特開2015-23240(P2015-23240A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2015-23240１３族窒化物層含有積層体の作製方法、１３族窒化物自立基板の作製方法、発光素子用の母基板の作製方法、および、１３族窒化物テンプレート基板
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  • 特開2015023240-１３族窒化物層含有積層体の作製方法、１３族窒化物自立基板の作製方法、発光素子用の母基板の作製方法、および、１３族窒化物テンプレート基板 図000007
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