発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

前述したように、薄膜ガスセンサにとってガス選択性の向上は重要な課題の一つであり、従来の薄膜ガスセンサに比べて、所定のガス選択性をより長期にわたって維持するという強い要請がある。
そこで、本発明の解決課題は、経年的な使用によってもガス選択性能の低下が小さく、より長期にわたり安定的な特性を維持する薄膜ガスセンサを提供することにある。
また、本発明の別の解決課題は、機械的強度を高めると共に消費電力の低減に寄与することができる薄膜ガスセンサを提供することにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、選択燃焼層よりも内側に形成されるガス感知膜の外周面と、選択燃焼層の外周面との間の最短距離を、選択燃焼層の膜厚以上としたことにより、当初のガス選択性を長期にわたって維持可能な薄膜ガスセンサを実現することができる。
また、ダイアフラムの直径及び膜厚を所定の範囲に設定すれば、機械的強度が強く、消費電力の低減に寄与する薄膜ガスセンサを得ることができる。