特開2015-63721(P2015-63721A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2015-63721真空アーク蒸着法、真空アーク蒸着装置および真空アーク蒸着法を用いて製造された薄膜ならびに物品
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