特開2015-95477温度測定用ウエハ

発明の名称　温度測定用ウエハ

出願人　株式会社ＳＥＢＡＣＳ　（識別番号 307039857）

　　　　特許公開件数ランキング 14225 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12103 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-95477

公報発行日　2015年5月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-95477

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