特開 2015-49106 試験装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2015-49106(P2015-49106A)

(43)【公開日】2015年3月16日

(54)【発明の名称】試験装置

(51)【国際特許分類】

   G01M 11/00 20060101AFI20150217BHJP

   G01R 31/26 20140101ALI20150217BHJP

   H01S 5/02 20060101ALI20150217BHJP

【ＦＩ】

   G01M11/00 T

   G01R31/26 F

   H01S5/02

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2013-180165(P2013-180165)

(22)【出願日】2013年8月30日

(71)【出願人】

【識別番号】000154325

【氏名又は名称】住友電工デバイス・イノベーション株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100087480

【弁理士】

【氏名又は名称】片山 修平

(72)【発明者】

【氏名】小野 晴義

(72)【発明者】

【氏名】馬場 功

【テーマコード（参考）】

2G003

2G086

5F173

【Ｆターム（参考）】

2G003AA06

2G003AB00

2G003AF02

2G003AH01

2G003AH04

2G086EE03

2G086EE04

5F173ZP04

5F173ZP05

5F173ZQ05

(57)【要約】

【課題】測定効率を向上させること。
【解決手段】本発明は、複数の被試験部１０と、同じ測定項目が測定可能な複数の測定部３０と、複数の測定部３０を１回の試験に許容される占有時間の範囲でグループ分けした情報を記憶する記憶手段５６と、複数の被試験部１０と複数の測定部３０との間の接続の切替を行うスイッチ部５０と、を備え、スイッチ部５０は、記憶手段５６に記憶されたグループ分けした情報に基づき、被試験部１０において実施される試験にかかる時間に対応したグループの測定部３０を選択し、該当する被試験部１０と接続させる試験装置である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の被試験部と、
同じ測定項目が測定可能な複数の測定部と、
前記複数の測定部を１回の試験に許容される占有時間の範囲でグループ分けした情報を記憶する記憶手段と、
前記複数の被試験部と前記複数の測定部との間の接続の切替を行うスイッチ部と、を備え、
前記スイッチ部は、前記記憶手段に記憶された前記グループ分けした情報に基づき、前記被試験部において実施される試験にかかる時間に対応したグループの前記測定部を選択し、該当する前記被試験部と接続させることを特徴とする試験装置。

【請求項2】

前記複数の被試験部それぞれで実施される試験にかかる時間に該当しない前記グループに所属する前記測定部は、他のグループに所属する前記測定部が測定を実施している期間も測定が停止されることを特徴とする請求項１記載の試験装置。

【請求項3】

前記グループに所属する前記測定部の稼動履歴を参照し、前記測定部の前記測定が停止される期間が前記稼動履歴から求まる停止期間よりも短くなるように、前記グループに所属する前記測定部の台数および前記グループを定める前記占有時間の範囲の少なくとも一方を変更する変更手段を備えることを特徴とする請求項２記載の試験装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、試験装置に関し、例えば複数の被試験部と複数の測定部とがスイッチ部で接続された試験装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体レーザ等の被試験物の特性を測定する試験装置として、被試験物を備える複数の被試験部と複数の測定部とをスイッチ部によって接続したネットワーク型試験装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７−２７１５８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ネットワーク型試験装置では、被試験部を複数の測定部のうちの稼動していない測定部に接続させることが可能となるため、測定部の稼動効率を向上させることができる。しかしながら、測定効率の点で未だ改善の余地が残されている。

【0005】

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、測定効率を向上させることが可能な試験装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、複数の被試験部と、同じ測定項目が測定可能な複数の測定部と、前記複数の測定部を１回の試験に許容される占有時間の範囲でグループ分けした情報を記憶する記憶手段と、前記複数の被試験部と前記複数の測定部との間の接続の切替を行うスイッチ部と、を備え、前記スイッチ部は、前記記憶手段に記憶された前記グループ分けした情報に基づき、前記被試験部において実施される試験にかかる時間に対応したグループの前記測定部を選択し、該当する前記被試験部と接続させることを特徴とする試験装置である。本発明によれば、測定効率を向上させることができる。

【0007】

上記構成において、前記複数の被試験部それぞれで実施される試験にかかる時間に該当しない前記グループに所属する前記測定部は、他のグループに所属する前記測定部が測定を実施している期間も測定が停止される構成とすることができる。

【0008】

上記構成において、前記グループに所属する前記測定部の稼動履歴を参照し、前記測定部の前記測定が停止される期間が前記稼動履歴から求まる停止期間よりも短くなるように、前記グループに所属する前記測定部の台数および前記グループを定める前記占有時間の範囲の少なくとも一方を変更する変更手段を備える構成とすることができる。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、測定効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施例１に係る試験装置の全体構成を示すブロック図である。

【図2】図２（ａ）は、被試験部の詳細を示すブロック図、図２（ｂ）は、測定部の詳細を示すブロック図である。

【図3】図３は、実施例１に係る試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。

【図4】図４は、時間割当テーブルの一例を示す図である。

【図5】図５（ａ）及び図５（ｂ）は、接続先の測定部の個数の変更について説明するための時間割当テーブルを示す図である。

【図6】図６は、実施例１の変形例１に係る試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。

【図7】図７は、実施例２に係る試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。

【図8】図８（ａ）及び図８（ｂ）は、複数のグループを定める占有時間の範囲の変更について説明するための時間割当テーブルを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。

【実施例1】

【0012】

図１は、実施例１に係る試験装置の全体構成を示すブロック図である。図１のように、実施例１の試験装置は、複数の被試験部１０、複数の測定部３０、及びスイッチ部５０を備える。測定部３０は測定可能な測定項目毎に複数の測定部群４０〜４４に分けられ、各測定部群には複数の測定部３０が含まれる。例えば、測定部群４０に含まれる４つの測定部３０は、波長測定が可能である。測定部群４２に含まれる２つの測定部３０は、光パワー測定が可能である。測定部群４４に含まれる２つの測定部３０は、光波形測定が可能である。

【0013】

スイッチ部５０は、マトリクススイッチ５２、コントローラ５４、及び記憶手段５６を含む。コントローラ５４は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）、及びＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）等から構成され、マトリクススイッチ５２を制御する。マトリクススイッチ５２は、コントローラ５４の指示に従って、複数の被試験部１０と複数の測定部３０との間の接続の切替を行い、接続組合せを変更する。記憶手段５６は、例えばハードディスクドライブ等である。記憶手段５６には、測定項目の測定に要する占有時間を所定の時間範囲で分けた複数のグループと接続先の測定部３０との関係が記憶されている。言い換えると、記憶手段５６には、複数の測定部３０を１回の試験に許容される占有時間の範囲でグループ分けした情報が記憶されている。例えば、記憶手段５６には、複数のグループそれぞれに対して接続先の測定部３０が規定された時間割当テーブルが記憶されている。時間割当テーブルには、複数のグループそれぞれにおける前記測定項目の測定回数及び合計測定時間が書き込まれるようになっていてもよい。例えば、複数の測定部群４０〜４４それぞれに対して１つの時間割当テーブルが記憶されている。時間割当テーブルの詳細については後述する。

【0014】

図２（ａ）は、被試験部１０の詳細を示すブロック図、図２（ｂ）は、測定部３０の詳細を示すブロック図である。図２（ａ）のように、被試験部１０は、被試験物１２、ドライバ１４、及びコントローラ１６を備える。被試験物１２は、例えば半導体レーザである。コントローラ１６は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、及びＲＡＭ等から構成され、ドライバ１４の動作等を制御する。ドライバ１４は、コントローラ１６の指示に従って、被試験物１２を駆動する。

【0015】

図２（ｂ）のように、測定部３０は、測定器３２とコントローラ３４とを備える。コントローラ３４は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、及びＲＡＭ等から構成され、測定器３２の動作を制御する。測定器３２は、マトリクススイッチ５２を介して接続された被試験部１０に備わる被試験物１２の特性を、コントローラ３４の指示に従って測定する。図１で説明したように、測定部３０は複数の測定部群４０〜４４に分けられ、測定部群４０に含まれる４つの測定部３０は波長測定が可能であることから、これらに備わる測定器３２は波長測定器である。同様に、測定部群４２に含まれる２つ測定部３０は光パワー測定が可能であることから、これらに備わる測定器３２は光パワー測定器である。測定部群４４に含まれる２つの測定部３０は光波形測定が可能であることから、これらに備わる測定器３２は光波形測定器である。

【0016】

図１から図２（ｂ）のように、被試験部１０に備わるコントローラ１６と、測定部３０に備わるコントローラ３４と、スイッチ部５０に備わるコントローラ５４とは、ネットワークを介して互いに接続している。

【0017】

次に、実施例１の試験装置の制御方法について説明する。図３は、実施例１に係る試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。図３のように、被試験部１０のコントローラ１６は、スイッチ部５０のコントローラ５４に対して、測定部群の特定を含む測定項目（例えば、測定部群４０を特定した波長測定）と測定に要する予想占有時間とを通知する（ステップＳ１０）。スイッチ部５０のコントローラ５４は、記憶手段５６に記憶された測定部群４０についての時間割当テーブルを参照し、通知された予想占有時間に対応する測定部３０に被試験部１０を接続させる（ステップＳ１２）。

【0018】

ここで、時間割当テーブルについて説明する。図４は、時間割当テーブルの一例を示す図である。図４のように、時間割当テーブル７０は、占有時間、接続先の測定部、測定回数、及び合計測定時間の項目を有する。占有時間は、測定項目（例えば波長測定）の測定に要する占有時間のことである。占有時間の項目は、所定の占有時間の時間範囲で複数のグループに分けられている。例えば、占有時間Ｔが１秒未満（Ｔ＜１）のグループ１、占有時間Ｔが１秒以上且つ５秒未満（１≦Ｔ＜５）のグループ２、占有時間Ｔが５秒以上（５≦Ｔ）のグループ３に分けられている。接続先の測定部の項目には、複数のグループ１〜３それぞれに割当てられた測定部３０が記載されており、占有時間に応じて接続先の測定部３０が規定されている。図４では、グループ１に測定部３０ａ、３０ｂが割当てられ、グループ２に測定部３０ｃが割当てられ、グループ３に測定部３０ｄが割当てられた場合を例に示している。測定回数の項目は、複数のグループ１〜３それぞれにおける測定の回数が記載される。合計測定時間は、複数のグループ１〜３それぞれにおける測定の総和時間が記載される。このように、記憶手段５６は、占有時間を所定の時間範囲で複数のグループに分け、複数のグループそれぞれに対して接続先の測定部、測定回数、及び合計測定時間の情報を時間割当テーブル７０に記憶する。

【0019】

したがって、図３のステップＳ１２においては、スイッチ部５０のコントローラ５４は、時間割当テーブル７０を参照して、被試験部１０のコントローラ１６から通知された予想占有時間が複数のグループ１〜３のどのグループに属するかを判断し、属するグループに対して規定された接続先の測定部３０に被試験部１０を接続させる。例えば、被試験部１０のコントローラ１６から通知された予想占有時間が２秒である場合、スイッチ部５０のコントローラ５４は、時間割当テーブル７０を参照して、測定部３０ｃに被試験部１０を接続させる。このように、スイッチ部５０は、複数の被試験部１０と複数の測定部３０との間の接続の切替を、時間割当テーブル７０の複数のグループ１〜３と接続先の測定部３０との関係に従って行う。

【0020】

スイッチ部５０のコントローラ５４は、被試験部１０のコントローラ１６に、接続先の測定部３０を示す測定部情報と接続が完了したことを通知する（ステップＳ１４）。測定部情報とは、例えば測定部３０のユニット番号等、測定部３０を特定することが可能な情報である。被試験部１０のコントローラ１６は、ドライブ１４に指示を与えて、被試験物１２を所定の条件で駆動させると共に、接続先の測定部３０のコントローラ３４に対して、測定条件と測定開始を通知する（ステップＳ１６）。測定部３０のコントローラ３４は、被試験部１０のコントローラ１６から通知された測定条件に従って測定器３２を制御して測定を行う。測定部３０のコントローラ３４は、測定が終了した後、被試験部１０のコントローラ１６に対して、測定結果と測定の完了を通知する（ステップＳ１８）。被試験部１０のコントローラ１６は、測定結果と測定完了の通知を受けて、スイッチ部５０のコントローラ５４に対して、測定の完了を通知する。スイッチ部５０のコントローラ５４は、測定完了の通知を受けて、マトリクススイッチ５２を制御して、被試験部１０と測定部３０との接続状態を解除する（ステップＳ２０）。

【0021】

スイッチ部５０のコントローラ５４は、ステップＳ１０〜ステップＳ２０で行われた測定の実績を時間割当テーブル７０に反映させる（ステップＳ２２）。これにより、測定の実績が測定回数及び合計測定時間に反映されることになる。なお、この測定回数及び合計測定時間は、測定部３０の稼動履歴として、占有時間のグループ分けを実行するための情報となる。例えば、実際にかかった測定時間（例えばステップＳ１４の接続完了の通知からステップＳ２０の接続状態の解除までの時間）が２秒であった場合、スイッチ部５０のコントローラ５４は、時間割当テーブル７０に対して、グループ２の測定回数に１を加え、合計測定時間に２秒を加える。

【0022】

スイッチ部５０のコントローラ５４は、予め定められた所定の測定回数の測定が終了したかを判断する（ステップＳ２４）。例えば、所定の測定回数が１０００回であった場合、スイッチ部５０のコントローラ５４は、複数のグループ１〜３それぞれの測定回数の合計が１０００回となったかを判断する。所定の測定回数の測定が終了していない場合（Ｎｏの場合）、ステップＳ１０に戻る。所定の測定回数の測定が終了した場合（Ｙｅｓの場合）、スイッチ部５０のコントローラ５４は、時間割当テーブル７０の複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更する（ステップＳ２６）。接続先の測定部３０の台数を変更した後、ステップＳ１０に戻り、接続先の測定部３０の台数を変更した後の時間割当テーブルを用いて、被試験部１０と測定部３０との接続及び測定を行う。

【0023】

ここで、複数のグループ１〜３の接続先の測定部の台数を変更することについて説明する。図５（ａ）及び図５（ｂ）は、接続先の測定部の台数の変更について説明するための時間割当テーブルを示す図である。例えば、図３のステップＳ２４において、所定の測定回数の測定が終了した際の時間割当テーブル７０が、図５（ａ）のようであった場合を想定する。この場合、グループ１における合計測定時間は５００秒で、グループ２における合計測定時間は１０００秒で、グループ３における合計測定時間は５００秒であったとする。ここで、グループ１の接続先の測定部は、測定部３０ａ、３０ｂと２台あるため、１台当りの合計測定時間は２５０秒である。一方、グループ２、３の接続先の測定部はそれぞれ測定部３０ｃ、測定部３０ｄと１台であるため、１台当りの合計測定時間は１０００秒と５００秒である。このように、複数のグループ１〜３において、接続先の測定部の１台当りの合計測定時間が大きく異なることは、測定効率の点で好ましくない。そこで、図３のステップＳ２６において、図５（ｂ）のように、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３の接続先の測定部の台数を変更する。例えば、グループ１の接続先の測定部を１台とし、グループ２の接続先の測定部を２台とし、グループ３の接続先の測定部を１台とする。これにより、複数のグループ１〜３において、１台当りの測定部の合計測定時間を同程度にすることができ、測定効率を向上させることができる。

【0024】

実施例１によれば、複数の測定部３０を１回の試験に許容される占有時間の範囲でグループ分けした情報（時間割当テーブル７０）を記憶する記憶手段５６を有する。そして、スイッチ部５０は、記憶手段５６に記憶されたグループ分けした情報（時間割当テーブル７０）に基づき、被試験部１０において実施される試験にかかる時間に対応してグループの測定部３０を選択し、該当する被試験部１０と接続させる。このような仕組みを用いることで、測定時間に長短のばらつきが大きい場合でも、測定効率を向上させることができる。

【0025】

なお、複数の被試験部１０それぞれで実施される試験にかかる時間が、時間割当テーブル７０の複数のグループ１〜３のうちのいずれかに偏る場合等がある。このような場合、複数の被試験部１０それぞれで実施される試験にかかる時間に該当しないグループに所属する測定部３０は、他のグループに所属する測定部３０が測定を実施している期間も測定が停止されることになる。このため、図５（ａ）のように、複数のグループ１〜３それぞれの合計測定時間に差が生じるようになる。つまり、複数のグループ１〜３それぞれに所属する測定部３０の１台当りの合計測定時間のグループ間の差が、測定部３０の測定が停止されていた期間に相当する。例えば図５（ａ）において、グループ１に所属する測定部３０ａ、３０ｂの１台当りの合計測定時間は２５０秒で、グループ２に所属する測定部３０ｃの合計測定時間は１０００秒であるため、測定部３０ａ、３０ｂは、測定部３０ｃに対して、測定が７５０秒間停止していたことになる。

【0026】

そこで、図５（ａ）及び図５（ｂ）で説明したように、複数のグループ１〜３それぞれにおける合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当たりに対して平準化するように、複数のグループ１〜３それぞれに所属する測定部３０の台数を変更することが好ましい。つまり、複数のグループ１〜３に所属する測定部３０の稼動履歴（合計測定時間）を参照し、測定部３０の測定が停止される期間が稼動履歴から求まる停止期間よりも短くなるように、複数のグループ１〜３それぞれに所属する測定部３０の台数を変更することが好ましい。これにより、測定効率をより向上させることができる。

【0027】

実施例１では、測定項目の測定と測定の実績を時間割当テーブル７０に反映させることを所定回数行う。そして、所定回数の測定実績が反映された後の合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当たりに対して平準化するように、複数のグループ１〜３それぞれに対する接続先の測定部３０の個数を変更している。測定項目の測定と測定の実績を時間割当テーブル７０に反映されることとを行う所定回数は、複数のグループ１〜３における合計測定時間の傾向が分かる程度の複数回数であることが好ましい。また、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間を平準化させるとは、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が同程度になるようにすることである。

【0028】

なお、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間を同程度にしたとしても、あるタイミングでは、複数の測定部３０のうち、測定している測定部と測定していない（測定を停止している）測定部とが存在してしまう。これは、例えば、あるタイミングにおいては、グループ１〜３にグループ分けした情報と異なる占有時間であった場合には、測定していない（測定を停止している）測定部が存在するためである。また、グループ１〜３の平準化はされているが、グループ全体における測定が少なければ、測定していない（測定が停止されている）測定部が存在してしまう。

【0029】

実施例１では、時間割当テーブル７０の複数のグループ１〜３に対して接続先の測定部３０が予め割当てられている場合を例に示したがこれに限られない。例えば、測定開始当初は割当てられてなく、複数のグループ１〜３それぞれに対して最初に行った測定に用いた測定部３０を時間割当テーブル７０に書き込んで割当ててもよい。

【0030】

次に、実施例１の変形例１に係る試験装置について説明する。実施例１の変形例１に係る試験装置の全体構成、被試験部、及び測定部については、実施例１の図１から図２（ｂ）と同じであるため説明を省略する。図６は、実施例１の変形例１に係る試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。図６のように、測定項目（例えば波長測定）の測定が行われる前に、スイッチ部５０のコントローラ５４に、これから行われる測定項目（例えば波長測定）の複数回の測定の測定情報が外部から入力される。測定情報とは、例えば複数回の測定それぞれの予想占有時間や複数回の測定を複数のグループ１〜３の占有範囲の時間範囲で分けた場合での各グループにおける合計測定時間であり、何秒の測定を何回行うかという情報が含まれていればよい。例えば、検査するロット毎にユニークなスペックマスタに測定時間が予め登録されており、そのロット内の検査は同一の測定時間で行われることになるため、このスペックマスタによって測定情報を得ることができる。スイッチ部５０のコントローラ５４は、外部から入力された測定情報を、記憶手段５６に記憶された時間割当テーブル７０に取り込む（ステップＳ３０）。これにより、測定情報が合計測定時間に反映されることになる。スイッチ部５０のコントローラ５４は、測定情報が取り込まれた後の時間割当テーブル７０に対して、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更する（ステップＳ３２）。

【0031】

ここで、図５（ａ）及び図５（ｂ）を再度参照して、複数のグループ１〜３の接続先の測定部の台数の変更について説明する。例えば、図６のステップＳ３０において、外部から入力された測定情報を取り込んだ後の時間割当テーブル７０が、図５（ａ）のようであった場合を想定する。この場合、上述したように、測定効率の点で、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が同程度になることが好ましい。そこで、図６のステップＳ３２において、図５（ｂ）のように、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更する。これにより、複数のグループ１〜３において、１台当りの測定部３０の合計測定時間を同程度にすることができ、測定効率を向上させることができる。

【0032】

図６に戻り、被試験部１０のコントローラ１６は、スイッチ部５０のコントローラ５４に対して、測定項目と測定に要する予想占有時間とを通知する（ステップＳ３４）。スイッチ部５０のコントローラ５４は、複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更した後の時間割当テーブル７０を参照し、通知された予想占有時間に対応する測定部３０に被試験部１０を接続させる（ステップＳ３６）。

【0033】

スイッチ部５０のコントローラ５４は、被試験部１０のコントローラ１６に、接続先の測定部３０を示す測定部情報と接続が完了したことを通知する（ステップＳ３８）。被試験部１０のコントローラ１６は、ドライブ１４に指示を与えて、被試験物１２を所定の条件で駆動させると共に、接続先の測定部３０のコントローラ３４に対して、測定条件と測定開始を通知する（ステップＳ４０）。測定部３０のコントローラ３４は、被試験部１０のコントローラ１６から通知された測定条件に従って測定器３２を制御して測定を行う。測定部３０のコントローラ３４は、測定が終了した後、被試験部１０のコントローラ１６に対して、測定結果と測定の完了を通知する（ステップＳ４２）。被試験部１０のコントローラ１６は、測定結果と測定完了の通知を受けて、スイッチ部５０のコントローラ５４に対して、測定の完了を通知する。スイッチ部５０のコントローラ５４は、測定完了の通知を受けて、マトリクススイッチ５２を制御して、被試験部１０と測定部３０との接続状態を解除する（ステップＳ４４）。その後、ステップＳ３４に戻る。

【0034】

実施例１の変形例１では、測定項目の測定前に外部から入力された複数回の測定の測定情報を時間割当テーブル７０に取り込み、合計測定時間に反映させる。そして、測定情報が反映された後の合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当たりに対して平準化するように、複数のグループ１〜３それぞれに対する接続先の測定部３０の台数を変更している。

【0035】

実施例１のように、測定の実績から複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更することで、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間を平準化させることをタイムリーに行うことができる。実施例１の変形例１のように、これから行う測定の測定情報から複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更することで、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間を平準化させた時間割当テーブル７０を測定当初から用いることができる。また、測定の実績とこれから行う測定の測定情報との両方を用いて、複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更してもよい。実施例１の変形例１のように、これから行う測定の測定情報だけを用いる場合、この測定情報と実際に行われた測定との間で差が生じてしまうことがある。これから行う測定の測定情報と測定の実績との両方を用いることで、このような差を補正することが可能となる。これから行う測定の測定情報と測定の実績とを併用する場合、測定情報を時間割当テーブル７０に取り込んで接続先の測定部３０の台数を変更した後、測定回数及び合計測定時間を消去し、測定の実績を時間割当テーブル７０に反映させる運用を用いることができる。

【実施例2】

【0036】

実施例２に係る試験装置の全体構成、被試験部、及び測定部については、実施例１の図１から図２（ｂ）と同じであるため説明を省略する。図７は、実施例２に係る試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。図７のように、被試験部１０のコントローラ１６は、スイッチ部５０のコントローラ５４に対して、測定項目と測定に要する予想占有時間とを通知する（ステップＳ５０）。スイッチ部５０のコントローラ５４は、記憶手段５６に記憶された時間割当テーブル７０を参照し、通知された予想占有時間に対応する測定部３０に被試験部１０を接続させる（ステップＳ５２）。

【0037】

スイッチ部５０のコントローラ５４は、被試験部１０のコントローラ１６に、接続先の測定部３０を示す測定部情報と接続が完了したことを通知する（ステップＳ５４）。被試験部１０のコントローラ１６は、ドライブ１４に指示を与えて、被試験物１２を所定の条件で駆動させると共に、接続先の測定部３０のコントローラ３４に対して、測定条件と測定開始を通知する（ステップＳ５６）。測定部３０のコントローラ３４は、被試験部１０のコントローラ１６から通知された測定条件に従って測定器３２を制御して測定を行う。測定部３０のコントローラ３４は、測定が終了した後、被試験部１０のコントローラ１６に対して、測定結果と測定の完了を通知する（ステップＳ５８）。被試験部１０のコントローラ１６は、測定完了の通知を受けて、スイッチ部５０のコントローラ５４に対して、測定の完了を通知する。スイッチ部５０のコントローラ５４は、測定完了の通知を受けて、マトリクススイッチ５２を制御して、被試験部１０と測定部３０との接続状態を解除する（ステップＳ６０）。

【0038】

スイッチ部５０のコントローラ５４は、ステップＳ５０〜ステップＳ６０で行われた測定の実績を時間割当テーブル７０に反映させる（ステップＳ６２）。これにより、測定の実績が測定回数及び合計測定時間に反映されることになる。スイッチ部５０のコントローラ５４は、予め定められた所定の測定回数の測定が終了したかを判断する（ステップＳ６４）。所定の測定回数の測定が終了していない場合（Ｎｏの場合）、ステップＳ５０に戻る。所定の測定回数の測定が終了した場合（Ｙｅｓの場合）、スイッチ部５０のコントローラ５４は、時間割当テーブル７０の複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更する（ステップＳ６６）。占有時間の範囲を変更した後、ステップＳ５０に戻る。

【0039】

ここで、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更することについて説明する。図８（ａ）及び図８（ｂ）は、複数のグループを定める占有時間の範囲の変更について説明するための時間割当テーブルを示す図である。例えば、図７のステップＳ６４において、所定の測定回数の測定が終了した際の時間割当テーブル７０が、図８（ａ）のようであった場合を想定する。この場合、グループ１における合計測定時間は５００秒で、グループ２における合計測定時間は１０００秒で、グループ３における合計測定時間は５００秒であったとする。ここで、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の個数は１台である。このため、グループ１の接続先の測定部３０ａの１台当りの合計測定時間は５００秒である。グループ２の接続先の測定部３０ｂの１台当りの合計測定時間は１０００秒である。グループ３の接続先の測定部３０ｃの１台当りの合計測定時間は５００秒である。このように、複数のグループ１〜３では、接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が大きく異なるため、測定効率の点で好ましくない。そこで、図７のステップＳ６６において、図８（ｂ）のように、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更する。例えば、グループ１の時間範囲を２秒未満（Ｔ＜２）とし、グループ２の時間範囲を２秒以上且つ４秒未満（２≦Ｔ＜４）とし、グループ３の時間範囲を４秒以上（４≦Ｔ）とする。これにより、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間を同程度にすることができ、測定効率を向上させることができる。

【0040】

実施例２では、図８（ａ）及び図８（ｂ）で説明したように、複数のグループ１〜３それぞれにおける合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当たりに対して平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更している。つまり、複数のグループ１〜３に所属する測定部３０の稼動履歴（合計測定時間）を参照し、測定部３０の測定が停止される期間が稼動履歴から求まる停止期間よりも短くなるように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更している。これによっても、測定効率を向上させることができる。

【0041】

実施例２では、測定項目の測定と測定の実績を時間割当テーブル７０に反映させることを所定回数行う。そして、所定回数の測定実績が反映された後の合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当たりに対して平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更している。実施例２においても、実施例１の変形例１のように、測定項目の測定前に外部から入力された複数回の測定の測定情報を時間割当テーブル７０に取り込み、測定情報を合計測定時間に反映させる。そして、測定情報が反映された後の合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当たりに対して平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更してもよい。また、測定の実績と測定前に入力された測定情報とを併用して、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更してもよい。

【0042】

実施例２では、図８（ａ）及び図８（ｂ）のように、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０が１台である場合を例に示したが、実施例１の図５（ａ）及び図５（ｂ）のように、複数台である場合でもよい。複数台ある場合、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りの合計測定時間が平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲を変更することに加え、複数のグループ１〜３の接続先の測定部３０の台数を変更してもよい。

【0043】

実施例１及び実施例２では、被試験部１０に備わる被試験物１２が、半導体レーザである場合を例に示した。しかしながら、この場合に限らず、被試験物１２は、例えば受光素子等、半導体レーザ以外の場合であってもよい。測定部３０に備わる測定器３２は、波長測定器、光パワー測定器、及び光波形測定器の場合に限らず、その他の測定器の場合であってもよい。また、実施例１及び実施例２の説明から分かるように、スイッチ部５０のコントローラ５４は、複数のグループ１〜３における合計測定時間が、複数のグループ１〜３それぞれの接続先の測定部３０の１台当りに対して平準化するように、複数のグループ１〜３を定める占有時間の範囲及び複数のグループ１〜３それぞれに対する接続先の測定部３０の台数の少なくとも一方を変更する変更手段として機能する。

【0044】

以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

【符号の説明】

【0045】

１０ 被試験部
１２ 被試験物
１４ ドライバ
１６ コントローラ
３０ 測定部
３２ 測定器
３４ コントローラ
４０〜４４ 測定部群
５０ スイッチ部
５２ マトリクススイッチ
５４ コントローラ
５６ 記憶手段
７０ 時間割当テーブル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】