特開2016-138312Ｍｎ−Ｚｎ−Ｗ−Ｏ系スパッタリングターゲット及びその製造方法

発明の名称　Ｍｎ−Ｚｎ−Ｗ−Ｏ系スパッタリングターゲット及びその製造方法

出願人　デクセリアルズ株式会社　（識別番号 108410）

　　　　特許公開件数ランキング 371 位（81件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 414 位（60件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-138312

公報発行日　2016年8月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-138312

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