特開 2016-157924 回路基板および回路基板組立体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2016-157924(P2016-157924A)

(43)【公開日】2016年9月1日

(54)【発明の名称】回路基板および回路基板組立体

(51)【国際特許分類】

   H05K 1/18 20060101AFI20160805BHJP

   H01L 23/12 20060101ALI20160805BHJP

【ＦＩ】

   H05K1/18 J

   H01L23/12 F

   H05K1/18 R

   H01L23/12 J

   H01L23/12 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】9

(21)【出願番号】特願2016-1025(P2016-1025)

(22)【出願日】2016年1月6日

(31)【優先権主張番号】10-2015-0025778

(32)【優先日】2015年2月24日

(33)【優先権主張国】KR

(71)【出願人】

【識別番号】594023722

【氏名又は名称】サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド．

(74)【代理人】

【識別番号】110000877

【氏名又は名称】龍華国際特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】タエ−ホン ミン

(72)【発明者】

【氏名】ミュン−サム カン

(72)【発明者】

【氏名】ヨン−グァン コ

(72)【発明者】

【氏名】ミン−ジェ セオン

【テーマコード（参考）】

5E336

【Ｆターム（参考）】

5E336AA04

5E336AA08

5E336AA11

5E336BB02

5E336BB19

5E336BC26

5E336BC31

5E336CC34

5E336CC55

5E336EE01

5E336GG03

5E336GG11

5E336GG12

5E336GG30

(57)【要約】

【課題】絶縁性の確保が必要な導体の間の境界面に絶縁薄膜と機能膜を含む絶縁膜が備えられた回路基板が開示される。
【解決手段】絶縁薄膜はパリレンを含む材質、機能膜は窒化チタンを含む材質からなることができる。そして、金属材質のコア部の表面にも絶縁膜が備えられることができ、コア部には一面から他面の方向に引き込まれたリセス部が備えられて、集積回路などの電子部品が挿入されることができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１絶縁層と、
前記第１絶縁層に備えられる第１導体パターンと、
前記第１導体パターンの外面に備えられる絶縁膜と、
前記絶縁膜の外面に備えられる第２導体パターンと、を含み、
前記絶縁膜は、前記第１導体パターンに接触する絶縁薄膜と、前記絶縁薄膜の外面に備えられて前記第２導体パターンに接触する機能膜とを含む、回路基板。

【請求項2】

前記絶縁薄膜は、パリレンを含む材質からなる、請求項１に記載の回路基板。

【請求項3】

前記機能膜は、窒化チタンを含む材質からなる、請求項１または２に記載の回路基板。

【請求項4】

前記第１導体パターンと前記第２導体パターンとの間に存在する前記絶縁膜の一部が開放されて、前記第１導体パターンと前記第２導体パターンとが連結される、請求項１から３のいずれか１項に記載の回路基板。

【請求項5】

前記第１絶縁層は、金属材質のコア部の表面に前記絶縁膜が備えられてなる、請求項１に記載の回路基板。

【請求項6】

前記第１絶縁層を貫通するスルービアと、
一面が前記スルービアの下面に接触する第１下部導体パターンと、を含み、
前記スルービアの上面は、前記第１導体パターンの少なくとも一部に接触する、請求項５に記載の回路基板。

【請求項7】

前記コア部には、一面から他面の方向に引き込まれたリセス部が備えられる、請求項５に記載の回路基板。

【請求項8】

一面に露出する第１外部接続手段および第２外部接続手段が備えられた付加基板と、
前記第１外部接続手段に外部端子が連結されるように前記付加基板に実装される第１電子部品と、
前記第１電子部品および前記付加基板の上部に備えられ、前記第２外部接続手段に電気的に連結され、前記第１電子部品の上面が接触する回路基板と、を含み、
前記回路基板は、
前記第１電子部品の少なくとも一部が挿入されるリセス部が備えられたコア部と、
一面が前記コア部を貫通するスルービアの下面に接触し、他面は前記第２外部接続手段に連結される第１下部導体パターンと、
前記コア部の上面に一面が接触する第１絶縁膜と、
前記第１絶縁膜の他面に一面が接触する第１導体パターンと、
前記第１導体パターンの他面に一面が接触する第２絶縁膜と、
前記第２絶縁膜の他面に一面が接触する第２導体パターンと、を含み、
前記第２絶縁膜は、前記第１導体パターンに接触する絶縁薄膜と、前記絶縁薄膜の外面に備えられて前記第２導体パターンに接触する機能膜とを含む、回路基板組立体。

【請求項9】

前記絶縁薄膜は、パリレンを含む材質からなり、前記機能膜は、窒化チタンを含む材質からなる、請求項８に記載の回路基板組立体。

【請求項10】

前記コア部は、金属材からなり、
前記第１絶縁膜は、前記コア部に一面が接触するパリレン膜および前記パリレン膜に一面が接触し、他面には前記第１導体パターンの一面が接触する窒化チタン膜からなる、請求項９に記載の回路基板組立体。

【請求項11】

前記第１電子部品の外面の少なくとも一部は、前記コア部をなす金属材に直接接触する、請求項１０に記載の回路基板組立体。

【請求項12】

前記第１導体パターンの少なくとも一部は、一面が前記スルービアの上面に接触する、請求項８から１１のいずれか１項に記載の回路基板組立体。

【請求項13】

前記第２導体パターンの少なくとも一部は、前記第２絶縁膜を貫通して前記第１導体パターンに接触する、請求項８から１２のいずれか１項に記載の回路基板組立体。

【請求項14】

前記回路基板には、前記第２導体パターンと電気的に連結される第３外部接続手段がさらに備えられ、
前記第３外部接続手段に接触する第２電子部品をさらに含む、請求項８から１３のいずれか１項に記載の回路基板組立体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、回路基板および回路基板組立体に関する。

【背景技術】

【0002】

電子機器の軽量化、小型化、高速化、多機能化、および高性能化の傾向に対応するために、プリント回路基板（Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ、ＰＣＢ）に複数の配線層を形成し、多層基板を製造する技術が開発されている。また、能動素子や受動素子などの電子部品を多層基板に搭載する技術も開発されている。

【0003】

一方、多層基板に連結されるアプリケーションプロセッサ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ；ＡＰ）などの多機能化および高性能化により、発熱量が著しく増加している状況である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】米国特許出願公開第２０１４／０２３１９９６号明細書

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明の一つの目的は、回路基板のスリム化、放熱性能の向上、および信頼性の向上の少なくとも一つが可能な技術を提供することにある。

【0006】

本発明が解消しようとする技術的課題は、上述の技術的課題に制限されず、言及されていない他の技術的課題は、以下の記載から本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が明確に理解することができる。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の例示的な実施形態による回路基板は、導体と導体との間に、絶縁薄膜と機能膜とを含む絶縁膜を形成して、絶縁性を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態による回路基板とこれを含む回路基板組立体を概略的に示す図面である。

【図2】本発明の他の実施形態による回路基板を概略的に示す図面である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

本発明の利点および特徴、そしてそれらを果たす技術などは、添付の図面とともに詳細に後述する実施形態を参照すると明確になるであろう。しかし、本発明は以下に開示される実施形態に限定されず、互いに異なる様々な形態に具現することができる。本実施形態は、本発明の開示を完全にするとともに、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者に発明の範囲を完全に伝達するために提供されることができる。明細書全体において、同一の参照符号は同一の構成要素を示す。

【0010】

本明細書で用いられる用語は、実施形態を説明するためのものであり、本発明を限定しようとするものではない。本明細書において、単数型は文章で特に言及しない限り複数型も含む。明細書で用いられる「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」および／または「含んでいる（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」と言及された構成要素、段階、動作および／または素子は一つ以上の他の構成要素、段階、動作および／または素子の存在または追加を排除しない。

【0011】

図示の簡略化および明瞭化のために、図面は一般的な構成方式を図示しており、本発明の説明において実施形態の論議を不明瞭にすることを避けるために、公知の特徴および技術に関する詳細な説明を省略することができる。さらに、図面の構成要素は必ずしも縮尺に従って図示されたものではない。例えば、本発明の実施形態の理解を容易にするために、図面の一部の構成要素のサイズが他の構成要素に比べ誇張されることがある。互いに異なる図面における同一の参照符号は同一の構成要素を示し、必ずしもそうではないが、類似の参照符号は類似の構成要素を示すことができる。

【0012】

明細書および請求範囲において、「第１」、「第２」、「第３」および「第４」などの用語が記載されている場合、類似した構成要素同士を区別するために用いられ、必ずしもそうではないが、特定の順次または発生順序を記述するために用いられる。そのように用いられる用語は、ここに記述された本発明の実施形態が、例えば、ここに図示または説明されたものではなく他のシーケンスで動作するように適切な環境下で互換可能であることを理解することができる。同様に、ここで、方法が一連の段階を含むと記述される場合、ここに提示されたそのような段階の順序が必ずしもそのような段階が実行される順序であるわけではなく、任意に記述された段階は省略することができ、および／またはここに記述されていない任意の他の段階をその方法に付加することができる。

【0013】

明細書および請求範囲において、「左側」、「右側」、「前」、「後」、「上部」、「底部」、「上に」、「下に」などの用語が記載されている場合には、説明のために用いられるものであり、必ずしも不変の相対的な位置を記述するためのものではない。そのように用いられる用語は、ここに記述された本発明の実施形態が、例えば、ここに図示または説明されたものではなく他の方向に動作するように適切な環境下で互換可能であることを理解することができる。ここで用いられた用語「連結された」は、電気的または非電気的な方式で直接または間接的に接続されることに定義される。ここで、互いに「隣接する」と記述された対象は、その文章が用いられる文脈に対して適切に、互いに物理的に接触するか、互いに近接するか、互いに同一の一般的な範囲または領域に存在することができる。

【0014】

以下、添付の図面を参照して本発明の構成および作用効果についてより詳細に説明する。

【0015】

図１は本発明の一実施形態による回路基板１００とこれを含む回路基板組立体１０００を概略的に示す図面であり、図２は本発明の他の実施形態による回路基板１００‐１を概略的に示す図面である。

【0016】

本発明の一実施形態による回路基板１００では、導体と導体との間の境界に絶縁膜１３０が備えられて絶縁性を確保する。絶縁膜１３０は、絶縁薄膜１３１と、機能膜１３２と、を含む。

【0017】

本実施形態において、第１導体パターン１２０の外面に絶縁膜１３０が備えられ、絶縁膜１３０の外面に第２導体パターン１４０が備えられることができる。また、第１導体パターン１２０は、コア部１１０の外面に備えられることができるが、この際、コア部１１０が金属材からなる場合、コア部１１０の表面にも上述の絶縁膜１３０が備えられて、第１導体パターン１２０とコア部１１０との間の絶縁性を確保することができる。

【0018】

ここで、絶縁薄膜１３１は、パリレン（Ｐａｒｙｌｅｎｅ）材質からなることができる。一例として、外面に第１導体パターン１２０が形成された中間生成物をチャンバに入れて、パリレン（Ｐａｒｙｌｅｎｅ）を中間生成物の外面に気相蒸着（Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）することにより絶縁薄膜１３１を形成することができる。

【0019】

また、機能膜１３２の一面は絶縁薄膜１３１に接触する。そして、機能膜１３２の他面には第２導体パターン１４０が形成されることができる。機能膜１３２は、第１導体パターン１２０と第２導体パターン１４０との結合力または密着力を向上させることができる。本実施形態において、機能膜１３２は、窒化チタン（Ｔｉｔａｎｉｕｍ Ｎｉｔｒｉｄｅ；ＴｉＮ）を含む材質からなることができる。ＴｉＮを含む機能膜１３２は、絶縁薄膜１３１の表面にＴｉＮをスパッタリングすることにより形成されることができる。

【0020】

このように絶縁薄膜１３１の外面に機能膜１３２が形成された状態で第２導体パターン１４０を形成することにより、第１導体パターン１２０に第２導体パターン１４０がより安定的に結合することができる。第２導体パターン１４０は、機能膜１３２の表面に銅（Ｃｕ）をスパッタリングして形成されることができる。

【0021】

従来の一般的な基板は、一つの配線層の上部に合成樹脂などの絶縁物質を塗布して絶縁性を確保した後、他の配線層を形成する方式で具現されていた。そのため、従来の一般的な基板は、スリム化に限界があった。しかし、本実施形態による回路基板１００の絶縁膜１３０は、塗布方式で具現される既存の絶縁層より著しく薄い厚さに形成されることができる。本実施形態による回路基板１００は、薄膜に形成された絶縁膜１３０により絶縁性を確保できることからスリム化に有利である。特に、気相蒸着により形成された絶縁薄膜１３１は、従来の絶縁層に比べて約５倍以上薄く具現されることができ、且つ電気信号を伝送する経路の絶縁性が確保されることができる。

【0022】

一方、コア部１１０は、互いに異なる材質からなる２以上の層からなることができる。すなわち、コア部１１０は、第１コア層１１１と、第１コア層１１１の一面に形成された第２コア層１１２とで構成されることができ、第１コア層１１１と第２コア層１１２は、互いに異なる材質からなることができる。それだけでなく、コア部１１０は、第１コア層１１１と、第１コア層１１１の一面に形成される第２コア層１１２と、第１コア層１１１の他面に形成された第３コア層１１３とで構成されることができ、第２コア層１１２と第３コア層１１３をなす物質と、第１コア層１１１をなす物質とが互いに異なっていてもよい。本実施形態において、第１コア層１１１は、インバー（Ｉｎｖａｒ）などの相対的に強度の高い金属からなっており、第２コア層１１２と第３コア層１１３は、銅（Ｃｕ）などの相対的に強度が低いが、取り扱い性、伝導性、汎用性が良好な金属からなることができる。これにより、基板の反り現象を緩和するとともに放熱性能が向上することができる。

【0023】

ここで、第２コア層１１２および第３コア層１１３をなす物質が、第１コア層１１１を貫通するスルーホール１１４に充填されるようにすることで、第２コア層１１２と第３コア層１１３がスルーホール１１４を介して連結されることができる。これにより、第１コア層１１１と、第２コア層１１２および第３コア層１１３との結合力が向上することができる。

【0024】

必要に応じて、コア部１１０を貫通するスルービアＴＶが備えられることができ、このためにコア部１１０にスルービアホールが形成されることができる。ここで、スルービアホールは、機械的ドリリングまたはレーザドリリングなどの様々な方式で具現されることができる。また、図１などでは、スルービアＴＶが砂時計の形状をなすものと例示されているが、これに限定されるものではない。

【0025】

一方、金属材からなるコア部１１０の表面には、上述の絶縁膜１３０が形成されることができる。コア部１１０にスルービアホールが形成された場合、絶縁膜１３０は、スルービアホールの内側の壁面にも形成されることができる。

【0026】

このように絶縁膜１３０が形成された状態で、スパッタリング、めっき、印刷など、通常の導電パターンの形成過程が行われて、第１導体パターン１２０、第１下部導体パターン１２１´、スルービアＴＶなどが具現されることができる。

【0027】

次に、第１導体パターン１２０などが形成された状態で、上述の絶縁膜１３０の形成過程が再度行われる。これにより、第１導体パターン１２０の外面に絶縁膜１３０が具現されることができる。そして、その後に第２導体パターン１４０の形成過程が行われる。これにより、絶縁膜１３０によって絶縁性が確保される第１導体パターン１２０と第２導体パターン１４０が具現されることができる。

【0028】

一方、所定の第１導体パターン１２１と第２導体パターン１４１との間に備えられた絶縁膜１３０は、一部が開放（ＯＰ１）されて第１導体パターン１２１と第２導体パターン１４１が直接連結されることができる。

【0029】

他方、第１導体パターン１２３と第２導体パターン１４２との間に備えられた絶縁膜１３０は、開放された部分なしに第１導体パターン１２３と第２導体パターン１４２との間を完全に遮断することができる。また、第１導体パターン１２２の外部に形成された絶縁膜１３０の外面には、別の第２導体パターンが備えられていなくてもよい。

【0030】

図面には、第１導体パターン１２０、第２導体パターン１４０、コア部１１０などを覆う第２絶縁層１５０が備えられた場合が例示されているが、必要に応じて、追加の導体パターン層がさらに備えられることができ、このような導体パターン層の間にも上述の絶縁膜が備えられることができる。

【0031】

ここで、第２絶縁層１５０は、半田レジスト層であってもよく、第２導体パターン１４０の一部が第２絶縁層１５０の外部に露出して、第３外部接続手段ＳＢ３と接触することができる。

【0032】

また、スルービアＴＶの下面に接触した導体パターンを第１下部導体パターン１２１´と称することができ、一実施形態において、この下部導体パターン１２１´は、第２外部接続手段ＳＢ２と接触することができる。

【0033】

一方、コア部１１０には、下方から上方に向かって引き込まれたリセス部Ｒ１が備えられることができる。そして、このリセス部Ｒ１には、第１電子部品２００が挿入されることができる。さらに、リセス部Ｒ１の表面に第１電子部品２００が直接接触することができる。ここで、第１電子部品２００は、ＩＣなどの能動素子またはキャパシタなどの受動素子であってもよい。特に、第１電子部品２００が能動素子である場合、第１電子部品２００の動作に応じて多量の熱が発生することがあるが、第１電子部品２００で発生した熱は金属材からなるコア部１１０を介して他の領域へ迅速に分散されることができる。

【0034】

本実施形態において、第１電子部品２００の外部端子２１０は、第１外部接続手段ＳＢ１に接触することができる。

【0035】

一方、上述の第１、第２、および第３外部接続手段ＳＢ１、ＳＢ２、ＳＢ３は、半田ボールに具現されることができる。そして、第１外部接続手段ＳＢ１および第２外部接続手段ＳＢ２は、付加基板３００に接触することができる。ここで、付加基板３００とは、パッケージ基板またはメインボードなどを意味することができる。

【0036】

他方、第３外部接続手段ＳＢ３は、第２電子部品４００に接触することができる。ここで、第２電子部品４００は、別の基板であったり、別の能動素子または受動素子であってもよい。

【0037】

本実施形態による回路基板１００は、第１電子部品２００が実装された付加基板３００と第２電子部品４００との間に配置されることにより、様々な信号経路を提供することができる。例えば、第１電子部品２００と付加基板３００との間に伝送される電気信号が、回路基板１００を媒介として第２電子部品４００に伝達されることができる。また、第１電子部品２００とは無関係の付加基板３００の電気信号も回路基板１００を介して第２電子部品４００に伝達されることができる。

【0038】

また、本実施形態による回路基板１００は、リセス部Ｒ１の表面に第１電子部品２００が接触するようにすることで、第１電子部品２００の熱を効果的に分散することができる。また、本実施形態による回路基板１００は、第１電子部品２００の少なくとも一部がリセス部Ｒ１の内部に挿入されることで、回路基板組立体１０００全体の厚さが減少することができる。また、スルービアＴＶを介して付加基板３００と第２電子部品４００との直接的な連結を具現することができることから、直径の大きい半田ボールまたはトップボールを用いて、付加基板と第２電子部品とを連結する場合に比べて、連結のために必要な面積が減少し、信頼性が向上することができる。

【0039】

図２は本発明の他の実施形態による回路基板１００を例示しており、図１を参照して、上述の実施形態とは異なり、リセス部Ｒ１なしにコア部１１０の下部にも絶縁層１５０´が備えられることができることを理解することができる。

【符号の説明】

【0040】

１００ 回路基板
１１０ コア部
１１１ 第１コア層
１１２ 第２コア層
１１３ 第３コア層
１１４ スルーホール
１２０ 第１導体パターン
１３０ 絶縁膜
１３１ 絶縁薄膜
１３２ 機能膜
１４０ 第２導体パターン
１５０ 第２絶縁層
２００ 第１電子部品
２１０ 外部端子
３００ 付加基板
４００ 第２電子部品
Ｒ１ リセス部
ＳＢ１ 第１外部接続手段
ＳＢ２ 第２外部接続手段
ＳＢ３ 第３外部接続手段
ＴＶ スルービア

【図1】

【図2】