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特開2015-82662(P2015-82662A)
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特開
2015-82662
半導体バッファ構造体、それを含む半導体素子及び半導体バッファ構造体を利用した半導体素子の製造方法
書誌
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請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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