特開 2015-230979 圧電素子の接着方法及び接着装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2015-230979(P2015-230979A)

(43)【公開日】2015年12月21日

(54)【発明の名称】圧電素子の接着方法及び接着装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 41/313 20130101AFI20151124BHJP

   C09J 5/00 20060101ALI20151124BHJP

   H01L 41/09 20060101ALI20151124BHJP

   B41J 2/16 20060101ALI20151124BHJP

   B41J 2/14 20060101ALI20151124BHJP

【ＦＩ】

   H01L41/313

   C09J5/00

   H01L41/09

   B41J2/16 503

   B41J2/14 305

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2014-116833(P2014-116833)

(22)【出願日】2014年6月5日

(71)【出願人】

【識別番号】000250502

【氏名又は名称】理想科学工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100067323

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 教光

(74)【代理人】

【識別番号】100124268

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 典行

(72)【発明者】

【氏名】尾塩 晋

(72)【発明者】

【氏名】中野 一男

【テーマコード（参考）】

2C057

4J040

【Ｆターム（参考）】

2C057AF93

2C057AG44

2C057AL13

2C057AP25

4J040LA09

4J040NA19

4J040PA00

4J040PA29

4J040PA37

(57)【要約】      （修正有）

【課題】圧電素子を支持体に接着剤で接着する作業を高い信頼性で効率よく行える接着方法を提供する。
【解決手段】圧電素子７の第２電極１０と支持体５の第３電極６間に接着剤１１を設け、ピストン２４で圧電素子７を支持体５に押圧し、接着工程を実行しながら、圧電素子７の第１電極９と支持体５を結ぶ計測回路３０のパルス発生手段３１によって圧電素子７にパルス信号を加える。圧電素子７と支持体５の接着が進んで接触抵抗が減少し、回路の電流値が低下したことが電圧計３２で確認された時に接着完了とする。圧電素子７の振動により接着剤１１内の気泡が除去され、各電極面の酸化層が除去され、接着剤１１は厚さが均一化して接着される。接着工程と検査工程が同時に行え、効率がよい。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１電極と第２電極で圧電体を挟んでなる圧電素子を接着剤で対象物に接着し、前記第２電極と前記対象物を電気的に接続する圧電素子の接着方法において、
前記圧電素子の前記第２電極と前記対象物の間に接着剤を設けて前記圧電素子を前記対象物に押圧する接着工程を実行するとともに、前記圧電素子の前記第１電極と前記対象物を接続する計測回路によって前記圧電素子に交流信号を加え、前記計測回路に流れる電流の値に基づいて前記接着工程の完了時期を管理することを特徴とする圧電素子の接着方法。

【請求項2】

前記計測回路に設けたパルス発生手段によって前記圧電素子にパルス信号を加え、前記計測回路に設けた電圧計によって電圧を測定し、前記電圧計が測定した電圧が所定の値よりも大きくなった場合に前記接着工程を終了することを特徴とする請求項１記載の圧電素子の接着方法。

【請求項3】

第１電極と第２電極で圧電体を挟んでなる圧電素子を接着剤で対象物に接着し、前記第２電極と前記対象物を電気的に接続する圧電素子の接着装置において、
前記第２電極と前記対象物の間に接着剤が設けられた状態で前記圧電素子を前記対象物に押圧する接着工程を実行する押圧手段と、
前記圧電素子の前記第１電極と前記対象物を接続し、前記圧電素子に交流信号を加えるとともに、前記押圧手段による前記接着工程の完了時期を管理するために電流を計測する計測回路と、
を具備することを特徴とする圧電素子の接着装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧電素子を対象物に接着剤で接着する作業を高い信頼性で効率よく行うことができる接着方法及び接着装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献１には、圧電素子の貼着方法に関する発明が開示されている。この発明の方法によれば、まず接着剤が塗布された基板の表面に圧電素子を載せて仮貼着する。接着剤の正規の加熱条件下で接着力が低下する粘着剤層を塗布したシートを、圧電素子の上から被せて基板表面に仮貼着する。そして圧電素子をシート越しに基板に向けて押圧しながら正規の加熱条件で加熱して本貼着する。その後、シートを圧電素子及び基板から剥離して除去する。この方法によれば、本貼着中に圧電素子と基板の間からはみ出た接着剤はシートに阻止されるため、圧電素子の上側まで迂回して付着・硬化することが完全に防止されるので、圧電素子の本来の機能を発揮させることができるものとされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平４−１８９５４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記特許文献１に記載の圧電素子の貼着方法によれば、接着工程において圧電素子の上面側の電極をカバーで覆うため、圧電素子の上面側の電極に接着剤が付着して硬化するといった不都合を回避することはできる。しかしながら、この方法であっても、接着剤の厚さ等の接着条件を実際に管理しているわけではない。また貼り合わせ時に接着剤中に気泡が入ってしまった場合や、圧電素子や対象物の接着面に汚れや酸化層等があった場合に、その除去ができるわけでもない。従って、この方法では圧電素子と貼着対象物の接着剤による安定的かつ効率的な貼着は実際には困難であった。

【0005】

本発明は、このような従来の技術及びその課題に鑑みてなされたものであり、圧電素子を対象物に接着剤で接着する作業を高い信頼性で効率よく行うことができる接着方法及び接着装置を提供することを主たる目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

請求項１に記載された圧電素子の接着方法は、
第１電極と第２電極で圧電体を挟んでなる圧電素子を接着剤で対象物に接着し、前記第２電極と前記対象物を電気的に接続する圧電素子の接着方法において、
前記圧電素子の前記第２電極と前記対象物の間に接着剤を設けて前記圧電素子を前記対象物に押圧する接着工程を実行するとともに、前記圧電素子の前記第１電極と前記対象物を接続する計測回路によって前記圧電素子に交流信号を加え、前記計測回路に流れる電流の値に基づいて前記接着工程の完了時期を管理することを特徴としている。

【0007】

請求項２に記載された圧電素子の接着方法は、請求項１記載の圧電素子の接着方法において、
前記計測回路に設けたパルス発生手段によって前記圧電素子にパルス信号を加え、前記計測回路に設けた電圧計によって電圧を測定し、前記電圧計が測定した電圧が所定の値よりも大きくなった場合に前記接着工程を終了することを特徴としている。

【0008】

請求項３に記載された圧電素子の接着装置は、
第１電極と第２電極で圧電体を挟んでなる圧電素子を接着剤で対象物に接着し、前記第２電極と前記対象物を電気的に接続する圧電素子の接着装置において、
前記第２電極と前記対象物の間に接着剤が設けられた状態で前記圧電素子を前記対象物に押圧する接着工程を実行する押圧手段と、
前記圧電素子の前記第１電極と前記対象物を接続し、前記圧電素子に交流信号を加えるとともに、前記押圧手段による前記接着工程の完了時期を管理するために電流を計測する計測回路と、
を具備することを特徴としている。

【発明の効果】

【0009】

本発明に係る圧電素子の接着方法又は圧電素子の接着装置によれば、圧電素子の第２電極と対象物との間に接着剤を設け、圧電素子を対象物に押圧して接着工程を実行すると同時に、計測回路によって圧電素子に交流信号を加え、その時に計測回路に流れる電流を計測する。交流信号を与えられた圧電素子は振動するため、接着剤内に気泡がある場合には振動によってこれが除去され、また圧電素子と対象物の各電極面に汚れや酸化層がある場合には、これも振動によって除去される。さらに、圧電素子は対象物に押し付けられながら振動するため、圧電素子と対象物の間にある接着剤はこの振動の影響を受けて厚さが位置によらず均一になっていく。このように圧電素子に交流を加えながら接着工程を実行し、圧電素子と対象物の接着状態が良好になっていくと、両者間の接着抵抗は低下し、従って計測回路に流れる電流値は増大していく。このような状態は、例えば計測回路に設けた電圧計における電圧の上昇として確認することができる。従って、このような手法で、圧電素子が対象物に適正な状態で接着されたと判断した場合には、交流信号を停止し、接着工程を終了する。圧電素子は対象物に対して好ましい所定の良好な状態で接着されたことが保証される。また、接着工程で同時に電気的接続状態の検査も行うこととなるため、接着工程と検査工程を分離して行う場合よりも効率がよく、接着不良で廃棄処分となる材料も減少するので製造上の歩留りが良くなる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施形態が対象とする圧電素子が取りつけられたインクジェットヘッドの断面図である。

【図2】本発明の実施形態に係る圧電素子の接着装置と、これを用いた接着工程を示す模式的斜視図である。

【図3】本発明の実施形態に係る圧電素子の接着装置の計測原理図である。

【図4】分図（ａ）は本発明の実施形態に係る圧電素子の接着装置の電気等価回路図であり、分図（ｂ）は分図（ａ）中の圧電素子の電気等価回路図であり、分図（ｃ）は分図（ａ）中の接着抵抗の電気等価回路図である。

【図5】本発明の実施形態に係る圧電素子の接着装置を用いた接着工程において、接着時間の経過に伴って接着抵抗が低下していく状態を表すグラフを示す図である。

【図6】本発明の実施形態に係る圧電素子の接着装置を用いた接着工程において、計測回路に加えたパルス信号の波形と、計測回路において計測された電圧の波形を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

実施形態に係る圧電素子の接着装置と、これを用いた圧電素子の接着方法について、図１〜図６を参照して説明する。
実施形態に係る圧電素子の接着装置は、図１に例示するようなインクジェットヘッド１の製造及び検査に用いることができる。このインクジェットヘッド１は、内部にインク室２を備えた筐体３を本体としている。インク室２には図示しない供給部からインクが供給されるようになっており、本体の一方の面にはインクの吐出孔４が形成されている。また、吐出孔４と対面する本体の他方の面は金属製の支持体５から構成されており、この支持体５の外面には金属の第３電極６が設けられている。そして、このように構成された筐体３のインク室２にあるインクを吐出孔４から吐出させる駆動源として、圧電素子７が利用されている。圧電素子７は、圧電体８の両面に第１電極９と第２電極１０が設けられた素子であり、そのインクジェットヘッド１側にある第２電極１０が支持体５の第３電極６と接着剤１１によって接着され、導通している。
なお、上記第１乃至第３電極９，１０，６なる名称は、各電極を区別するために便宜上定めたものにすぎない。

【0012】

図１に示すインクジェットヘッド１を使用する場合には、図示のように圧電素子７の第１電極９と、本体の支持体５に設けられた第３電極６の間に交流電源１２を接続して駆動する。圧電素子７の圧電体８がＤ３１モードで変位すると、支持体５がその板面と垂直な方向に凹凸の変形を繰り返すように振動し、インク室２内のインクに圧力が加わってインクは吐出孔４から外に吐出され、画像形成に供される。なお、この実施形態では、圧電素子７を設けた筐体３の他方の面と平行な一方の面に吐出孔４を形成したが、圧電素子７の圧電体８の変位モードがＤ３３である場合には、図１中に一点鎖線にて仮想的に示したように、前記吐出孔４に替えて、圧電素子７を設けた面と直交する面に吐出孔４’を形成する構成例とすることができる。

【0013】

以上説明したように、図１に示すインクジェットヘッド１では、圧電素子７を支持体５に接着剤１１で接着・固定し、圧電素子７の第２電極１０と支持体５の第３電極６を電気的に導通させる必要があり、この導通が確実でないと、インクジェットヘッド１としての確実な作動が保証されない。なお、図１では図示の便宜上、第２電極１０と第３電極６の間に接着剤１１の層が介在しており、両電極は接触していないように表されているが、適正に接着が行なわれれば、両電極が必要な接触面積で接触した状態になることはもちろんである。そこで、本実施形態では、インクジェットヘッド１の製造工程において、特に、支持体５に圧電素子７を接着剤１１で接着して両者を導通させる接着工程において、接着工程中の支持体５と圧電素子７の貼着状態を電気的に管理しながら、押圧手段で圧電素子７を支持体５に押圧する接着装置を用いている。

【0014】

図２は、実施形態に係る圧電素子７の接着装置２０と、これを用いた接着工程を示す模式的斜視図である。同図に示すように、この接着装置２０は平板状の検査台２１を備えている。圧電素子７の第２電極１０と支持体５の第３電極６が間に接着剤１１を挟んで対面するように、圧電素子７を支持体５の上に重ね、圧電素子７の第１電極９が上側になるように支持体５を検査台２１の上面に載置する。検査台２１の上面には図示しない接続電極があり、この接続電極は側面の外部端子部２２に接続されており、支持体５を検査台２１の上に載置すれば、支持体５及び第３電極６は外部端子部２２に導通するようになっている。

【0015】

また、検査台２１の上に載置された圧電素子７の第１電極９の上方には、図示しない固定部分に取りつけられた押圧部２３が配置されている。押圧部２３は、押圧制御部２５によって駆動を制御される押圧手段としてのピストン２４を有しており、必要な押圧力で圧電素子７及び支持体５を検査台２１に押し付けることができる。ピストン２４の押圧面には検出電極２６が設けられており、ピストン２４で圧電素子７を支持体５に押し付けると、この検出電極２６と圧電素子７の第１電極９が導通するようになっている。

【0016】

そして、この接着装置２０は、検査台２１上に載置された圧電素子７の第１電極９と支持体５とを接続する計測回路３０を備えている。この計測回路３０には、圧電素子７に交流信号を加える手段であるパルス発生手段３１と、押圧部２３による接着工程の完了時期を管理するために電流を計測する計測手段としての電圧計３２が設けられている。

【0017】

また、この接着装置２０は、押圧部２３による接着工程の完了時期を管理するための予備的管理手段として、振動検出手段４０を有している。振動検出手段４０は、圧電素子７の振動を音波として検出し、その振動数から圧電素子７と支持体５の貼着状態を確認する装置であり、圧電素子７の近傍に配置されるマイク等の集音手段４１と、集音手段４１で集めた振動を可聴音に増幅する増幅手段４２と、増幅手段４２からの出力を受けて可聴音を出力するスピーカ等の出力手段４３とを備えている。

【0018】

図２を参照して説明した実施形態の接着装置２０では、支持体５に接着剤１１を介して貼り付けた圧電素子７をピストン２４で所定時間にわたり支持体５側に押圧して完全な接着状態を得ることを目的としており、そのために、図２を参照して説明した計測回路３０を用いて圧電素子７と支持体５の接着状態を電気的に監視している。すなわち、ピストン２４で圧電素子７を支持体５に押圧しながら、接着装置２０の計測原理図である図３において、パルス発生手段３１が圧電素子７にパルス信号Ｖ₁ を加えると、計測回路３０には電流Ｉ₀ が流れ、電圧計３２は電圧Ｖ₂ を示す。ここで、ピストン２４による押圧が継続するにつれて圧電素子７と支持体５の接着状態が変化すると、電圧計３２の電圧Ｖ₂ が変化するので、これを基準として圧電素子７と支持体５の接着状態を判定する。

【0019】

図４の分図（ａ）は実施形態に係る接着装置２０の電気等価回路図であり、分図（ｂ）は分図（ａ）中の圧電素子７の電気等価回路図であり、分図（ｃ）は分図（ａ）中の接着抵抗ｒの電気等価回路図である。

【0020】

分図（ａ）において、Ｚは圧電素子７のインピーダンスであり、ｒは圧電素子７と支持体５の接着抵抗であり、Ｒは電圧計３２の検出抵抗の抵抗値であり、計測回路３０全体としての合成抵抗は（Ｚ＋ｒ＋Ｒ）で表される。従って、計測回路３０に加えられるパルス信号の電圧をＶ₁ とし、計測回路３０に流れる電流をＩ₀ とすると、
Ｉ₀ ＝Ｖ₁ ／（Ｚ＋ｒ＋Ｒ）
となる。

【0021】

さて、圧電素子７のインピーダンスＺは、分図（ｂ）の左図に示すように、直列に接続した誘導成分Ｌ₁ と第１の容量成分Ｃ₁ と抵抗成分Ｒ₁ と、これらと並列に接続した第２の容量成分Ｃ₀ から構成される。しかし、実施形態におけるパルス発生手段３１のパルス信号Ｖ₁ の周波数は１ｋＨｚ程度であり、この程度の低さである場合には、第２の容量成分Ｃ₀ によるインピーダンスが、その他の成分によるものに比べてはるかに大きく、分図（ｂ）の右図に示すように、結局、圧電素子７のインピーダンスＺは、Ｚ＝１／ωＣ₀ と見なすことができる。

【0022】

また、分図（ｃ）において、同分図左に示す圧電素子７と支持体５の接着抵抗ｒは、同分図右に示すように、並列に接続された直流抵抗成分ｒ₀ 及び容量性インピーダンスＺ_c と、これらと直列に接続されたリードインダクタンス成分Ｌ₂ とによって構成される。ここで、接着抵抗ｒを構成する各成分中、リードインダクタンス成分Ｌ₂ はパルス発生手段３１のパルス信号Ｖ₁ の周波数が１ｋＨｚ程度の低さである場合には無視することができる。

【0023】

そして直流抵抗成分ｒ₀ 及び容量性インピーダンスＺ_c は、圧電素子７と支持体５の接着状態によって変動する値であり、その変動によって回路全体の合成抵抗（Ｚ＋ｒ＋Ｒ）も変化する。図５は、接着開始後、接着時間の経過（横軸で示す）に伴って、圧電素子７の接着抵抗と回路全体の合成抵抗の値（縦軸で示す。但し各値によりスケールが異なる。）が変化していく様子を模式的に示したグラフである。より具体的には、接着後の時間経過に伴って、直流抵抗成分ｒ₀ （実線）と、容量性インピーダンスＺ_c （一点鎖線）と、合成抵抗（Ｚ＋ｒ＋Ｒ）（破線）が変化していく状態を表している。

【0024】

図５から分かるように、圧電素子７を支持体５に接着させた当初（図中「接着開始」）は、直流抵抗成分ｒ₀ （実線）は高く、容量性インピーダンスＺ_c （一点鎖線）も当初は圧電素子７の第２電極１０と支持体５の第３電極６の間隔が相対的に大きいために高く、従って、計測回路３０の全体としての合成抵抗（Ｚ＋ｒ＋Ｒ）（破線）も高い状態にある。このとき、接着抵抗ｒは、電圧計３２の検出抵抗の抵抗値Ｒよりも圧倒的に大きい状態にある。

【0025】

その後、圧力を加える接着時間が経過し、圧電素子７の支持体５に対する接着が進むと（図中「接着中」）、圧電素子７の第２電極１０と支持体５の第３電極６の接触面積が増大し、直流抵抗成分ｒ₀ （実線）が低下するとともに、第２電極１０と第３電極６の間隔が小さくなって容量が大きくなり、容量性インピーダンスＺ_c （一点鎖線）も低くなる。これによって、直流抵抗成分ｒ₀ （実線）＞容量性インピーダンスＺ_c （一点鎖線）の状態となる。

【0026】

そして、圧電素子７の第２電極１０と支持体５の第３電極６の接着状態が好ましい状態になると（図中「接着完了領域」）、容量性インピーダンスＺ_c （一点鎖線）＞直流抵抗成分ｒ₀ （実線）の状態となり、直流抵抗成分ｒ₀ （実線）と容量性インピーダンスＺ_c （一点鎖線）の値は最小値で安定化し、合成抵抗（Ｚ＋ｒ＋Ｒ）（破線）も最小となる。このとき、電圧計３２の検出抵抗の抵抗値Ｒは、接着抵抗ｒよりも圧倒的に大きい状態にある。

【0027】

このように接着抵抗ｒが十分に小さくなり、従って合成抵抗（Ｚ＋ｒ＋Ｒ）（破線）も十分に小さい値となった時に、圧電素子７と支持体５が最も適正に接着されたと考えられる。適正に接着されたとは、実施形態ではインクジェットヘッド１の支持体５に圧電素子７が適正に取りつけられたことを意味する。そして、本実施形態では、この時の計測回路３０の電流の値Ｉ₀ 又はその変化を電圧計３２が測定した検出電圧Ｖ₂ から検知し、その時点でパルス発生手段３１によるパルス信号の印加を停止し、ピストン２４による圧電素子７の押圧を停止して、圧電素子７の接着作業を終了する。

【0028】

図６は、実施形態の接着工程において、計測回路３０に加えたパルス信号Ｖ₁ の波形（分図（ａ））と、計測回路３０において電圧計３２が計測した検出電圧Ｖ₂ の波形（分図（ｂ））を示す図である。電圧計３２の検出電圧Ｖ₂ ＝Ｉ₀ ・Ｒは、パルス信号Ｖ₁ のパルスが与えられる度に容量成分の放電による曲線を描くが、その最大値は計測回路３０に流れる電流Ｉ₀ の変化によって変化する。

【0029】

すなわち、計測回路３０に一定のパルス信号Ｖ₁ を加える中、圧電素子７の接着が進んで接着抵抗ｒが小さくなると、計測回路３０に流れる電流Ｉ₀ は増加するので、回路の合成抵抗（Ｚ＋ｒ＋Ｒ）の各成分中、圧電素子７（インピーダンスＺ）及び電圧計３２の検出抵抗（抵抗値Ｒ）の各両端における電圧が上昇する。従って、電圧計３２では、検出電圧Ｖ₂ ＝Ｉ₀ ・Ｒは接着開始当初よりも高くなる。この検出電圧Ｖ₂ が、予め定めておいた好ましい接着抵抗ｒの値に対応する基準値に達した時に、圧電素子７の接着が完了したものと見なしてパルス信号を停止し、ピストン２４による圧電素子７の押圧を停止する。

【0030】

本実施形態によれば、圧電素子７と支持体５の好ましい接着抵抗ｒを概ね０．０１〜１（Ω）とし、その他の条件、例えば圧電素子７のインピーダンスＺ及び電圧計３２の検出抵抗の抵抗値Ｒや、パルス電圧Ｖ₁ の具体的な値に基づき、圧電素子７の接着が完了したと判定できる電圧計３２の検出電圧Ｖ₂ の具体的値を算出し、判断基準値として採用することができる。

【0031】

なお、このように接着剤１１で貼り付けた圧電素子７と支持体５を所定位置に配置した後、圧電素子７をピストン２４で押圧し、同時にパルス発生手段３１によって計測回路３０にパルス信号を与え、電圧計３２の検出電圧Ｖ₂ を監視し、これが所定の基準値に達した場合にパルス信号の印加とピストン２４の駆動を停止する操作又は制御は、作業者が装置の各部を手作業で操作することによって行なうことができるが、予め必要な制御手順を記述したプログラムを読み込んだ制御手段によって自動的に行うこともできる。

【0032】

実施形態に係る圧電素子７の接着装置２０を用い、圧電素子７をインクジェットヘッド１の支持体５に接着する工程は、次のようにして実行する。
まず、圧電素子７の第２電極１０と支持体５の第３電極６との間に接着剤１１を設け、ピストン２４を操作して圧電素子７を支持体５に押圧して接着工程を開始する。これと同時に計測回路３０のパルス発生手段３１によって圧電素子７にパルス信号を加え、その時に計測回路３０に流れる電流Ｉ₀ を計測するために、電圧計３２で電圧Ｖ₂ を測定する。

【0033】

パルス信号を与えられた圧電素子７は振動するため、接着剤１１内に気泡がある場合には振動によってこれが除去される。また圧電素子７と支持体５の各電極面に汚れや酸化層がある場合には、これも振動によって除去される。さらに、圧電素子７はピストン２４によって支持体５に押し付けられながら振動するため、圧電素子７と対象物の間にある接着剤１１は、その厚さが位置によって不均一である場合には、この振動の影響を受けて厚さが均一になっていく。

【0034】

このように圧電素子７にパルス信号を加えながら接着工程を実行し、圧電素子７と支持体５の接着状態が良好になっていくと、両者間の接着抵抗ｒは低下し、従って計測回路３０に流れる電流値Ｉ₀ は増大していく。このような状態は、計測回路３０に設けた電圧計３２における電圧Ｖ₂ の上昇として確認することができる。そして、電圧計３２の検出電圧Ｖ₂ に鑑みて圧電素子７が支持体５に適正な状態で接着されたと判断できる場合には、パルス信号の出力とピストン２４による圧電素子７の押圧を停止し、接着工程を終了する。

【0035】

なお、電圧計３２の検出電圧Ｖ₂ に基づく判断に替えて、集音手段４１で集めた圧電素子７の振動を増幅手段４２で可聴音に増幅し、これを可聴音として出力手段４３から出力することにより、圧電素子７が支持体５に適性に接着されたことを判断して接着工程を終了するようにしてもよい。

【0036】

以上の工程により、接着剤１１の厚さの均一化と、接着剤１１の内部の気泡の除去と、接着に係る電極面の活性化（酸化層等の除去）と、さらに圧電素子７の通電の確認が同時に行なわれ、その結果、圧電素子７は支持体５に対して好ましい所定の良好な状態で接着されたことが保証される。また、接着工程で同時に電気的接続状態の検査を行うこととなるため、接着工程と検査工程を分離して行う場合よりも効率がよく、製造される圧電素子７が支持体５に接着されたインクジェットヘッド１の部品の信頼性が高まり、また接着不良で廃棄処分となる材料も減少するので製造上の歩留りが良くなる効果も得られる。

【0037】

以上説明した実施形態は、インクジェットヘッド１の金属製の支持体５に圧電素子７を接着する工程に関するものであったが、圧電素子を接着する対象はインクジェットヘッドの支持体に限らず、圧電素子を接着剤で接着する状態を適正に管理したい対象物であれば、すべて本発明の対象となりうることはもちろんである。

【符号の説明】

【0038】

１…インクジェットヘッド
５…対象物としての支持体
７…圧電素子
８…圧電体
９…第１電極
１０…第２電極
１１…接着剤
２０…接着装置
２３…押圧部
２４…押圧手段としてのピストン
３０…計測回路
３１…交流としてのパルス信号を発生するパルス発生手段
３２…計測手段としての電圧計

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】