ１と連結され、第２二次外部めっき端子１５４が第４二次外部端子Ｓ４と連結されることになる。
【0049】
したがって、第１一次外部電極１４１または第１一次外部めっき端子１５１が第１ターミナル２００に連結され、第１二次外部電極１４３または第１二次外部めっき端子１５３が第１ターミナル２００に連結されることができる。
【0050】
また、第２一次外部電極１４２または第２一次外部めっき端子１５２が第２ターミナル３００に連結され、第２二次外部電極１４４または第２二次外部めっき端子１５４が第２ターミナル３００に連結されることができる。
【0051】
一方、図４ａから図５を参照すれば、本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００は、第１一次外部端子Ｐ１と第２一次外部端子Ｐ２は、垂直投影領域で互いに重ならない位置に備えられるが、第２一次外部端子Ｐ２、第３一次外部端子Ｐ３、及び第４一次外部端子Ｐ４は、垂直投影領域で互いに重なる位置に備えられる。これにより、図９に例示されたようなコモンモードフィルタ１００が具現されることができる。
【0052】
ここで、図５を参照すれば、第２一次外部端子Ｐ２と第３一次外部端子Ｐ３とは直接連結されるが、第３一次外部端子Ｐ３と第４一次外部端子Ｐ４とは直接連結されてはならないことが理解できるであろう。
【0053】
上述のように、第２一次外部端子Ｐ２、第３一次外部端子Ｐ３、及び第４一次外部端子Ｐ４は、垂直投影領域で互いに重なる位置に備えられるため、第２一次外部端子Ｐ２と第３一次外部端子Ｐ３とが直接連結されるには問題ない。しかし、第３一次外部端子Ｐ３と第４一次外部端子Ｐ４は、垂直投影領域で互いに重なる位置に備えられながらも、直接連結されてはならないため、別の手段が必要である。この手段として、本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００には、絶縁物質からなる第１不連続部ＤＣ１が第３一次外部端子Ｐ３と第４一次外部端子Ｐ４との間に備えられる。
【0054】
二次コイルについては、図５のような模式図を別に図示していないが、上述の一次コイルの第１不連続部ＤＣ１と同様の原理で第２不連続部ＤＣ２が備えられることができる。
【0056】
外部電極は第４コイル層Ｌ４の上部に備えられることができる。すなわち、第４一次外部端子Ｐ４の上部面に接触される第２一次外部電極１４２と、第４二次外部端子Ｓ４の上部面に接触される第２二次外部電極１４４と、が備えられることができる。
【0057】
一方、第１一次外部電極１４１は第１一次外部端子Ｐ１の上部に備えられ、第１二次外部電極１４３は第１二次外部端子Ｓ１の上部に備えられることができる。但し、第１一次外部電極１４１と第１一次外部端子Ｐ１とは互いに直接接触されず、第１二次外部電極１４３と第１二次外部端子Ｓ１とは互いに直接接触されない。そのため、第１一次外部端子Ｐ１の垂直投影領域において、第２コイル層Ｌ２には第２ダミー一次外部端子ＤＰ２、第３コイル層Ｌ３には第３ダミー一次外部端子ＤＰ３、第４コイル層Ｌ４には第４ダミー一次外部端子ＤＰ４がさらに備えられることができる。また、第１二次外部端子Ｓ１の垂直投影領域において、第２コイル層Ｌ２には第２ダミー二次外部端子ＤＳ２、第３コイル層Ｌ３には第３ダミー二次外部端子ＤＳ３、第４コイル層Ｌ４には第４ダミー二次外部端子ＤＳ４がさらに備えられることができる。この際、「ダミー」という用語は、該当コイル層のコイルと直接的な連結関係を有しないという意味で用いられる用語である。このダミー端子を介して、第１コイル層Ｌ１に備えられた第１一次外部端子Ｐ１及び第１二次外部端子Ｓ１が、第１一次外部電極１４１及び第２一次外部電極１４２とそれぞれ連結されることができる。
【0058】
また、外部めっき端子１５０は、外部電極１４１、１４２、１４３、１４４の表面に備えられる。外部めっき端子１５０は、コモンモードフィルタ１００を電子装置の回路基板（不図示）などに実装する際の作業効率性を向上させるとともに、コモンモードフィルタ１００と回路基板（不図示）と間の結合力を向上させる機能をすることができる。そして、外部めっき端子１５０は、通常のニッケルまたはニッケル合金で形成されることができる。
【0059】
一方、外部めっき端子１５０は、外部電極の上面だけでなく、側面にも形成されることができる。ここで、本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００において、第１不連続部ＤＣ１は第２一次外部電極１４２の垂直下方領域に備えられ、第２不連続部ＤＣ２は第２二次外部電極１４４の垂直下方領域に備えられることは、上述したとおりである。これら第１不連続部ＤＣ１及び第２不連続部ＤＣ２は、一次コイル及び二次コイルそれぞれが開始点から終了点まで直列に連結されるようにする機能をする。したがって、少なくとも第２一次外部電極１４２に接触される第２一次外部めっき端子１５２及び第２二次外部電極１４４に接触される第２二次外部めっき端子１５４は、少なくとも第１不連続部ＤＣ１及び第２不連続部ＤＣ２の下方に備えられる外部端子と直接接触されてはならない。すなわち、第２一次外部電極１４２に接触される第２一次外部めっき端子１５２が、第３一次外部端子Ｐ３及び第２一次外部端子Ｐ２に直接接触されてはならず、第２二次外部電極１４４に接触される第２二次外部めっき端子１５４が、第３二次外部端子Ｓ３及び第２二次外部端子Ｓ２に直接接触されてはならない。そのために、少なくとも第３一次外部端子Ｐ３及び第２一次外部端子Ｐ２と第２一次外部めっき端子１５２との間には、絶縁物質からなる第１絶縁壁ＩＷ１が備えられることができる。また、少なくとも第３二次外部端子Ｓ３及び第２二次外部端子Ｓ２と第２二次外部めっき端子１５４との間には、絶縁物質からなる第２絶縁壁ＩＷ２が備えられることができる。
【0061】
図６及び図７を参照すれば、第２一次外部めっき端子１５２´及び第２二次外部めっき端子１５４´をコモンモードフィルタ１００の上面にのみ備えることで、上述の第１絶縁壁ＩＷ１及び第２絶縁壁ＩＷ２がなくても、同一の目的を実現することができることが理解できるであろう。
【0062】
図１０ａから図１０ｅは本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００の製造方法を説明するための図面であって、図１０ａは第１コイル層Ｌ１を形成する過程を図１のＩ‐Ｉ´線の断面で概略的に例示した工程断面図であり、図１０ｂは第２コイル層Ｌ２を形成する過程を図１のＩ‐Ｉ´線の断面で概略的に例示した工程断面図であり、図１０ｃは第３コイル層Ｌ３を形成する過程を図１のＩ‐Ｉ´線の断面で概略的に例示した工程断面図であり、図１０ｄは第４コイル層Ｌ４を形成する過程を図１のＩ‐Ｉ´線の断面で概略的に例示した工程断面図であり、図１０ｅは第４コイル層Ｌ４を形成する過程を図１のＩＩＩ‐ＩＩＩ´線の断面で概略的に例示した工程断面図である。
【0063】
また、図１１ａから図１１ｉは、本発明の一形態によるコモンモードフィルタ１００の製造方法で用いられるそれぞれのマスクの平面図であって、図１１ａは第１層用マスクＭＬ１の平面図であり、図１１ｂは第２層用マスクＭＬ２の平面図であり、図１１ｃは第３層用マスクＭＬ３の平面図であり、図１１ｄは第４層用マスクＭＬ４の平面図であり、図１１ｅは第１マスクＭ１の平面図であり、図１１ｆは第２マスクＭ２の平面図であり、図１１ｇは第３マスクＭ３の平面図であり、図１１ｈは図１１ｇの第３マスクＭ３を反時計方向に９０度回転した状態の平面図であり、図１１ｉは図１１ｄの第４層用マスクＭＬ４を反時計方向に９０度回転した状態の平面図である。
【0064】
一方、本明細書では、ネガ型リソグラフィ法を基準として各工程を説明するが、ポジ型リソグラフィ法や積層法でコモンモードフィルタを製造してもよいことが理解できるであろう。
【0065】
また、図１０ａから図１０ｄは図１のＩ‐Ｉ´線の断面を示した工程断面図であり、図１０ｅは図１のＩＩＩ‐ＩＩＩ´線の断面を示した工程断面図であるため、Ｉ‐Ｉ´線の断面やＩＩＩ‐ＩＩＩ´線の断面で見えない部分は表示されない。しかし、図１から図１１ｉを総合的に参照すれば、本発明の一形態によるコモンモードフィルタの製造方法の進行過程が十分に理解できるであろう。
【0067】
この際、第１コイル層Ｌ１は、フェライトなどの磁性物質からなる基板１１０の上部に形成することができる。
【0068】
先ず、図１０ａを参照すれば、基板１１０の上面にシード層ＳＥを形成した後、シード層ＳＥの上面にフォトレジストＰＲを形成する。次に、第１層用マスクＭＬ１を用いて露光工程を行った後、露光された領域のフォトレジストＰＲを除去する。この際、第１層用マスクＭＬ１は、上述の第１コイル層Ｌ１をなす第１一次コイルＰＣ１、第２二次コイルＳＣ２、第１一次内部端子ＰＩ１、第１一次外部端子Ｐ１、第１二次内部端子ＳＩ１、及び第２二次外部端子Ｓ２が備えられるべき領域に対応する部分に光が透過されるように形成されたマスクであり、図１１ａにその一例が例示されている。
【0069】
次に、フォトレジストＰＲが除去された領域にめっき工程を施した後、第１ダミー一次外部端子ＤＰ１及び第１ダミー二次外部端子ＤＳ１などが形成された領域を除いた部分のフォトレジストＰＲ及びシード層ＳＥを除去する。これにより、図４ａに例示されたような平面形状を有する第１コイル層Ｌ１が形成されることができる。
【0070】
図１０ｂを参照すれば、第１コイル層Ｌ１の上面にフォトレジストＰＲを形成した状態で、第１マスクＭ１を用いて露光工程を行った後、露光された領域のフォトレジストＰＲを除去する。この際、第１マスクＭ１の一例が図１１eに例示されている。第１マスクＭ１は、４つの外部端子またはダミー外部端子それぞれに対応する位置及び一次ビア及び二次ビアに対応する位置に光が透過されるように形成されることができる。
【0071】
次に、第１マスクＭ１により露光されフォトレジストＰＲが除去された領域及び残留のフォトレジストＰＲの上部領域にシード層ＳＥを形成する。
【0072】
次に、シード層ＳＥの上部を覆うようにフォトレジストＰＲを形成した状態で、第２層用マスクＭＬ２を用いて露光工程を行った後、露光された領域のフォトレジストＰＲを除去する。
【0073】
次に、フォトレジストＰＲが除去された領域にめっき工程を施した後、第２一次外部端子Ｐ２、第２二次コイルＳＣ２、及び第２二次外部端子Ｓ２などが形成された領域を除いた部分のフォトレジストＰＲ及びシード層ＳＥを除去する。これにより、図４ｂに例示されたような平面形状を有する第２コイル層Ｌ２が形成されることができる。
【0074】
図１０ｃを参照すれば、第２コイル層Ｌ２上にフォトレジストＰＲを形成した状態で、第２マスクＭ２を用いて露光工程を行った後、露光された領域のフォトレジストＰＲを除去する。この際、第２マスクＭ２は、第２コイル層Ｌ２の形成過程で用いられた第１マスクＭ１と同様に、４つの外部端子またはダミー外部端子それぞれに対応する位置に光が透過されるように形成されたマスクであることができる。但し、第１マスクＭ１は、一次ビア及び二次ビアに対応する領域に光が透過されるが、第２マスクＭ２は、一次ビア及び二次ビアに対応する領域に光が透過されないように形成される点で異なる。第２マスクＭ２の一例が図１１ｆに例示されている。
【0075】
次に、第２マスクＭ２により露光されフォトレジストＰＲが除去された領域及び残留のフォトレジストＰＲの上部領域にシード層ＳＥを形成する。
【0076】
次に、シード層ＳＥの上部を覆うようにフォトレジストＰＲを形成した状態で、第３層用マスクＭＬ３を用いて露光工程を行った後、露光された領域のフォトレジストＰＲを除去する。
【0077】
次に、フォトレジストＰＲが除去された領域にめっき工程を施した後、第３一次外部端子Ｐ３、第３一次コイルＰＣ３、及び第３二次外部端子Ｓ３などが形成された領域を除いた部分のフォトレジストＰＲ及びシード層ＳＥを除去する。これにより、図４ｃに例示されたような平面形状を有する第３コイル層Ｌ３が形成されることができる。
【0078】
図１０ｄ及び図１０ｅを参照すれば、第３コイル層Ｌ３の上面にフォトレジストＰＲを形成した状態で、第３マスクＭ３を用いて露光工程を行った後、露光された領域のフォトレジストＰＲを除去する。この際、第３マスクＭ３は、第１マスクＭ１と異なって、第３一次外部端子Ｐ３及び第３二次外部端子Ｓ３それぞれに対応する位置には光が透過されず、第３ダミー一次外部端子ＤＰ３及び第３ダミー二次外部端子ＤＳ３それぞれに対応する位置、一次ビア及び二次ビアそれぞれに対応する位置にのみ光が透過されるように形成されることができる。第３マスクＭ３の一例が図１１ｇ及び図１１ｈに例示されている。
【0079】
次に、第３マスクＭ３により露光されフォトレジストＰＲが除去された領域及び残留のフォトレジストＰＲの上部領域にシード層ＳＥを形成する。
【0080】
次に、シード層ＳＥの上部を覆うようにフォトレジストＰＲを形成した状態で、第４層用マスクＭＬ４を用いて露光工程を行った後、露光された領域のフォトレジストＰＲを除去する。
【0081】
次に、フォトレジストＰＲが除去された領域にめっき工程を施した後、第４一次外部端子Ｐ４、第４二次コイルＳＣ４、第４二次外部端子Ｓ４、及び第４ダミー二次外部端子ＤＳ４などが形成された領域を除いた部分のフォトレジストＰＲ及びシード層ＳＥを除去する。これにより、図４ｄに例示されたような平面形状を有する第４コイル層Ｌ４が形成されることができる。
【0082】
ここで、図１０ｄ及び図１０ｅを参照すれば、第３一次外部端子Ｐ３と第４一次外部端子Ｐ４との間及び第３二次外部端子Ｓ３と第４二次外部端子Ｓ４との間にはフォトレジストＰＲが残って、外部端子の間が直接接触されることを防止している。この部分が、図１から図４ｄなどを参照して上述した第１不連続部ＤＣ１及び第２不連続部ＤＣ２に該当する。すなわち、第１不連続部ＤＣ１及び第２不連続部ＤＣ２が明確に理解されるように、図１から図４ｄでは絶縁部１２２と異なるハッチングで示したが、第１不連続部ＤＣ１及び第２不連続部ＤＣ２は、フォトレジストＰＲによって絶縁部１２２とともに具現され得ることが理解できるであろう。一方、第１不連続部ＤＣ１及び第２不連続部ＤＣ２が備えられた層を別に機能層Ｌ４´と称することもできる。すなわち、機能層Ｌ４´は、第３コイル層Ｌ３と第４コイル層Ｌ４との間に備えられ、第３一次外部端子Ｐ３と第４一次外部端子Ｐ４との間、第３二次外部端子Ｓ３と第４二次外部端子Ｓ４との間が直接接触されないようにするとともに、第３ダミー一次外部端子ＤＰ３と第４ダミー一次外部端子ＤＰ４との間、第３ダミー二次外部端子ＤＳ３と第４ダミー二次外部端子ＤＳ４との間は直接接触されるようにする層を意味する。
【0084】
また、図３ａなどでは、各コイル層の一次コイル及び二次コイルが垂直方向に整列されて備えられていることを例示したが、上層と下層のコイルパターンが互いにずれて備えられるようにすることで、上層と下層のコイル間の寄生キャパシタンスを減少させることもできる。
【0085】
一方、図示していないが、第４コイル層Ｌ４を形成した後、第４コイル層Ｌ４の上部に外部電極を形成する工程、磁性体部１３０を形成する工程、外部めっき端子を形成する工程などがさらに行われることができ、このような構成要素の製造過程は、図１から図１１ｉを総合的に参照すれば十分に理解できるであろう。
【0086】
図１２は本発明の他の形態によるコモンモードフィルタを図１のＩ‐Ｉ´線に沿って切断した断面を概略的に例示した断面図であり、図１３ａは本発明の他の形態によるコモンモードフィルタを図１のＩＩ‐ＩＩ´線に沿って切断した断面を概略的に例示した断面図であり、図１３ｂは本発明のさらに他の形態によるコモンモードフィルタを図１のＩＩ‐ＩＩ´線に沿って切断した断面を概略的に例示した断面図であり、図１４ａは本発明の他の形態によるコモンモードフィルタの第２Ｎ‐１コイル層を概略的に例示した平面図であり、図１４ｂは本発明の他の形態によるコモンモードフィルタの第２Ｎコイル層を概略的に例示した平面図であり、図１４ｃは本発明のさらに他の形態によるコモンモードフィルタの第２Ｎコイル層を概略的に例示した平面図であり、図１５は本発明の他の形態による一次コイルの連結関係を概略的に例示した模式図である。
【0087】
上述の図１から図１１ｉとともに図１２から図１５を参照すれば、本発明の他の形態によるコモンモードフィルタは、コイル層が６層または８層などのさらに多くの層からなることができることが理解できるであろう。
【0088】
図１２などでは、４層以上のコイル層を第２Ｎ‐１コイル層Ｌ２Ｎ‐１及び第２Ｎコイル層Ｌ２Ｎで例示しており、この際、Ｎは３以上の自然数である。すなわち、Ｎが３である場合、本発明の他の形態によるコモンモードフィルタ１００´´は第１〜第６コイル層を含むことができる。また、Ｎが４である場合、本発明の他の形態によるコモンモードフィルタ１００´´は第１〜第８コイル層を含むことができる。
【0089】
但し、図示の簡略化のために、４層以上のコイル層のうち最上部の２つの層のみを図示しており、図示していないが、Ｎが４以上の自然数である場合、第２Ｎ‐１コイル層Ｌ２Ｎ‐１の下部に第２Ｎ‐２コイル層、第２Ｎ‐３コイル層などがさらに備えられることできる。
【0090】
一方、第２Ｎ‐１コイル層には、第２Ｎ‐１一次コイルＰＣ２Ｎ‐１と第２Ｎ‐１二次コイルＳＣ２Ｎ‐１とが所定間隔で離隔した状態でともに螺旋状に形成されており、第２Ｎ‐１一次コイルＰＣ２Ｎ‐１の一端には第２Ｎ‐１一次外部端子Ｐ２Ｎ‐１が連結され、第２Ｎ‐１一次コイルＰＣ２Ｎ‐１の他端には第２Ｎ‐１一次内部端子ＰＩ２Ｎ‐１が連結されている。同様に、第２Ｎ‐１二次コイルＳＣ２Ｎ‐１の一端には第２Ｎ‐１二次外部端子Ｓ２Ｎ‐１が連結され、第２Ｎ‐１二次コイルＳＣ２Ｎ‐１の他端には第２Ｎ‐１二次内部端子ＳＩ２Ｎ‐１が連結されている。
【0091】
そして、第２Ｎコイル層Ｌ２Ｎも、上述の形態と類似の形態で構成されることができる。
【0092】
但し、第４コイル層の上部に第５コイル層〜第２Ｎコイル層がさらに備えられる場合には、第５コイル層と第６コイル層との間及び第２Ｎ‐１コイル層Ｌ２Ｎ‐１と第２Ｎコイル層Ｌ２Ｎとの間それぞれにも不連続部ＤＣ２Ｎ‐１、ＤＣ２Ｎが備えられるべきである。
【0093】
ここで、第１一次外部端子Ｐ１〜第４一次外部端子Ｐ４までが順に連結されることは、図５を参照して説明したとおりである。さらに、図１５を参照すれば、第２Ｎ‐１一次外部端子Ｐ２Ｎ‐１‐第２Ｎ‐１一次コイルＰＣ２Ｎ‐１‐第２Ｎ‐１一次内部端子ＰＩ２Ｎ‐１‐第Ｎ一次ビアＰＶＮ‐第２Ｎ一次内部端子ＰＩ２Ｎ‐第２Ｎ一次コイルＰＣ２Ｎ‐第２Ｎ一次外部端子Ｐ２Ｎの順に連結されることで、一次コイルの開始点から一次コイルの終了点までが直列に連結され得ることが理解できるであろう。
【0094】
この際、第２Ｎ‐１不連続部は、第２Ｎ‐１一次外部端子Ｐ２Ｎ‐１と第２Ｎ一次外部端子Ｐ２Ｎとの間の領域に備えられることができる。
【0095】
図示していないが、二次コイルの場合も、同一の方式で直列連結されて構成されることができる。すなわち、第２Ｎ‐１二次外部端子Ｓ２Ｎ‐１‐第２Ｎ‐１二次コイルＳＣ２Ｎ‐１‐第２Ｎ‐１二次内部端子ＳＩ２Ｎ‐１‐第Ｎ二次ビアＳＶＮ‐第２Ｎ二次内部端子ＳＩ２Ｎ‐第２Ｎ二次コイルＳＣ２Ｎ‐第２Ｎ二次外部端子Ｓ２Ｎの順に連結されることで、二次コイルの開始点から二次コイルの終了点までが直列に連結され得ることが理解できるであろう。
【0096】
この際、第２Ｎ不連続部は、第２Ｎ‐１二次外部端子Ｓ２Ｎ‐１と第２Ｎ二次外部端子Ｓ２Ｎとの間の領域に備えられることができる。
【0097】
図１４ｃは本発明のさらに他の形態によるコモンモードフィルタの第２Ｎコイル層の平面形状を例示している。
【0098】
本発明のさらに他の形態によるコモンモードフィルタにおいて、第２Ｎコイル層には、螺旋状に形成された一次コイルの代りに、螺旋状コイルに比べ相対的に短い一次リードパターンＰＬにより、第２Ｎ一次内部端子ＰＩ２Ｎと第２Ｎ一次外部端子Ｐ２Ｎとの間が連結される。また、二次コイルの代りに、螺旋状のコイルに比べ相対的に短い二次リードパターンＳＬにより、第２Ｎ二次内部端子ＳＩ２Ｎと第２Ｎ二次外部端子Ｓ２Ｎとの間が連結される。
【0099】
この形態では、第２Ｎコイル層に一次リードパターンＰＬ及び二次リードパターンＳＬが備えられた場合を例示的に説明したが、必要に応じて、第２コイル層、第４コイル層などの偶数層にも、一次コイルまたは二次コイルの代わりに一次リードパターン及び二次リードパターンが備えられていてもよい。
【0100】
上述の説明と類似の事項についての重複説明は省略する。
【符号の説明】
【0101】
ＥＤ 第１電子装置１０００ 信号伝達モジュール
１００ コモンモードフィルタ
１１０ 基板
１２０ コイル部
１２２ 絶縁部
１３０ 磁性体部
１４１〜１４４ 外部電極
１５０ 外部めっき端子
ＤＣ１、ＤＣ２ 不連続部
ＩＷ１、ＩＷ２ 絶縁壁
ＰＣ１〜４ 一次コイル
ＳＣ１〜４ 二次コイル
Ｌ１〜４ コイル層
Ｌ４´ 機能層
Ｐ１〜４ 一次外部端子
Ｓ１〜４ 二次外部端子
ＰＩ１〜４ 一次内部端子
ＳＩ１〜４ 二次内部端子
ＤＰ１〜４ ダミー一次外部端子
ＳＰ１〜４ ダミー二次外部端子
ＰＶ１〜２ 一次ビア
ＳＶ１〜２ 二次ビア
Ｍ１ 第１マスク
Ｍ２ 第２マスク
ＭＬ１ 第１層用マスク
ＭＬ２ 第２層用マスク
ＭＬ３ 第３層用マスク
ＭＬ４ 第４層用マスク
ＰＲ フォトレジスト
ＳＥ シード層
２００ 第１ターミナル
３００ 第２ターミナル
４００ フィルタ