特開 2016-149169 光記録媒体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2016-149169(P2016-149169A)

(43)【公開日】2016年8月18日

(54)【発明の名称】光記録媒体

(51)【国際特許分類】

   G11B 7/24035 20130101AFI20160722BHJP

   G11B 7/243 20130101ALI20160722BHJP

   G11B 7/24041 20130101ALI20160722BHJP

【ＦＩ】

   G11B7/24 522D

   G11B7/24 511

   G11B7/24 522Q

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2015-24035(P2015-24035)

(22)【出願日】2015年2月10日

(71)【出願人】

【識別番号】000204284

【氏名又は名称】太陽誘電株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104215

【弁理士】

【氏名又は名称】大森 純一

(74)【代理人】

【識別番号】100117330

【弁理士】

【氏名又は名称】折居 章

(74)【代理人】

【識別番号】100160989

【弁理士】

【氏名又は名称】関根 正好

(74)【代理人】

【識別番号】100168181

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 哲平

(74)【代理人】

【識別番号】100168745

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 彩子

(74)【代理人】

【識別番号】100170346

【弁理士】

【氏名又は名称】吉田 望

(74)【代理人】

【識別番号】100176131

【弁理士】

【氏名又は名称】金山 慎太郎

(72)【発明者】

【氏名】尾下 順二

(72)【発明者】

【氏名】浅野 翔

(72)【発明者】

【氏名】下舞 賢一

【テーマコード（参考）】

5D029

【Ｆターム（参考）】

5D029JA01

5D029JB03

5D029JB05

5D029JB14

(57)【要約】

【課題】広いパワーマージン特性を備えた光記録媒体を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る光記録媒体は、金属Ｘの酸化物を含む第１の記録膜と、金属Ｙの酸化物を含み上記第１の記録膜に隣接して配置された第２の記録膜とを具備する。
上記金属Ｘは、Ｗ、Ｍｏ、Ｆｅ、Ｃｕからなる群より選ばれる少なくとも１種であり、
上記金属Ｙは、Ｃｕ、Ｆｅからなる群より選ばれる少なくとも１種である。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

金属Ｘの酸化物を含む第１の記録膜と、
金属Ｙの酸化物を含み前記第１の記録膜に隣接して配置された第２の記録膜と
を具備し、
前記金属Ｘは、Ｗ、Ｍｏ、Ｆｅ、Ｃｕからなる群より選ばれる少なくとも１種であり、
前記金属Ｙは、Ｃｕ、Ｆｅからなる群より選ばれる少なくとも１種である
光記録媒体。

【請求項2】

請求項１に記載の光記録媒体であって、
前記第１の記録膜は、ＧｅＷＯｘ、ＧｅＷＯｘ−ＣｕＯ、ＧｅＷＯｘ−Ｃｕ_２Ｏ、ＧｅＷＯｘ−Ｆｅ_３Ｏ_４、ＧｅＷＯｘ−Ｆｅ_２Ｏ_３のうちの少なくともいずれか１つを含む
光記録媒体。

【請求項3】

請求項１に記載の光記録媒体であって、
前記第２の記録膜は、ＣｕＯ、Ｃｕ_２Ｏ、Ｆｅ_３Ｏ_４、Ｆｅ_２Ｏ_３のうちの少なくともいずれか１つを含む
光記録媒体。

【請求項4】

請求項１に記載の光記録媒体であって、
前記第１の記録膜と前記第２の記録膜とをそれぞれ含む複数の記録層を具備し、
前記複数の記録層のうち少なくとも１つの記録層の第１の記録膜は、他の少なくとも１つの記録層の第１の記録膜と異なる構成元素を含む
光記録媒体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、良好な記録特性を備えた光記録媒体に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、光ディスクの分野においては、高密度記録化および大容量化を目的として、青色レーザに対応した追記型多層光記録媒体の開発が進められている。当該光記録媒体においては、高密度記録化および大容量化に加え、良好な記録特性を有することが望まれている。
そこで、特許文献１には、記録膜と、当該記録膜に接して設置された光吸収膜をさらに備えた情報層を含む光記録媒体が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第５２９２５９２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

近年、光記録媒体の多層化等に伴い、情報を記録する際の記録光のパワーの制御が問題となることがあった。そこで、記録パワーのパワーマージンがより広い光記録媒体が求められている。

【0005】

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、広いパワーマージン特性を備えた光記録媒体を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る光記録媒体は、
金属Ｘの酸化物を含む第１の記録膜と、
金属Ｙの酸化物を含み上記第１の記録膜に隣接して配置された第２の記録膜とを具備する。
上記金属Ｘは、Ｗ、Ｍｏ、Ｆｅ、Ｃｕからなる群より選ばれる少なくとも１種であり、
上記金属Ｙは、Ｃｕ、Ｆｅからなる群より選ばれる少なくとも１種である。

【0007】

上記構成によれば、第１及び第２の記録膜が上記金属酸化物を含むことにより、広いパワーマージン特性を備えた光記録媒体を提供することができる。

【0008】

上記第１の記録膜は、具体的には、ＧｅＷＯｘ、ＧｅＷＯｘ−ＣｕＯ、ＧｅＷＯｘ−Ｃｕ_２Ｏ、ＧｅＷＯｘ−Ｆｅ_３Ｏ_４、ＧｅＷＯｘ−Ｆｅ_２Ｏ_３のうちの少なくともいずれか１つを含んでもよい。

【0009】

また、上記第２の記録膜は、具体的には、ＣｕＯ、Ｃｕ_２Ｏ、Ｆｅ_３Ｏ_４、Ｆｅ_２Ｏ_３のうちの少なくともいずれか１つを含んでいてもよい。

【0010】

さらに、上記光記録媒体は、上記第１の記録膜と上記第２の記録膜とをそれぞれ含む複数の記録層を具備し、
上記複数の記録層のうち少なくとも１つの記録層の第１の記録膜は、他の少なくとも１つの記録層の第１の記録膜と異なる構成元素を含んでいてもよい。
これにより、記録層が多層化した場合であっても、光入射側からの距離に応じて、各記録層を所期の記録特性に調整することができる。したがって、多層化された記録層においても記録特性の高い光記録媒体を提供することができる。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、データの長期保存性と、広いパワーマージン特性とを兼ね備えた光記録媒体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の一実施形態に係る光記録媒体を示す概略断面図である。

【図2】上記光記録媒体のガイド層の構成を示す概略断面図である。

【図3】上記ガイド層のガイドトラックを示す模式図である。

【図4】上記光記録媒体の記録層の層構造を示す概略断面図である。

【図5】試験例１における、記録パワー［ｍＷ］（横軸）に対するｉ−ＭＬＳＥ［％］（縦軸）の値を示すグラフである。

【図6】試験例１における、パワーマージンをより詳細に分析するためのグラフであり、縦軸はｉ−ＭＬＳＥ［％］、横軸は、最適記録パワーを１とした場合の記録パワー比である。

【図7】試験例１における、各サンプルの記録層のモジュレーション（変調度：Modulation）を示すグラフであり、横軸は最適記録パワーを１とした場合の記録パワー比、縦軸はモジュレーションを示す。

【図8】試験例１における、各サンプルの記録層のアシンメトリを示すグラフであり、横軸は最適記録パワーを１とした場合の記録パワー比、縦軸はアシンメトリである。

【図9】試験例２における、各サンプルの記録層の記録特性を評価するグラフであり、横軸は最適記録パワーを１００％とした場合の記録パワー比［％］、縦軸はジッタ（Jitter）である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。

【0014】

図１は、本発明の一実施形態に係る光記録媒体を示す概略断面図である。
［光記録媒体の構成］
本実施形態の光記録媒体１１は、ガイド層１１２と複数の記録層１１３とを有する、ガイド層分離型の多層光ディスクで構成される。図示する光記録媒体１１は、４層の記録層１１３を有する。これに限られず、１層〜３層あるいは５層以上の記録層を有してもよい。光記録媒体１１は、円盤状をなし、中央部分にはセンターホールが形成されている。

【0015】

光記録媒体１１において、ガイド層１１２とこれに最も近い記録層１１３との間、及び、隣り合う記録層１１３の間には、光透過性を有するバッファ層１１６及び中間層１１４がそれぞれ介層されている。これらの層は、図示しない記録再生装置内の光ピックアップからの記録再生光Ｒ１およびガイド光Ｒ２が入射される側から、保護層（カバー層）１１５、記録層１１３（Ｌ３）、中間層１１４、記録層１１３（Ｌ２）、中間層１１４、記録層１１３（Ｌ１）、中間層１１４、記録層１１３（Ｌ０）、バッファ層１１６、ガイド層１１２の順に積層される。

【0016】

記録再生光Ｒ１及びガイド光Ｒ２は、対物レンズ６０を介して目的とする記録層１１３及びガイド層１１２に焦点を結ぶように制御される。記録再生光Ｒ１及びガイド光Ｒ２には相互に異なる波長のレーザ光が用いられ、典型的には、記録再生光Ｒ１には青色レーザ光が用いられ、ガイド光Ｒ２には赤色レーザ光が用いられる。

【0017】

（ガイド層）
図２はガイド層１１２の構成を示す概略断面図であり、図３はガイド層１１２のガイドトラックを示す模式図である。

【0018】

図２及び図３に示すようにガイド層１１２は、一方の面に渦巻き状の凹凸部１１１（ガイド溝）を有する円盤形状のポリカーボネート等のプラスチック基材１１０と、凹凸部１１１の凹凸形状にならって凹凸部１１１を被覆する反射膜１２０との積層構造を有する。

【0019】

基材１１０は、典型的にはスタンパ等の成形金型を用いて成形され、外径は１２０ｍｍ、厚さは１．１ｍｍで形成される。反射膜１２０は、例えば銀（Ａｇ）やその合金等のように赤色レーザ光に対して反射率の高い金属材料のスパッタ膜で形成される。反射膜１２０の厚みは特に限定されず、例えば２０ｎｍ〜１００ｎｍであり、本実施形態では８０ｎｍである。

【0020】

ガイド層１１２において記録層１１３に対向する側の面には、図２及び図３に示すようにトラッキング制御用のガイドトラック１２１が形成される。ガイドトラック１２１は、渦巻き状に形成されたランド・グルーブ構造を有する。ランドはグルーブ間に形成され、グルーブはランド間に形成される。以下の説明では、ガイドトラック１２１において、レーザ光源（光ピックアップ）に近い方のトラックを「グルーブ」あるいは「オングルーブ（On-Groove）部」と称し、レーザ光源から遠い方のトラックを「ランド」あるいは「イングルーブ（In-Groove）部」と称する。

【0021】

ガイドトラック１２１は、ランドによるガイドトラック（イングルーブ部１２１Ｌ）とグルーブによるガイドトラック（オングルーブ部１２１Ｇ）とからなり、一周毎にランドトラックとグルーブトラックを切り替える手段が用いられる。いわゆる「ダブルスパイラルトラック」を構成してもよい。本実施形態では、イングルーブ部１２１Ｌおよびオングルーブ部１２１Ｇは光記録媒体１１の内周側から外周側にかけてそれぞれ渦巻き状に連続的に形成されているが、これに限定されない。例えば、イングルーブ部１２１Ｌおよびオングルーブ部１２１Ｇは、光記録媒体１１の内周側から外周側にかけて所定周期で（例えば周ごとに）交互に入れ替わるように渦巻き状に連続的に形成されてもよい。

【0022】

イングルーブ部１２１Ｌは、オングルーブ部１２１Ｇとの境界を形成する一対の側壁１２１ｓに囲まれている。側壁１２１ｓは、典型的にはテーパ面で形成されるが、基材１１０の表面に垂直な面で形成されてもよい。側壁１２１ｓのテーパ角は特に限定されず、スタンパ金型の抜き勾配や凹凸部１１１の凹凸高さ、反射膜１２０の厚さ等に応じて適宜設定される。

【0023】

ガイドトラック１２１には、側壁面のウォブリングあるいはピット列などによって物理アドレス情報が形成されている。イングルーブ部１２１Ｌおよびオングルーブ部１２１Ｇは、例えばＤＶＤ（Digital Versatile Disk）の記録再生に用いられる赤色レーザ光に対応するトラックピッチ（０．６４μｍ）で形成される。ランドとグルーブ間のピッチの平均は０．３２μｍであり、これはガイドトラック１２１のトラックピッチに相当する。以後、赤色レーザ光のレーザ光を「ガイド光」と呼ぶ。

【0024】

光記録媒体１１を駆動する記録再生装置では、ガイドトラック１２１のランドとグルーブのそれぞれにおいて、例えば、プッシュプル法（ＰＰ：Push-Pull）、差動プッシュプル法（ＤＰＰ：Differential Push-Pull）、３ビーム法などによるトラッキング制御が行われる。ガイドトラック１２１のランドとグルーブのそれぞれにおいてトラッキング制御が行われることで、記録層１１３に対する情報の記録は０．３２μｍのトラックピッチで行うことが可能である。

【0025】

（記録層）
図４は、記録層の層構造を示す概略断面図である。

【0026】

各層の記録層１１３（Ｌ０〜Ｌ３）はそれぞれ同一の層構造を有し、中間層１１４を挟んで相互に積層されている。ガイド層１１２に最も近い記録層１１３（Ｌ０）は、反射膜１２０で被覆されたガイドトラック１２１の深さよりも大きな厚みで形成されたバッファ層１１６（平坦化層）の上に成膜される。したがってバッファ層１１６上に成膜される記録層１１３及び中間層１１４は、溝（ガイドトラック）のない平坦な平面上に順次積層される。

【0027】

各々の記録層１１３は、第１の記録膜１３１と、第２の記録膜１３２と、第１の光学調整膜１３３と、第２の光学調整膜１３４との積層構造を有する。
また、本実施形態において、各記録層１１３の対応する各膜は、同一の構成元素を含むものとすることができる。

【0028】

第１の記録膜１３１は、例えばブルーレイディスク（登録商標）の記録再生に用いられる波長３８０〜４５０ｎｍ（本例では４０５ｎｍ）の青色レーザ光に対応するトラックピッチ（０．３２μｍ）で情報の記録が行われる層である。以後、この青色レーザ光を「記録再生光」または「記録光」と呼ぶ。
第１の記録膜１３１は、金属Ｘの酸化物を含む。金属Ｘは、Ｗ、Ｍｏ、Ｆｅからなる群より選ばれる少なくとも１種である。より具体的には、第１の記録膜１３１は、ＧｅＷＯｘ、ＧｅＷＯｘ−ＣｕＯ、ＧｅＷＯｘ−Ｃｕ_２Ｏ、ＧｅＷＯｘ−Ｆｅ_３Ｏ_４、ＧｅＷＯｘ−Ｆｅ_２Ｏ_３のうちの少なくともいずれか１つを含んでいてもよい。このような材料を用いることにより、情報の追記は可能であるが書換えができない追記型無機記録層を構成することができるとともに、後述するように、所期の記録特性を実現することができる。
第１の記録膜１３１は、典型的には、スパッタリング法で成膜される。第１の記録膜１３１の厚みは特に限定されず、例えば１０ｎｍ〜７０ｎｍであり、記録層１１３の層位置や層数等に応じて適宜設定される。
第１の記録膜１３１は、また、膜中に、アルゴンガス及び酸素ガス、窒素ガス等のガスを含んでいてもよい。これらのガスは、第１の記録膜１３１の成膜時に巻き込まれた雰囲気ガスであると考えられ、後述するように、記録マークの形成に関与し得る。

【0029】

第２の記録膜１３２は、第１の記録膜１３１だけでは不足する熱吸収効率を補うためのものであり、第１の記録膜１３１に隣接して配置される。
第２の記録膜１３２は、金属Ｙの酸化物を含む。金属Ｙは、Ｃｕ、Ｆｅからなる群より選ばれる少なくとも１種である。より具体的には、第２の記録膜１３２は、ＣｕＯ、Ｃｕ_２Ｏ、Ｆｅ_３Ｏ_４、Ｆｅ_２Ｏ_３のうちの少なくともいずれか一つを含んでいてもよい。さらに第２の記録膜１３２は、上記材料に替えて、ＧｅＮ、ＳｉＣ、ＢがドープされたＳｉ（Ｂ−Ｓｉと称する）等を用いてもよい。これにより、熱吸収効率を向上させ、記録光に対する感度等の記録特性を高めることができる。
第２の記録膜１３２は、典型的には、スパッタリング法で成膜され、例えば第１の記録膜１３１の厚みよりも薄い１ｎｍ〜１０ｎｍの厚みを有する。

【0030】

第１の光学調整膜１３３は、例えば、記録層１１３の透過率の調整や、第１の記録膜１３１に記録された情報（記録マーク）の再生に必要な反射率を確保する目的で、第１の記録膜１３１のレーザ光入射側、すなわち反射膜１２０側とは反対側に配置される。第１の光学調整膜１３３は、金属酸化物材料で構成され、例えば、ＳｎＯ₂系、ＴｉＯ₂系、ＳｉＯ₂系、ＺｎＯ−ＳｎＯ₂系等のガラス材料で構成される。
第１の光学調整膜１３３は、中間層１１４を形成する際に用いられる光硬化性樹脂の溶剤が第１の記録膜１３１に浸透する混和現象を防止するための保護層としての機能をも有する。
第１の光学調整膜１３３は、典型的には、スパッタリング法で第１の記録膜１３１の上に成膜される。第１の光学調整膜１３３の厚みは特に限定されず、例えば１０ｎｍ〜１００ｎｍであり、目的とする反射率や記録層１１３の層位置あるいはその層数等に応じて適宜設定される。

【0031】

第２の光学調整膜１３４は、第１の光学調整膜１３３による記録層１１３の光学特性の調整機能を補助するためのものであり、反射膜１２０と第１の記録膜１３１との間に配置される。第２の光学調整膜１３４は、金属酸化物材料で構成され、本実施形態では、第１の光学調整膜１３３と同一の材料で構成される。
第２の光学調整膜１３４は、第２の記録膜１３２とバッファ層１１６あるいは中間層１１４との間を仕切る境界層としての機能をも有する。これにより第２の記録膜１３２とバッファ層１１６あるいは中間層１１４とを適切に分離することが可能となる。
第２の光学調整膜１３４は、典型的には、スパッタリング法でバッファ層１１６あるいは中間層１１４の上に成膜される。第２の光学調整膜１３４の厚みは特に限定されず、例えば５ｎｍ〜１００ｎｍであり、第１の光学調整膜１３３の厚みや目的とする反射率、記録層１１３の層位置あるいはその層数等に応じて適宜設定される。

【0032】

中間層１１４、保護層１１５及びバッファ層１１６は、ガイド光及び記録再生光に対して透明な樹脂材料、例えば紫外線硬化型の樹脂材料で構成される。中間層１１４、保護層１１５及びバッファ層１１６は、典型的にはスピンコート法等の塗布法によって成膜される。中間層１１４、保護層１１５及びバッファ層１１６の厚みは特に限定されず、目的とする透過率等の光学特性に応じて適宜設定される。

【0033】

（記録マークの形成原理）
本実施形態に係る記録層１１３は、第１の記録膜１３１及び第２の記録膜１３２の２層の記録膜を有する。記録光を照射すると、熱を吸収しやすい第２の記録膜１３２がアモルファスから結晶へと相変化することで、第１の記録マークが形成される。
一方、第１の記録膜１３１は上述のように、ガスを含み得る。この場合、第２の記録膜１３２に蓄熱された熱が第１の記録膜１３１に伝播し、第１の記録膜１３１中に含まれるガスが膨張して第２の記録膜１３２との界面付近に放出される。これにより、第１の記録膜１３１の第２の記録膜１３２との界面付近に、ガスを収容する凹部が形成される。この凹部は、第１の記録マークに隣接して形成され、第２の記録マークとして機能し得る。
また、第１の記録膜１３１には、凹部が形成されずとも、あるいは凹部の形成とともに、アモルファスから結晶質への相変化が生じてもよい。この場合は、相変化した部分が第２の記録マークとして機能してもよい。
このように、記録層１１３は、記録光により、第１及び第２の記録膜１３１，１３２に、それぞれ第１の記録マークと第２の記録マークの２つの記録マークが形成される。これにより、再生時に、これら隣接する２つの記録マークが１つの記録マーク部として機能し得る。

【0034】

［光記録媒体の製造方法］
続いて、光記録媒体１１の製造方法について説明する。

【0035】

まず、ガイド層１１２を構成する基板が作製される。ガイドトラック１２１は、基材１１０の凹凸部１１１の表面に反射膜１２０を形成することで作製される。基材１１０は、典型的には射出成形で形成される。反射膜１２０は、典型的には、スパッタ法により成膜される。

【0036】

続いて、ガイドトラック１２１の上にバッファ層１１６が形成される。バッファ層１１６は、ガイド層１１２に紫外線硬化樹脂を塗布して塗膜を形成し、紫外線を照射して塗膜を硬化させることによって形成される。

【0037】

次に、バッファ層１１６の上に、第２の光学調整膜１３４及び第２の記録膜１３２が順に成膜される。第２の光学調整膜１３４及び第２の記録膜１３２は、それぞれスパッタ法で成膜される。第２の光学調整膜１３４及び第２の記録膜１３２は、同一のスパッタ装置において異なるターゲットを用いて順に成膜されてもよいし、別々のスパッタ装置で成膜されてもよい。

【0038】

続いて、第２の記録膜１３２の上に第１の記録膜１３１が成膜される。第１の記録膜１３１は、金属酸化物ターゲットを、例えばアルゴン及び酸素等を含む雰囲気中でスパッタすることで成膜される。アルゴンは放電用のスパッタガスとして、酸素は酸素欠損を抑制するガスとして機能し得る。なお、これらのガスに加え、窒素ガスを用いてもよい。
スパッタ装置の種類は特に限定されず、例えば、ＤＣマグネトロンスパッタ装置や、ＲＦマグネトロンスパッタ装置を用いることができる。
成膜時の圧力（スパッタ圧力）も特に限定されず、真空チャンバへ導入されるガス（アルゴン及び酸素等）の流量に応じて設定される。また、スパッタレートも特に限定されない。

【0039】

次に、第１の記録膜１３１の上に、第１の光学調整膜１３３及び中間層１１４が順に成膜される。第１の光学調整膜１３３は、スパッタ法で成膜される。中間層１１４は、第１の光学調整膜１３３の上に、紫外線硬化樹脂を塗布して塗膜を形成し、紫外線を照射して塗膜を硬化させることによって形成される。

【0040】

続いて上述のとおり、第２の光学調整膜１３４、第２の記録膜１３２、第１の記録膜１３１及び第１の光学調整膜１３３が順に繰り返し成膜される。これにより図４に示す多層光記録媒体１１が作製される。

【0041】

以下、複数の試験結果に基づき、記録層１１３の作用について説明する。

【0042】

［記録層の作用］
（試験例１）
まず、試験例１として、第１の記録膜の材料について検討した。なお、本試験例１に用いた参考例２は、感度やモジュレーション等の記録特性は良好であるが、後述するパワーマージンについては十分でない記録層を有するものとする。
表１に、本試験例に係る実施例１、実施例２、実施例３及び参考例２の第１及び第２の記録膜の材料を示す。なお、第１及び第２の光学調整膜は、いずれも、３０ｎｍのＺｎＯ、ＳｎＯ_２系のガラス材料を含む膜である。これらの各膜は、マグネトロンスパッタ装置（実施例１，２，３の第１の記録膜は、芝浦メカトロニクス株式会社製「i-Miller」、その他の各膜はユナクシス（Unaxis）社製「DVD Sprinter」）を用いて、それぞれ表１に記載の厚みで形成された。
また、実施例１の第１の記録膜は、２つのターゲットを用いた２元スパッタリングによって形成された。スパッタ条件は、以下に示す。なお、「／」の前後に記載した材料及び数値は、それぞれ異なるカソードにおける条件を示す。
・ターゲット：Ｗ／Ｇｅ
・電源：ＤＣ／ＤＣ
・パワー：２００［Ｗ］／１５０［Ｗ］
・アルゴン（Ａｒ）流量：１５［ｓｃｃｍ］
・酸素（Ｏ₂）流量：３０［ｓｃｃｍ］
・スパッタレート：１．００［ｎｍ／ｓｅｃ］
一方、実施例２の第１の記録膜は、３つのターゲットを用いた３元スパッタリングによって形成された。スパッタ条件は、以下に示す。
・ターゲット：Ｗ／Ｇｅ／Ｃｕ_２Ｏ
・電源：ＤＣ／ＤＣ／ＲＦ
・パワー：２００［Ｗ］／１５０［Ｗ］／３００［Ｗ］
・アルゴン（Ａｒ）流量：１５［ｓｃｃｍ］
・酸素（Ｏ₂）流量：３０［ｓｃｃｍ］
・スパッタレート：０．８０［ｎｍ／ｓｅｃ］
また、実施例３の第１の記録膜は、３つのターゲットを用いた３元スパッタリングによって形成された。スパッタ条件は、以下に示す。
・ターゲット：Ｗ／Ｇｅ／Ｆｅ_２Ｏ_３
・電源：ＤＣ／ＤＣ／ＲＦ
・パワー：６０［Ｗ］／８０［Ｗ］／２００［Ｗ］
・アルゴン（Ａｒ）流量：１５［ｓｃｃｍ］
・酸素（Ｏ_２）流量：３０［ｓｃｃｍ］
・スパッタレート：０．１３［ｎｍ／ｓｅｃ］

【0043】

【表1】

【0044】

続いて、作製された各記録層の記録特性を調べた。

【0045】

図５は、記録パワー［ｍＷ］（横軸）に対するｉ−ＭＬＳＥ［％］（縦軸）の値を示すグラフである。なお、ｉ−ＭＬＳＥは、２値化された再生信号の品質の評価指標として用いられる、エラーレート相関の評価値であり、低い値の方が記録特性が良いとされる。また、本実験では、１トラック記録した場合のｉ−ＭＬＳＥを評価した。
同図に示すように、実施例１〜３は、いずれも、参考例１と比較して、ｉ−ＭＬＳＥが最も小さい値となる記録パワー（試験例１において、最適記録パワーとする）が大きく、記録光に対する感度は高くなかった。実施例１と実施例２，３とのデータを比較すると、第１の記録膜にＣｕ及びＦｅが含まれる実施例２，３の方が、第１の記録膜にこれらが含まれない実施例１よりも記録光に対する感度が高かった。これにより、第１の記録膜がＣｕ，Ｆｅを含むことで、感度を改善できることが確認された。
一方で、実施例１〜３及び参考例１のデータは、いずれも下に凸の曲線であるが、実施例１〜３のデータを示す曲線は、全体として、参考例１のデータを示す曲線よりも緩やかだった。これは、実施例１〜３の記録層が、参考例１と比較して、記録光として用いることができる記録パワーが広いことを示唆している。以下、記録光として採り得る記録パワーの幅を「パワーマージン」と称し、さらにパワーマージンについてより詳細に分析した。

【0046】

図６は、パワーマージンをより詳細に分析するためのグラフであり、縦軸はｉ−ＭＬＳＥ［％］、横軸は、最適記録パワーを１とした場合の記録パワー比である。このグラフにより、最適記録パワーを中心とした記録パワーのマージンを、感度の大小によらず評価することができる。なお、パワーマージンは、ｉ−ＭＬＳＥ１２％以下の記録パワー比の範囲で評価するものとする。
同図に示すように、参考例１のパワーマージンは０．１２〜０．１３であるのに対し、実施例１のパワーマージンは約０．２０、実施例２のパワーマージンは約０．２５、実施例３のパワーマージンも約０．２５であった。これにより、実施例１〜３のパワーマージンは参考例１のパワーマージンと比較して大きく向上していることが確認された。さらに、実施例１と実施例２，３とのデータを比較すると、第１の記録膜がＣｕ及びＦｅを含む実施例２，３の方が、これらを含まない実施例１よりもよりパワーマージンが広いことが確認された。

【0047】

図７は、各記録層のモジュレーション（変調度：Modulation）を示すグラフであり、横軸は最適記録パワーを１とした場合の記録パワー比、縦軸はモジュレーションを示す。
同図に示すように、実施例２，３のデータは、参考例１のデータと同様の傾向を示した。これらの結果から、実施例２，３の記録層は、モジュレーションに関しても良好な特性を有することが確認された。また、実施例１のデータは、参考例１よりも若干値が小さいものの、他の記録特性を鑑みても問題ない値であった。

【0048】

図８は、各記録層のアシンメトリを示すグラフであり、横軸は最適記録パワーを１とした場合の記録パワー比、縦軸はアシンメトリである。アシンメトリとは、記録マークが形成された記録媒体から再生されるＲＦ信号（ピックアップの出力）において、信号の対称性がくずれ、データの判定すべきレベルが中心からずれたときのずれ量を全体の振幅の比で表したものである。すなわち、アシンメトリのデータの傾きが緩やかなほど、記録パワーの変化に対する記録マークの対称性の乱れが少なく、パワーマージンも広い傾向を有する。
同図に示すように、実施例１のデータは、記録パワー比が１以上の領域において参考例１よりも傾きが小さい傾向が見られた。また、実施例２，３のデータは、参考例１と比較して、全体的に傾きが小さい傾向が見られた。この結果によっても、実施例１〜３の記録層は、パワーマージンが広い傾向を有することが確認された。

【0049】

以上の結果より、第１の記録膜にＷが含まれる実施例１〜３の記録層は、第１の記録膜にＷが含まれない参考例１の記録層と比較して、パワーマージンが広いことが確認された。また、パワーマージンに加え、記録光に対する感度やモジュレーションも含めて総合的に判断すると、実施例１〜３の記録層は、良好な記録特性を有していることが確認された。
さらに、第１の記録膜にＣｕ及びＦｅがそれぞれ含まれる実施例２，３の記録層は、これらを含まない実施例１の記録層よりも、パワーマージン、感度、モジュレーションにおいてより一層良好な記録特性を有していた。これにより、Ｃｕ，Ｆｅが添加された第１の記録膜は、パワーマージンがより広く、かつ感度やモジュレーション等の記録特性も高いことが確認された。

【0050】

（試験例２）
続いて、試験例２として、第２の記録膜の材料について検討した。
まず、参考例２、参考例３の記録層を作製した。参考例２の第２の記録膜は、５ｎｍのＦｅ_３Ｏ_４、参考例３の第２の記録膜は、５ｎｍのＣｕ−Ｏであった。なお、参考例２及び参考例３の第１の記録膜、第１及び第２の光学調整膜はいずれも共通であり、第１の記録膜は３５ｎｍのＧｅＢｉＯＮ、第１及び第２の光学調整膜は３０ｎｍのＺｎＯ、ＳｎＯ_２系のガラス材料を含む膜であった。

【0051】

図９は、参考例２，３の記録特性を評価するグラフであり、横軸は最適記録パワーを１００％とした場合の記録パワー比［％］、縦軸はジッタ（Jitter）である。なお、ジッタとは、記録信号の時間的揺らぎを示すパラメータであり、値が小さいほど記録特性は良い。また、ここでいう最適記録パワーは、ジッタが最も小さい場合の記録パワーをいう。
同図に示すように、参考例２，３とも同様のデータが得られ、いずれも同等の記録特性を有することが確認された。また、参考例２，３の最適記録パワーは、参考例２が２１．７ｍＷ、参考例３が２２．１ｍＷであり、こちらもほぼ同等であった。
ここで、参考例２のＦｅ_３Ｏ_４を含む第２の記録膜は、実施例１〜３の第２の記録膜と同一である。また上述のとおり、実施例１〜３の記録層は、パワーマージンが広く良好な記録特性を有している。したがって、試験例２の結果より、実施例１〜３の第２の記録膜の材料をＣｕＯに変えた場合であっても、広いパワーマージンを有し、良好な記録特性の記録層を得ることができると考えられる。

【0052】

以上の結果より、第２の記録膜は、Ｆｅの酸化物を含む膜であっても、Ｃｕの酸化物を含む膜であっても、いずれも良好な記録特性が得られることが確認された。

【0053】

［本実施形態の作用効果］
以上より、本実施形態によれば、第１の記録膜が、Ｗ，Ｆｅ，Ｃｕ等の酸化物を含むことにより、記録光のパワーマージンを広げることができる。これにより、光ピックアップ側において、レーザの記録パワーを高精度で制御せずとも、良好な記録特性を発揮することができる。
さらに、記録層が多層化した場合は、記録光が入射側から遠い記録層（例えば図１のＬ０）に到達するまでの間で記録光パワーの減衰等があり得る。また、各層の透過率が所期の透過率からわずかにずれることで、全体として当該透過率のずれが大きくなることもあり得る。そこで、本実施形態によれば、記録光のパワーマージンが広いため、記録層が多層化した場合であっても安定した記録特性を発揮することができる。
加えて、第１の記録膜が、Ｗに加え、Ｆｅ，Ｃｕを含んでいる場合、記録光のパワーマージンをより広げることができ、多層化した場合でもより安定した記録特性を得ることができる。これは、第１の記録膜がＦｅ，Ｃｕを含むことにより、第１の記録膜の熱吸収性を高め、上記第２の記録マークの形成をより安定的に行うことができ、その結果パワーマージンの拡大と良好な感度を得ることができるためと考えられる。

【0054】

［変形例］
上述の実施形態では、各記録層１１３の対応する各膜が、同一の構成元素を含むものとすることができると説明したが、これに限定されない。
例えば、複数の記録層１１３のうち少なくとも１つの記録層１１３の第１の記録膜１３１は、他の少なくとも１つの記録層１１３とは異なる構成元素を含んでいてもよい。これにより、記録層１１３が多層化した場合であっても、記録特性の高い光記録媒体１１を提供することができる。

【0055】

図１を用いて説明する。同図において、記録再生光Ｒ１は記録層Ｌ３側から記録層Ｌ０側へ向かって照射されるものとする。
例えば、光入射側から遠く、基材１１０及び反射層１２０に近い記録層１１３（Ｌ０）（以下、記録層１１３（Ｌｘ）を単に記録層Ｌｘと称する）は、光入射側により近い記録層Ｌ３，Ｌ３，Ｌ１でパワーが減少した記録光によっても記録を可能とするため、感度が良好な構成が望まれる。また、記録層Ｌ０は、光入射側の記録層Ｌ３，Ｌ３，Ｌ１において所期の透過率が得られなかった場合でも安定的な記録を可能とするため、パワーマージンが広い構成が望まれる。

【0056】

そこで、本変形例の光記録媒体１１では、上述の図５〜図８を参照し、例えば、記録層Ｌ１〜Ｌ３の第１の記録膜１３１はＷを含み、記録層Ｌ０の第１の記録膜１３１はＷ及びＣｕ又はＦｅを含む構成とすることができる。これにより、特に光入射側から遠い記録層Ｌ０をパワーマージンが広く、感度の高い構成とすることができ、記録層を多層化しても記録特性の高い光記録媒体１１を提供することができる。

【0057】

また、光記録媒体１１は、上述の構成に限定されない。例えば、記録層Ｌ０、Ｌ１の第１の記録膜１３１はＷ及びＣｕ又はＦｅを含み、他の記録層Ｌ２、Ｌ３の第１の記録膜１３１はＷを含む構成としてもよい。

【0058】

他の変形例として、第１の記録膜及び第２の記録膜の材料は、試験例で用いた材料（表１参照）に限定されない。
例えば、第１の記録膜は、ＧｅＷＯｘ−ＣｕＯ、ＧｅＷＯｘ−Ｆｅ_３Ｏ_４を含んでいてもよいし、Ｗ，Ｃｕ，Ｆｅを含むその他の金属酸化物を含んでいてもよい。
また例えば、第２の記録膜は、Ｆｅ_３Ｏ_４、Ｃｕ_２Ｏを含んでいてもよいし、Ｃｕ，Ｆｅを含むその他の金属酸化物を含んでいてもよい。
また、第１の記録膜は、試験例で用いたＷ，Ｃｕ，Ｆｅの他、Ｗの同属元素であり、Ｗと近い特性を有するＭｏの酸化物を含んでいても、Ｗと同様に記録光のパワーマージンを広げることができる。

【0059】

また、本発明の光記録媒体は、複数の記録層を備えた例に限定されず、１層の記録層を備えていてもよい。すなわちこの場合、光記録媒体は、１つの第１の記録膜と、１つの第２の記録膜とを備えた構成となる。

【符号の説明】

【0060】

１１…光記録媒体
１１３…記録層
１３１…第１の記録膜
１３２…第２の記録膜
１３３…第１の光学調整膜
１３４…第２の光学調整膜

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】