特開2016-153887音響放射が低減されたＭＥＭＳ光変調器アレイのためのシステムおよび方法

発明の名称　音響放射が低減されたＭＥＭＳ光変調器アレイのためのシステムおよび方法

出願人　ピクストロニクス，インコーポレイテッド　（識別番号 507276092）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-153887

公報発行日　2016年8月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-153887

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