特開2016-157886(P2016-157886A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2016-157886金属蒸気供給装置、金属／金属化合物製造装置、ＧａＮ単結晶の製造方法、及びナノ粒子の製造方法
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