特開2015-233058炭化珪素基板の製造方法、および半導体装置の製造方法

発明の名称　炭化珪素基板の製造方法、および半導体装置の製造方法

出願人　住友電気工業株式会社　（識別番号 2130）

　　　　特許公開件数ランキング 81 位（690件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 50 位（749件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-233058

公報発行日　2015年12月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-233058

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2015-233058「炭化珪素基板の製造方法、および半導体装置の製造方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録