特開2015-99922バースト超高速のレーザーパルスのエネルギー移転による基板への前方堆積の方法および装置

発明の名称　バースト超高速のレーザーパルスのエネルギー移転による基板への前方堆積の方法および装置

出願人　ロフィン−ジナール　テクノロジーズ　インコーポレイテッド　（識別番号 514194484）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-99922

公報発行日　2015年5月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-99922

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