発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明が解決しようとする課題は、レベリング性に優れ、起泡しにくく、且つ起泡しても、短時間で消泡するコーティング組成物が得られる界面活性剤及び、これを用いたコーティング組成物とレジスト組成物を提供することにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明により、レベリング性に優れると共に、コーティング組成物に添加しても該組成物が起泡しにくく、また、起泡しても消泡性に優れる界面活性剤を提供できる。また、本発明の界面活性剤はスピンコーティング、ロールコーティング、ディップコーティング、スプレーコーティング、プレードコーティング、スリットコーティング、カーテンコーティング、グラビアコーティング等の多様な塗工方法に適応でき、高度な表面平滑性を有する塗膜を得ることができることからコーティング組成物、特にレジスト組成物に好適に用いることが出来る。