特開2016-157768(P2016-157768A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2016-157768圧電薄膜、圧電薄膜の製造方法、圧電薄膜付き基板、圧電アクチュエータ、圧電センサ、インクジェットヘッドおよびインクジェットプリンタ
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