特開2016-152378(P2016-152378A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2016-152378前駆体溶液及び炭化シリコンを含有する層、並びに、パワー半導体素子及びパワー半導体素子の製造方法
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