特開2016-134623プラスマエンハンスト原子層エッチングの方法

発明の名称　プラスマエンハンスト原子層エッチングの方法

出願人　エーエスエム　アイピー　ホールディング　ビー．ブイ．　（識別番号 512144771）

　　　　特許公開件数ランキング 30926 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25042 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-134623

公報発行日　2016年7月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-134623

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