発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

ところで、貼り合わせウェーハの場合には、ウェーハの外周部から貼り合わせ用の樹脂が数μｍ〜数十μｍだけ食み出してウェーハの外径にバラツキが生じたり、フルトリミング加工したウェーハの場合には、ウェーハの外周部を除去する幅によってウェーハの外径が変化したりする。このようなウェーハを、特許文献２に記載のエッジクランプ式の搬送装置で搬送する際には、搬送装置自体に不具合が生じたり、ウェーハのクランプ時にウェーハの外周部が破損したりする虞があった。また、搬送エラーが生じる度に、クランプ位置（作用位置）を微調整しなければならず作業が煩雑になっていた。 本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、外径にバラツキが生じるウェーハや、加工によって外径が変化したウェーハを適切に搬送することができる搬送装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、非接触式センサを設けた複数の爪部材を独立に移動させ、非接触式センサによってウェーハの外周部側面が検知したときの各爪部材の位置を作用位置としたことで、ウェーハの外径のバラツキ等に対応させて、ウェーハを適切に搬送することができる。