特開 2016-114417 Ｘ線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2016-114417(P2016-114417A)

(43)【公開日】2016年6月23日

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/04 20060101AFI20160527BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2014-252080(P2014-252080)

(22)【出願日】2014年12月12日

(71)【出願人】

【識別番号】302046001

【氏名又は名称】アンリツインフィビス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001520

【氏名又は名称】特許業務法人日誠国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】永塚 一毅

【テーマコード（参考）】

2G001

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001BA11

2G001CA01

2G001DA08

2G001GA01

2G001HA07

2G001JA09

2G001JA13

2G001KA01

2G001KA03

2G001LA01

2G001PA11

(57)【要約】

【課題】選択可能な検査アルゴリズムが多数ある場合でもユーザが各検査アルゴリズムの特性を容易に把握でき、検査に適した検査アルゴリズムを容易に決定することができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、複数の検査アルゴリズムを施した結果の濃淡画像である検査画像Ｗｋと、検査画像Ｗｋの搬送方向と直交する方向の濃淡レベルの各ピーク値を搬送方向に沿って描画した２次元断面波形画像である射影画像Ｗｓとを生成する画像処理部４３と、複数の検査アルゴリズム毎の射影画像Ｗｓを縮小した縮小射影画像Ｗｓｓを並べて同時に表示器４１に表示させる表示制御部４７と、を備えている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

Ｘ線を照射し、被検査物（Ｗ）を透過したＸ線を検出して得られた透過画像に対して、複数の画像フィルタを組み合わせてなる複数の検査アルゴリズムを施し、前記被検査物を検査するＸ線検査装置において、
前記複数の検査アルゴリズムを施した結果の濃淡画像である検査画像（Ｗｋ）と、前記検査画像の搬送方向と直交する方向の濃淡レベルの各ピーク値を搬送方向に沿って描画した２次元断面波形画像である射影画像（Ｗｓ）とを生成する画像処理部（４３）と、
前記複数の検査アルゴリズム毎の前記射影画像を縮小した縮小射影画像（Ｗｓｓ）を並べて同時に表示器（４１）に表示させる表示制御部（４７）と、を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。

【請求項2】

前記表示器には、前記検査画像を表示するための検査画像表示部（４１ｈ）と、前記射影画像を表示するための射影画像表示部（４１ｑ）とが、搬送方向の位置に一致するように、互いに上下に配置され、
前記表示制御部は、前記複数の検査アルゴリズムの何れかを選択する操作に応じて、選択された該検査アルゴリズムでの前記射影画像を前記射影画像表示部に表示させることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。

【請求項3】

前記表示制御部は、前記選択する操作で選択された前記検査アルゴリズムでの前記検査画像を前記射影画像と同時に前記表示器に表示させることを特徴とする請求項２に記載のＸ線検査装置。

【請求項4】

前記表示器は、前記検査画像を表示する検査画像表示部（４１ｈ）と、前記縮小射影画像を表示する縮小射影画像表示部（４１ｐ）と、を有し、
前記検査画像表示部の領域に前記縮小射影画像表示部が含まれていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載のＸ線検査装置。

【請求項5】

前記表示制御部は、前記縮小射影画像を前記検査画像に重ねて表示させることを特徴とする請求項４に記載のＸ線検査装置。

【請求項6】

前記表示制御部は、前記複数の検査アルゴリズム毎の縮小射影画像に、前記検査画像を用いて良否判定するための閾値レベルを表示させることを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載のＸ線検査装置。

【請求項7】

前記表示器がタッチパネルからなり、
前記表示制御部は、前記縮小射影画像の何れかに対して選択操作が行われたことを条件として、複数の前記縮小射影画像を消去するとともに、複数の前記検査アルゴリズムの何れかを選択する選択ボタン（Ｂ）を前記表示器に表示させることを特徴とする請求項２から請求項６の何れかに記載のＸ線検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｘ線を用いて被検査物を検査するＸ線検査装置に関し、特に、被検査物を搬送しながらＸ線の照射を行うＸ線検査装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

一般に、Ｘ線検査装置は、搬送路上を所定間隔で順次搬送されてくる各品種の被検査物（例えば、肉、魚、加工食品、医薬品など）にＸ線発生器からＸ線を照射し、被検査物を透過したＸ線の透過量をＸ線ラインセンサで検出することで、被検査物中の異物（金属、ガラス、石、骨など）や欠陥の有無を判別し、被検査物の良否判定を行っている。

【0003】

この種のＸ線検査装置において、異なる複数の表示形態（表示モード）の何れかを作業者による設定操作によって選択し、その表示形態で検査画像や検査結果を表示するものが知られている（特許文献１参照）。

【0004】

特許文献１に記載のものは、被検査物Ｗを透過するＸ線の量に基づいて被検査物の質量を求めるようになっており、所定の検査アルゴリズムを用いて被検査物の質量を計測したときの計測値の波形、良否判定基準値、良否判定基準値に対する計測値の余裕度等の検査状態を同時に表示する表示形態を有している。

【0005】

特許文献１に記載のＸ線検査装置は検査アルゴリズムが切り換え可能に構成されており、ユーザは、検査アルゴリズムの切り換え後の検査状態と、検査アルゴリズムの切り換え前にユーザが記憶した検査状態とを比較することで、各検査アルゴリズムの特性を把握することができる。このため、ユーザは、検査アルゴリズムの数が少ない場合であれば、検査アルゴリズムの切り換えを複数回行うことで各検査アルゴリズムの特性を把握して検査に適した検査アルゴリズムを設定することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００７−２８６０１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、従来のＸ線検査装置において、選択可能な検査アルゴリズムが多数ある場合、ユーザが各検査アルゴリズムの特性を全て把握することは困難であった。特に、食品や医薬品などの生産ラインに組み込まれて、生産される製品の品質を検査するＸ線検査装置の分野では、画像処理技術の向上や検査アルゴリズムの高度化により検査項目や検査内容がより多様化してきている。このため、ユーザは各検査アルゴリズムの特性を把握するまで多くの時間を費やしてしまい、検査に適した検査アルゴリズムを容易に決定することができなかった。

【0008】

そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、選択可能な検査アルゴリズムが多数ある場合でもユーザが各検査アルゴリズムの特性を容易に把握でき、検査に適した検査アルゴリズムを容易に決定できるＸ線検査装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線を照射し、被検査物を透過したＸ線を検出して得られた透過画像に対して、複数の画像フィルタを組み合わせてなる複数の検査アルゴリズムを施し、前記被検査物を検査するＸ線検査装置において、前記複数の検査アルゴリズムを施した結果の濃淡画像である検査画像と、前記検査画像の搬送方向と直交する方向の濃淡レベルの各ピーク値を搬送方向に沿って描画した２次元断面波形画像である射影画像とを生成する画像処理部と、前記複数の検査アルゴリズム毎の前記射影画像を縮小した縮小射影画像を並べて同時に表示器に表示させる表示制御部と、を備えたことを特徴とする。

【0010】

この構成により、画像処理部は検査中の被検査物に基づく実際の射影画像を生成し、表示制御部は、複数の検査アルゴリズム毎の射影画像を縮小した縮小射影画像を並べて同時に表示器に表示させるので、ユーザは、各縮小射影画像を同時に比較することで、各検査アルゴリズムの特性を容易に把握することができる。このため、選択可能な検査アルゴリズムが多数ある場合でもユーザが各検査アルゴリズムの特性を容易に把握でき、検査に適した検査アルゴリズムを容易に決定することができる。

【0011】

また、本発明に係るＸ線検査装置において、前記表示器には、前記検査画像を表示するための検査画像表示部と、前記射影画像を表示するための射影画像表示部とが、搬送方向の位置に一致するように、互いに上下に配置され、前記表示制御部は、前記複数の検査アルゴリズムの何れかを選択する操作に応じて、選択された該検査アルゴリズムでの前記射影画像を前記射影画像表示部に表示させることを特徴とする。

【0012】

この構成により、被検査物に異物が含まれている場合に、検査画像と射影画像を同時に参照することで、被検査物の平面上の異物の位置と被検査物の幅方向の異物の位置を容易に把握できるとともに、射影画像から異物の検出状態を把握することができる。

【0013】

また、本発明に係るＸ線検査装置において、前記表示制御部は、前記選択する操作で選択された前記検査アルゴリズムでの前記検査画像を前記縮小射影画像と同時に前記表示器に表示させることを特徴とする。

【0014】

この構成により、被検査物に異物が含まれている場合に、検査画像から被検査物の平面上の異物の位置を把握でき、縮小射影画像または射影画像から被検査物の幅方向の異物の有無または異物の位置を把握することができる。

【0015】

また、本発明に係るＸ線検査装置において、前記表示器は、前記検査画像を表示する検査画像表示部と、前記縮小射影画像を表示する縮小射影画像表示部と、を有し、前記検査画像表示部の領域に前記縮小射影画像表示部が含まれていることを特徴とする。

【0016】

この構成により、検査画像表示部の領域外に縮小射影画像表示部を配置する場合と比較して、縮小射影画像表示部の領域を大きくすることができる。このため、各縮小射影画像を大きく表示できるので、縮小射影画像からアルゴルズムの特性を容易に把握することができる。

【0017】

また、本発明に係るＸ線検査装置において、前記表示制御部は、前記縮小射影画像を前記検査画像に重ねて表示させることを特徴とする。

【0018】

この構成により、縮小射影画像を検査画像に重ならないように表示する場合と比較して、各縮小射影画像をより大きく表示できるので、縮小射影画像から検査アルゴリズムの特性をより容易に把握できる。

【0019】

また、本発明に係るＸ線検査装置において、前記表示制御部は、前記複数の検査アルゴリズム毎の縮小射影画像に、前記検査画像を用いて良否判定するための閾値レベルを表示させることを特徴とする。

【0020】

この構成により、ユーザは、検出リミット値と縮小射影画像とを比較し、閾値レベルと縮小射影画像との間隔である余裕度を把握することができる。

【0021】

また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記表示器がタッチパネルからなり、前記表示制御部は、前記縮小射影画像の何れかに対して選択操作が行われたことを条件として、複数の前記縮小射影画像を消去するとともに、複数の前記検査アルゴリズムの何れかを選択する選択ボタンを前記表示器に表示させることを特徴とする。

【0022】

この構成により、縮小射影画像の何れかに対する選択操作が行われて縮小射影画像の表示を終了した後は、選択ボタンにより検査アルゴリズムを選択することができる。

【発明の効果】

【0023】

本発明は、選択可能な検査アルゴリズムが多数ある場合でもユーザが各検査アルゴリズムの特性を容易に把握でき、検査に適した検査アルゴリズムを容易に決定することができるＸ線検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図である。

【図2】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の側面および内部構成を示す図である。

【図3】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の画像処理部の内部構成を示す図である。

【図4】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の被検査物の検査停止中の初期画面の表示例である。

【図5】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の被検査物の検査中の検査画面の表示例である。

【図6】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の被検査物の検査中の検査アルゴリズム選択画面の表示例である。

【図7】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の被検査物の検査中の射影画像表示画面の表示例である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
まず、構成を説明する。

【0026】

図１において、Ｘ線検査装置１は、搬送部２と検査部３とを筐体４の内部に備えており、表示器４１を筐体４の前面上部に備えている。

【0027】

搬送部２は、本発明の被検査物を構成する被検査物Ｗを、所定間隔をおいて順次搬送するものであり、搬送部２は、例えば、筐体４の内部で水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。

【0028】

搬送部２は、図１に示す駆動モータ６の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口７から搬入された被検査物Ｗを、搬出口８側（図１中、Ｘ方向）に向けて搬送面としてのベルト面２ａ上を搬送させる。筐体４の内部において、ベルト面２ａ上を搬入口７から搬出口８まで貫通する空間は、搬送路２１を形成する。

【0029】

検査部３は、順次搬送される被検査物Ｗに対し、搬送路２１の途中の検査空間２２においてＸ線を照射するとともに被検査物Ｗを透過するＸ線を検出するものであり、搬送路２１の途中の検査空間２２の上方に所定高さで離隔して配置されたＸ線発生器９と、搬送部２内にＸ線発生器９と対向して配置されたＸ線検出器１０とを備えている。

【0030】

Ｘ線発生器９は、金属製の箱体１１の内部に設けられた円筒状のＸ線管１２を図示しない絶縁油に浸漬した構成を有しており、Ｘ線管１２の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてＸ線を生成している。

【0031】

Ｘ線管１２は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）となるよう配置されている。Ｘ線管１２により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器１０に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向（Ｘ方向）を横切るように照射される。

【0032】

図２に示すように、Ｘ線発生器９から照射されるＸ線は、下方のＸ線検出器１０に到達するようになっており、Ｘ線検出器１０は、Ｘ線を検出するためのＸ線ラインセンサ５１を備えている。Ｘ線ラインセンサ５１は、図示しないシンチレータおよびフォトダイオードアレイを備えており、Ｘ線をシンチレータで光に変換し、この光をフォトダイオードアレイで電気信号に変換してＸ線透過データを出力する。

【0033】

搬送路２１内の天井部２１ａには、搬送方向（Ｘ方向）に沿って複数個所にＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン１６は、Ｘ線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状（上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態）に加工したものから構成されており、遮蔽カーテン１６は、検査空間２２から搬送路２１を介してＸ線が筐体４の外部に漏洩することを防止する。

【0034】

遮蔽カーテン１６は、本実施形態では、搬入口７と検査空間２２との間、および検査空間２２と搬出口８との間にそれぞれ２枚ずつ設けられており、１つの遮蔽カーテン１６が被検査物Ｗと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン１６がＸ線を遮蔽するので、漏洩基準量を超えることなくＸ線の漏洩を防止できる。本実施形態のＸ線検査装置１は、搬送路２１における遮蔽カーテン１６により囲まれた内側の空間が検査空間２２を構成している。

【0035】

Ｘ線検査装置１は、制御回路４０と表示器４１とを備えている。制御回路４０は、Ｘ線検出器１０からのＸ線透過データが画像化した透過画像が入力されるとともに被検査物Ｗ中の異物や欠陥の有無を検査するようになっている。

【0036】

表示器４１は、タッチパネルとして構成されており、制御回路４０による検査結果等を表示出力する表示部と、制御回路４０への各種パラメータ等の設定入力を行う操作部とが一体的に設けられている。

【0037】

図４において、表示器４１は、画像表示領域４１Ａを備えており、画像表示領域４１Ａは、品種番号表示部４１ａと、検査結果表示部４１ｂと、検査内容表示部４１ｃと、検出リミット値表示部４１ｄと、スタートボタン４１ｅと、ストップボタン４１ｆと、表示モード切り換えボタン４１ｇと、検査画像表示部４１ｈと、照射状態表示部４１ｉと、コンベア動作状態表示部４１ｊと、設定調整ボタン４１ｋと、生産管理ボタン４１ｍと、動作確認ボタン４１ｎとを備えている。

【0038】

品種番号表示部４１ａは、被検査物Ｗの品種（例えば、肉、魚、加工食品、医薬品）に応じて番号を設定するとともに、設定された品種に応じた番号を表示する。検査結果表示部４１ｂは、被検査物Ｗの良否判定結果を「ＯＫ」や「ＮＧ」等の文字または記号で表示する。

【0039】

検査内容表示部４１ｃは、被検査物Ｗの検査総数と検査総数に対する良品の総数と不良品の総数とを表示する。検出リミット値表示部４１ｄにおいて、被検査物Ｗの品種や検出対象となる異物の種類等に応じて異なる複数の値（閾値）の設定が可能となっており、検出リミット値表示部４１ｄが操作されることで、検出リミット値が適宜設定され、検出リミット値表示部４１ｄには設定された検出リミット値が表示される。検出リミット値の設定は、検査アルゴリズム選択ボタン表示部４１ｒで選択された検査アルゴリズムに対して行われる。

【0040】

スタートボタン４１ｅは、Ｘ線検査装置１の運転の開始を指示するときに操作され、ストップボタン４１ｆは、Ｘ線検査装置１の運転の停止を指示するときに操作される。表示モード切り換えボタン４１ｇは、検査画像表示部４１ｈに表示される表示形態（表示モード）を選択するときに操作される。

【0041】

検査画像表示部４１ｈは、被検査物Ｗの検査画像（図５に示す検査画像Ｗｋ）に関する情報を表示する。照射状態表示部４１ｉは、Ｘ線の照射中であるか否かを表示し、コンベア動作状態表示部４１ｊは、搬送部２が動作中であるか否かを表示する。

【0042】

設定調整ボタン４１ｋは、被検査物Ｗの品種の切り換え等の設定、検出リミット、画像処理部４３で用いる検査アルゴリズム等のパラメータの設定および調整を行う設定調整画面を呼び出す。生産管理ボタン４１ｍは、生産管理のための統計データ等を表示する生産管理画面を呼び出す。動作確認ボタン４１ｎは、Ｘ線検査装置１の検出感度等を確認する動作確認画面を呼び出す。

【0043】

画像表示領域４１Ａにおいて、品種番号表示部４１ａ、検査結果表示部４１ｂ、検査内容表示部４１ｃ、検出リミット値表示部４１ｄ、スタートボタン４１ｅおよびストップボタン４１ｆは、検査画像表示部４１ｈに対して図４中、右側の領域に設けられている。

【0044】

画像表示領域４１Ａにおいて、照射状態表示部４１ｉおよびコンベア動作状態表示部４１ｊは、検査画像表示部４１ｈの上方に設けられており、表示モード切り換えボタン４１ｇ、設定調整ボタン４１ｋ、生産管理ボタン４１ｍおよび動作確認ボタン４１ｎは、検査画像表示部４１ｈの下方に設けられている。

【0045】

図２において、制御回路４０は、Ｘ線画像記憶部４２、画像処理部４３、判定部４４、制御部４６および表示制御部４７を備えている。

【0046】

Ｘ線画像記憶部４２は、Ｘ線検出器１０から受け取ったＸ線画像を一時的に記憶する。画像処理部４３は、Ｘ線画像記憶部４２から読み出した透過画像に対して特徴抽出や異物強調のためのフィルタ処理等の画像処理を施す。

【0047】

画像処理部４３は、図３に示すように、入力される透過画像に対して並列に画像処理ブロック３１を複数備えている。各画像処理ブロックは、フィルタ処理部３２と検査画像生成部３３と射影画像生成部３４とを有している。画像処理部４３は、互いに異なる複数（本実施形態では１１個）の検査アルゴリズムを記憶しており、検査アルゴリズムの数だけ画像処理ブロック３１を備えている。図３では、説明を簡単にするため３つの画像処理ブロック３１を表している。

【0048】

各画像処理ブロック３１において、フィルタ処理部３２は、透過画像に対して複数の検査アルゴリズムの何れかを用いて特徴抽出や異物強調のためのフィルタ処理等を組み合わせた画像処理を行う。検査画像生成部３３は、画像処理済の濃淡画像から、被検査物Ｗの平面視に対応する２次元画像である検査画像（図６の検査画像Ｗｋを参照）を生成する。射影画像生成部３４は、画像処理済の濃淡画像から検査画像の搬送方向と直交する方向の濃淡レベルの各ピーク値を搬送方向に沿って描画した２次元断面波形画像である射影画像（図６の射影画像Ｗsを参照）を生成する。

【0049】

画像処理部４３は、各検査アルゴリズムに対応する全ての射影画像と検査画像を出力する。また、画像処理部４３は射影画像セレクタ３５を備えており、この射影画像セレクタ３５は、各画像処理ブロック３１の射影画像生成部３４で生成された射影画像が入力されるとともに、入力された射影画像の何れかを出力する。すなわち、画像処理部４３は、各射影画像生成部３４で生成された全ての射影画像と、射影画像セレクタ３５で選択された射影画像の両方を出力する。

【0050】

各射影画像生成部３４で生成された検査アルゴリズム数分の全ての射影画像は表示制御部４７に入力される。射影画像セレクタ３５で選択された射影画像は、表示制御部４７に入力される。

【0051】

また、画像処理部４３は検査画像セレクタ３６を備えており、この検査画像セレクタ３６は、各画像処理ブロック３１の検査画像生成部３３で生成された検査アルゴリズム数分の検査画像が入力されるとともに、入力された検査画像の何れかを出力する。検査画像セレクタ３６で選択された検査画像は、表示制御部４７に入力される。

【0052】

判定部４４は、画像処理部４３によって画像処理済の検査画像と、検出リミット値表示部４１ｄにより検査アルゴリズム毎に予め設定された検出リミット値とを比較し、この比較結果に基づいて被検査物Ｗの異物混入の有無や欠陥の有無を判別している。そして、判定部４４は、検査に用いる各検査アルゴリズムで、画像処理済の検査画像が検出リミット値を超えたときに、その被検査物Ｗが不良品であると判断する。

【0053】

表示制御部４７は、Ｘ線画像記憶部４２に格納された各被検査物Ｗの透過画像、画像処理部４３から出力される画像処理済の検査画像と射影画像、および異物の判別結果に基づいて、被検査物Ｗの検査結果の画像を作成する。

【0054】

表示制御部４７は、判定部４４の良否判別結果と、画像処理部４３で生成された検査画像とに基づき、これら検査画像および良否判別結果を含む画像が画像表示領域４１Ａの検査画像表示部４１ｈに表示されるように表示器４１を制御する。

【0055】

被検査物Ｗの検査停止中においては、図４に示すように、表示制御部４７は、画像表示領域４１Ａに初期画面６１を表示する。初期画面６１において、検査画像表示部４１ｈ、検査結果表示部４１ｂおよび検査内容表示部４１ｃは空白となっている。この状態からスタートボタン４１ｅが操作されることで、被検査物Ｗの検査が開始される。被検査物Ｗの検査中は、図５に示すように、画像表示領域４１Ａには検査中の検査画面６２が表示される。

【0056】

被検査物Ｗの検査中においては、図５に示すように、表示制御部４７は、被検査物Ｗの検査画像Ｗｋと、被検査物Ｗの良否判定結果（「ＮＧ」の文字）を表示器４１に表示させている。ここでは、被検査物ＷとしてパッケージＰに４つの内容物Ｎ１〜Ｎ４が収容されたものを例にしている。検査画像Ｗｋにおいては、内容物Ｎ２、Ｎ３に異物７１が混入されている状態が表示されている。

【0057】

また、表示制御部４７は、検査中の被検査物Ｗの良否判別結果を示す画像が検査画像表示部４１ｈに表示されるように表示器４１を制御するとともに、被検査物Ｗの検査毎に、被検査物Ｗの総検査数、良品数、ＮＧ総数等の検査結果を更新し、更新された総検査数、良品数、ＮＧ総数等の検査結果がそれぞれ検査内容表示部４１ｃに表示されるように表示器４１を制御する。

【0058】

被検査物Ｗの検査中に設定調整ボタン４１ｋが操作されて検査アルゴリズム選択画面の呼び出しが指示された場合、表示制御部４７は、図６に示すように、検査アルゴリズム選択画面６３を表示器４１の画像表示領域４１Ａに表示させる。

【0059】

図６において、表示制御部４７は、複数の検査アルゴリズムにそれぞれ対応する射影画像を縮小した縮小射影画像Ｗｓｓを並べて同時に表示器４１に表示させる。言い換えると、表示制御部４７は、検査アルゴリズムの選択のための縮小射影画像Ｗｓｓを一覧形式で表示器４１に表示させる。なお、射影画像を画面縦方向に縮小する場合、検査アルゴリズム数に応じて縮小率を連続的に変化させるのが好ましい。また、射影画像を画面横方向に縮小する場合、表示列数に応じて段階的に射影画像を１／２、１／３、...の大きさに縮小するのが好ましい。

【0060】

画像表示領域４１Ａの検査画像表示部４１ｈには、１１個の検査アルゴリズムを識別するためのＣＴ０〜ＣＴ１０の文字とともに、各検査アルゴリズムに対応する縮小射影画像Ｗｓｓが一覧形式で表示されている。

【0061】

検査画像表示部４１ｈには、ＣＴ０〜ＣＴ５の６つの検査アルゴリズムにそれぞれ対応する縮小射影画像Ｗｓｓが、検査画像表示部４１ｈの左半分に上部から下部に向って昇順に配置されている。また、検査画像表示部４１ｈには、ＣＴ６〜ＣＴ１０の５つの検査アルゴリズムにそれぞれ対応する縮小射影画像Ｗｓｓが、検査画像表示部４１ｈの右半分に上部から下部に向って昇順に配置されている。

【0062】

各縮小射影画像Ｗｓｓには、良否判定するための閾値レベルである検出リミット値Ｌが表示されている。検出リミット値Ｌが表示されることで、ユーザは、この検出リミット値Ｌと縮小射影画像Ｗｓｓとを比較し、検出リミット値Ｌと縮小射影画像Ｗｓｓとの間隔である余裕度を把握することができる。各縮小射影画像Ｗｓｓの左方には、検出リミット値Ｌと縮小射影画像Ｗｓｓとの間隔に応じた色彩で、余裕度を表す余裕度マークＹが表示されている。余裕度マークＹは、余裕度が小さくなるに連れて色彩が緑、橙、赤に順次変化するようになっている。余裕度がゼロのときは余裕度マークが赤の色彩で表示される。

【0063】

また、表示制御部４７は、表示器４１に一覧形式で表示されたＣＴ０〜ＣＴ１０の縮小射影画像Ｗｓｓに対する選択操作に応じて、選択された縮小射影画像Ｗｓｓの縮小前の射影画像Ｗｓを表示器４１の画像表示領域４１Ａに表示させる。縮小射影画像Ｗｓｓに対する選択操作は、所望の縮小射影画像Ｗｓｓをタッチすることで行われる。

【0064】

一覧形式で表示された各縮小射影画像Ｗｓｓのうち、ＣＴ０の検査アルゴリズムに対応する縮小射影画像Ｗｓｓに対してユーザにより選択操作が行なわれている。これにより、表示器４１の画像表示領域４１Ａの下部には、ＣＴ０の検査アルゴリズムに対応する縮小前の射影画像Ｗｓが表示される。

【0065】

また、表示制御部４７は、ユーザにより選択された縮小射影画像Ｗｓｓの検査アルゴリズムでの検査画像Ｗｋを、縮小射影画像Ｗｓｓと同時に表示器４１の画像表示領域４１Ａに表示させる。

【0066】

表示器４１の画像表示領域４１Ａには、ユーザによる選択操作で選択されたＣＴ０の検査アルゴリズムに対応する検査画像Ｗｋが表示されている。

【0067】

表示器４１は縮小射影画像Ｗｓｓを表示する縮小射影画像表示部４１ｐを更に有している。図６において、縮小射影画像表示部４１ｐは、検査画像表示部４１ｈの領域内に含まれている。なお、縮小射影画像表示部４１ｐは、検査画像表示部４１ｈの領域と一致していてもよい。

【0068】

また、表示制御部４７は、画像表示領域４１Ａにおいて、縮小射影画像Ｗｓｓを検査画像Ｗｋに重ねて表示させる。図６において、ＣＴ２〜ＣＴ５に対応する縮小射影画像Ｗｓｓは、検査画像Ｗｋに重なっている。なお、被検査物Ｗの良否判定は、検査画像Ｗｋとリミット値との比較により行われているため、画像表示領域４１Ａの表示態様は良否判定結果に影響しない。

【0069】

表示器４１の画像表示領域４１Ａは、射影画像Ｗｓを表示する射影画像表示部４１ｑを更に有しており、この射影画像表示部４１ｑは、検査画像表示部４１ｈの下方に配置されている。なお、射影画像表示部４１ｑは、検査画像表示部４１ｈの上方に配置されていてもよい。

【0070】

表示器４１には、検査画像Ｗｋを表示するための検査画像表示部４１ｈと、射影画像Ｗｓを表示するための射影画像表示部４１ｑとが、被検査物Ｗの搬送方向の位置に一致するように、互いに上下に配置されている。ここで、検査画像Ｗｋおよび射影画像Ｗｓは、搬送部２による被検査物Ｗの移動に合わせて検査画像表示部４１ｈ上を被検査物Ｗの移動方向と同方向に移動するように検査画像表示部４１ｈに表示されてもよいし、検査画像表示部４１ｈの左右方向中央部に静止するように表示させてもよい。

【0071】

検査画像Ｗｋおよび射影画像Ｗｓを検査画像表示部４１ｈの左右方向中央部に静止させる場合、検査中の被検査物Ｗの次の被検査物Ｗが検査空間２２に搬送されたタイミングで、次の被検査物Ｗの検査画像Ｗｋおよび射影画像Ｗｓに表示が更新される。

【0072】

また、表示制御部４７は、表示器４１に一覧形式で表示された縮小射影画像Ｗｓｓの何れかを選択する操作が行われたことを条件として、図７に示すように、画像表示領域４１Ａの表示内容を射影画像表示画面６４に切り換える。

【0073】

表示制御部４７は、図７の射影画像表示画面６４において、図６の検査アルゴリズム選択画面６３と同様に、検査画像Ｗｋおよび射影画像Ｗｓを、被検査物Ｗの搬送方向の位置が一致するように表示させている。また、表示制御部４７は、ＣＴ０〜ＣＴ１０の各検査アルゴリズムに対応する選択ボタンＢを表示器４１に表示させる。すなわち、画像表示領域４１Ａは検査内容表示部４１ｃと検出リミット値表示部４１ｄの間に検査アルゴリズム選択ボタン表示部４１ｒを有し、縮小射影画像Ｗｓｓをタッチすることで所望の検査アルゴリズムが選択された後は、選択ボタンＢによって直接的に検査アルゴリズムの選択が可能となる。また、縮小射影画像Ｗｓｓをタッチすることで所望の検査アルゴリズムが選択された後は、縮小射影画像Ｗｓｓが消去される。

【0074】

なお、図６において、射影画像Ｗｓは、縮小射影画像Ｗｓｓへのタッチ操作により選択された検査アルゴリズムでの射影画像に、タッチ操作前に設定されていた検査アルゴリズムの射影画像を重ねたり、所定時間間隔で交互に切り換えたり、色彩を異ならせる態様で表示してもよい。

【0075】

本実施形態のＸ線検査装置１によれば、複数の検査アルゴリズムを施した結果の濃淡画像である検査画像Ｗｋと、検査画像Ｗｋの搬送方向と直交する方向の濃淡レベルの各ピーク値を搬送方向に沿って描画した２次元断面波形画像である射影画像Ｗｓとを生成する画像処理部４３と、複数の検査アルゴリズム毎の射影画像Ｗｓを縮小した縮小射影画像Ｗｓｓを並べて同時に表示器４１に表示させる表示制御部４７と、を備えている。

【0076】

この構成により、画像処理部４３は検査中の被検査物Ｗに基づく実際の射影画像を生成し、表示制御部４７は、複数の検査アルゴリズム毎の射影画像Ｗｓを縮小した縮小射影画像Ｗｓｓを並べて同時に表示器４１に表示させるので、ユーザは、各縮小射影画像Ｗｓｓを同時に比較することで、各検査アルゴリズムの特性を容易に把握することができる。

【0077】

このため、選択可能な検査アルゴリズムが多数ある場合でもユーザが各検査アルゴリズムの特性を容易に把握でき、検査に適した検査アルゴリズムを容易に決定することができる。

【0078】

また、本実施形態のＸ線検査装置１によれば、表示器４１には、検査画像Ｗｋを表示するための検査画像表示部４１ｈと、射影画像Ｗｋを表示するための射影画像表示部４１ｑとが、搬送方向の位置に一致するように、互いに上下に配置され、表示制御部４７は、複数の検査アルゴリズムの何れかを選択する操作に応じて、選択された検査アルゴリズムでの射影画像Ｗｓを射影画像表示部４１ｑに表示させる

【0079】

この構成により、被検査物Ｗに異物が含まれている場合に、検査画像Ｗｋと射影画像Ｗｓを同時に参照することで、被検査物Ｗの平面上の異物の位置と被検査物Ｗの幅方向の異物の位置を容易に把握できるとともに、射影画像Ｗｓから異物の検出状態を把握することができる。

【0080】

また、本実施形態のＸ線検査装置１によれば、表示制御部４７は、選択する操作で選択された検査アルゴリズムでの検査画像Ｗｋを縮小射影画像Ｗｓｓと同時に表示器４１に表示させる。

【0081】

この構成により、被検査物Ｗに異物が含まれている場合に、検査画像Ｗｋから被検査物Ｗの平面上の異物の位置を把握でき、縮小射影画像Ｗｓｓまたは射影画像Ｗｓから被検査物Ｗの幅方向の異物の有無または異物の位置を把握することができる。

【0082】

また、本実施形態のＸ線検査装置１によれば、表示器４１は、検査画像Ｗｋを表示する検査画像表示部４１ｈと、縮小射影画像Ｗｓｓを表示する縮小射影画像表示部４１ｐと、を有し、検査画像表示部４１ｈの領域に縮小射影画像表示部４１ｐが含まれている。

【0083】

この構成により、検査画像表示部４１ｈの領域外に縮小射影画像表示部４１ｐを配置する場合と比較して、縮小射影画像表示部４１ｐの領域を大きくすることができる。このため、各縮小射影画像Ｗｓｓを大きく表示できるので、縮小射影画像Ｗｓｓからアルゴルズムの特性を容易に把握することができる。

【0084】

また、本実施形態のＸ線検査装置１によれば、表示制御部４７は、縮小射影画像Ｗｓｓを検査画像Ｗｋに重ねて表示させる。

【0085】

この構成により、縮小射影画像Ｗｓｓを検査画像Ｗｋに重ならないように表示する場合と比較して、各縮小射影画像Ｗｓｓをより大きく表示できるので、縮小射影画像Ｗｓｓから検査アルゴリズムの特性をより容易に把握できる。

【0086】

また、本実施形態のＸ線検査装置１によれば、表示制御部４７は、複数の検査アルゴリズム毎の縮小射影画像Ｗｓｓに、検査画像Ｗｋを用いて良否判定するための検出リミット値Ｌを表示させる。

【0087】

この構成により、ユーザは、検出リミット値Ｌと縮小射影画像Ｗｓｓとを比較し、検出リミット値Ｌと縮小射影画像Ｗｓｓとの間隔である余裕度を把握することができる。

【0088】

また、本実施形態のＸ線検査装置１によれば、表示器４１がタッチパネルからなり、表示制御部４７は、縮小射影画像Ｗｓｓの何れかに対して選択操作が行われたことを条件として、複数の縮小射影画像Ｗｓｓを消去するとともに、複数の検査アルゴリズムの何れかを選択する選択ボタンＢを表示器４１に表示させる。

【0089】

この構成により、縮小射影画像Ｗｓｓの何れかに対する選択操作が行われて縮小射影画像Ｗｓｓの表示を終了した後は、選択ボタンＢにより検査アルゴリズムを選択することができる。

【産業上の利用可能性】

【0090】

以上のように、本発明に係るＸ線検査装置は、選択可能な検査アルゴリズムが多数ある場合でもユーザが各検査アルゴリズムの特性を容易に把握でき、検査に適した検査アルゴリズムを容易に決定することができるという効果を有し、被検査物を搬送しながらＸ線の照射を行うＸ線検査装置として有用である。

【符号の説明】

【0091】

１ Ｘ線検査装置
２ 搬送部
９ Ｘ線発生器
１０ Ｘ線検出器
４１ 表示器
４１ｈ 検査画像表示部
４１ｐ 縮小射影画像表示部
４１ｑ 射影画像表示部
４３ 画像処理部
４４ 判定部
４７ 表示制御部
Ｂ 選択ボタン
Ｗ 被検査物
Ｗｋ 検査画像
Ｗｓ 射影画像
Ｗｓｓ 縮小射影画像

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】