発明の名称 ウェーハを検査しかつ/または分類するコンピュータ実装方法
出願人 ケーエルエー−テンカー・コーポレーション (識別番号 502442049)
特許公開件数ランキング 13975 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 11686 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2015-215352
公報発行日 2015年12月3
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-215352
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