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特開2015-39019基板処理装置
発明の名称 基板処理装置
出願人 株式会社ＳＣＲＥＥＮセミコンダクターソリューションズ （識別番号 506322684）
特許公開件数ランキング 14983 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12756 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2015-39019
公報発行日 2015年2月26
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-39019
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