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特開2016-130367有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置
発明の名称 有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置
出願人 エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッド （識別番号 515292071）
特許公開件数ランキング 8324 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 6842 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2016-130367
公報発行日 2016年7月21
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-130367
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