特開2016-148811露光装置及び照明装置

発明の名称　露光装置及び照明装置

出願人　株式会社ブイ・テクノロジー　（識別番号 500171707）

　　　　特許公開件数ランキング 3969 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2439 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-148811

公報発行日　2016年8月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-148811

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