特開2016-129134多層膜を備えるＭＥＭＳ構造体

発明の名称　多層膜を備えるＭＥＭＳ構造体

出願人　デルフメムズ　エスエーエス　（識別番号 515356513）

　　　　特許公開件数ランキング 14438 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12196 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-129134

公報発行日　2016年7月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-129134

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